阵列基板及其制作方法技术

本发明专利技术提供一种阵列基板及其制作方法。本发明专利技术的阵列基板的制作方法，通过采用一半色调光罩、及一道光刻制程对钝化层及刻蚀阻挡层进行图案化处理，在钝化层上形成对应于源极上方的第一过孔，在刻蚀阻挡层上形成位于源极与漏极之间的第二过孔与第三过孔，之后通过一道光刻制程在钝化层、源极、漏极、及刻蚀阻挡层上方形成经由第一过孔与源极相连的像素电极、经由第二过孔连接源极与有源层的第一连接层、以及经由第三过孔连接漏极与有源层的第二连接层，通过以上制程来减少具有刻蚀阻挡层结构的IGZO阵列基板的光刻制程数，将现有技术的6道光刻制程减少为5道光刻制程，从而节省一道光刻制程，减少了一道光罩的使用，降低了IGZO阵列基板的生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种阵列基板及其制作方法。
技术介绍
随着显示技术的发展，液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlightmodule)。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，两片玻璃基板中间有许多垂直和水平的细小电线，通过通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。通常液晶显示面板由彩膜(CF，ColorFilter)基板、薄膜晶体管(TFT，ThinFilmTransistor)基板、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，LiquidCrystal)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(阵列基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成阵列基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在阵列基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。在液晶面板工业中，随着目前显示行业中大尺寸化、高解析度的需求越来越强烈，对有源层半导体器件充放电提出了更高的要求。而IGZO(indiumgalliumzincoxide，铟镓锌氧化物)材料具有的高迁移率、高开态电流、低关态电流可迅速开关等特点能有效满足以上需求。在目前常用的IGZO阵列基板中，刻蚀阻挡层(ESL，EtchingStopLayer)结构器件因有保护层的存在，其电性的稳定性往往较其他结构更好，但是具有刻蚀阻挡层结构的IGZO阵列基板一般需要进行6道光刻制程，从而需要准备6道光罩，生产成本较高，因此减少光罩数量，对开发低成本的IGZO阵列基板具有重要意义。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种阵列基板的制作方法，通过将现有技术的6道光刻制程减少为5道光刻制程，从而节省一道光刻制程，减少一道光罩的使用，降低IGZO阵列基板的生产成本。本专利技术的目的还在于提供一种阵列基板，在不影响器件稳定性的情况下，减少光罩，降低IGZO阵列基板的生产成本。为实现上述目的，本专利技术提供一种阵列基板的制作方法，提供一基板，并在所述基板上依次形成栅极、栅极绝缘层、有源层、刻蚀阻挡层、源极和漏极；然后，在所述源极、漏极、及刻蚀阻挡层上形成钝化层并在同一道光刻制程中对所述钝化层和刻蚀阻挡层进行图案化处理，具体包括：步骤71、在所述钝化层上涂布一光阻层；步骤72、采用一半色调光罩对所述光阻层进行曝光、显影；步骤73、通过至少两次干蚀刻制程对所述光阻层、及钝化层进行蚀刻，使所述钝化层上形成裸露出部分源极的第一过孔和位于源极与漏极之间以裸露出刻蚀阻挡层的缺口；同时，在所述刻蚀阻挡层上通过所述缺口裸露出的区域上形成用于与所述有源层连通的第二过孔与第三过孔；步骤74、剥离所述钝化层上残留的光阻层。完成所述步骤74后，在所述钝化层、源极、漏极、及刻蚀阻挡层上形成透明导电层，通过光刻制程对所述透明导电层进行图案化处理，得到间断设置的像素电极、第一连接层、及第二连接层；所述像素电极通过第一过孔与源极相连；所述源极通过所述第一连接层和所述步骤73中形成于所述刻蚀阻挡层上的第二过孔与所述有源层相连；所述漏极通过所述第二连接层和所述步骤73中形成于所述刻蚀阻挡层上的第三过孔与有源层相连。所述步骤73中形成的所述缺口的宽度大于源极与漏极之间的间隔，从而暴露出部分源极和部分漏极。所述半色调光罩上设有对应于所述源极上方的第一半透明图案，对应于所述源极与漏极之间的第二、第三、第四半透明图案，位于所述第二、第三半透明图案之间的第一完全透明图案，以及位于第三、第四半透明图案之间的第二完全透明图案。所述栅极、栅极绝缘层、有源层、刻蚀阻挡层、源极、漏极、及钝化层的制作过程包括如下步骤：步骤1、提供一基板，在所述基板上形成第一金属层，通过光刻制程对所述第一金属层进行图案化处理，得到栅极；步骤2、在所述栅极、及基板上形成栅极绝缘层；步骤3、在所述栅极绝缘层上形成氧化物半导体层，通过光刻制程对所述氧化物半导体层进行图案化处理，得到对应于所述栅极上方的有源层；步骤4、在所述有源层、及栅极绝缘层上形成刻蚀阻挡层；步骤5、在所述刻蚀阻挡层上形成第二金属层，通过光刻制程对所述第二金属层进行图案化处理，得到分别对应于所述有源层两侧的源极与漏极；步骤6、在所述源极、漏极、及刻蚀阻挡层上形成钝化层。所述步骤1中，采用物理气相沉积方法形成第一金属层；所述步骤2中，采用化学气相沉积方法形成栅极绝缘层；所述步骤3中，采用物理气相沉积方法形成氧化物半导体层；所述步骤4中，采用化学气相沉积方法形成刻蚀阻挡层；所述步骤5中，采用物理气相沉积方法形成第二金属层。所述基板为透明基板；所述第一金属层、第二金属层的材料为钼、钛、铝、铜中的一种或多种的堆栈组合；所述栅极绝缘层、钝化层为氧化硅层、氮化硅层、或者由氧化硅层与氮化硅层叠加构成的复合层。所述氧化物半导体层的材料为IGZO；所述刻蚀阻挡层的材料为二氧化硅；所述透明导电层的材料为ITO。本专利技术还提供一种阵列基板，包括基板，设于基板上的栅极，设于所述栅极、及基板上的栅极绝缘层，设于所述栅极绝缘层上且对应于所述栅极的有源层，设于所述有源层、及栅极绝缘层上的刻蚀阻挡层，设于所述刻蚀阻挡层上且分别对应于所述有源层两侧的源极与漏极，设于所述源极、漏极、及刻蚀阻挡层上的钝化层，设于所述钝化层、源极、漏极、及蚀阻挡层上且间隔设置的像素电极、第一连接层、及第二连接层；所述钝化层上设有对应于所述源极上方的第一过孔、以及对应于所述源极与漏极之间且宽度大于源极与漏极之间间隔的缺口，从而暴露出部分源极、部分漏极、以及位于源极与漏极之间的刻蚀阻挡层；所述位于源极与漏极之间的刻蚀阻挡层上设有靠近源极的第二过孔与靠近漏极的第三过孔；所述像素电极通过第一过孔与源极相连；所述第一连接层与第二连接层均部分位于所述钝化层的缺口本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板的制作方法，其特征在于，提供一基板(10)，并在所述基板(10)上依次形成栅极(20)、栅极绝缘层(30)、有源层(40)、刻蚀阻挡层(50)、源极(51)和漏极(52)；然后，在所述源极(51)、漏极(52)、及刻蚀阻挡层(50)上形成钝化层(60)并在同一道光刻制程中对所述钝化层(60)和刻蚀阻挡层(50)进行图案化处理，具体包括：步骤71、在所述钝化层(60)上涂布一光阻层(70)；步骤72、采用一半色调光罩(80)对所述光阻层(70)进行曝光、显影；步骤73、通过至少两次干蚀刻制程对所述光阻层(70)、及钝化层(60)进行蚀刻，使所述钝化层(60)上形成裸露出部分源极(51)的第一过孔(63)和位于源极(51)与漏极(52)之间以裸露出刻蚀阻挡层(50)的缺口(68)；同时，在所述刻蚀阻挡层(50)上通过所述缺口(68)裸露出的区域上形成用于与所述有源层(40)连通的第二过孔(53)与第三过孔(54)；步骤74、剥离所述钝化层(60)上残留的光阻层(70)。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，提供一基板(10)，并在所述
基板(10)上依次形成栅极(20)、栅极绝缘层(30)、有源层(40)、刻蚀阻
挡层(50)、源极(51)和漏极(52)；然后，在所述源极(51)、漏极(52)、
及刻蚀阻挡层(50)上形成钝化层(60)并在同一道光刻制程中对所述钝化层
(60)和刻蚀阻挡层(50)进行图案化处理，具体包括：
步骤71、在所述钝化层(60)上涂布一光阻层(70)；
步骤72、采用一半色调光罩(80)对所述光阻层(70)进行曝光、显影；
步骤73、通过至少两次干蚀刻制程对所述光阻层(70)、及钝化层(60)
进行蚀刻，使所述钝化层(60)上形成裸露出部分源极(51)的第一过孔(63)
和位于源极(51)与漏极(52)之间以裸露出刻蚀阻挡层(50)的缺口(68)；
同时，在所述刻蚀阻挡层(50)上通过所述缺口(68)裸露出的区域上形
成用于与所述有源层(40)连通的第二过孔(53)与第三过孔(54)；
步骤74、剥离所述钝化层(60)上残留的光阻层(70)。
2.如权利要求1所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，完成所述步骤
74后，在所述钝化层(60)、源极(51)、漏极(52)、及刻蚀阻挡层(50)上
形成透明导电层，通过光刻制程对所述透明导电层进行图案化处理，得到间断
设置的像素电极(91)、第一连接层(92)、及第二连接层(93)；
所述像素电极(91)通过第一过孔(63)与源极(51)相连；
所述源极(51)通过所述第一连接层(92)和所述步骤73中形成于所述刻
蚀阻挡层(50)上的第二过孔(53)与所述有源层(40)相连；
所述漏极(52)通过所述第二连接层(93)和所述步骤73中形成于所述刻
蚀阻挡层(50)上的第三过孔(54)与有源层(40)相连。
3.如权利要求1所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，所述步骤73
中形成的所述缺口(68)的宽度大于源极(51)与漏极(52)之间的间隔，从
而暴露出部分源极(51)和部分漏极(52)。
4.如权利要求1所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，所述半色调光
罩(80)上设有对应于所述源极(51)上方的第一半透明图案(81)，对应于

\t所述源极(51)与漏极(52)之间的第二、第三、第四半透明图案(82、83、
84)，位于所述第二、第三半透明图案(82、83)之间的第一完全透明图案(85)，
以及位于第三、第四半透明图案(83、84)之间的第二完全透明图案(86)。
5.如权利要求1所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，所述栅极(20)、
栅极绝缘层(30)、有源层(40)、刻蚀阻挡层(50)、源极(51)、漏极(52)、
及钝化层(60)的制作过程包括如下步骤：
步骤1、提供一基板(10)，在所述基板(10)上形成第一金属层，通过光
刻制程对所述第一金属层进行图案化处理，得到栅极(20)；
步骤2、在所述栅极(20)、及基板(10)上形成栅极绝缘层(30)；
步骤3、在所述栅极绝缘层(30)上形成氧化物半导体层，通过光刻制程
对所述氧化物半导体层进行图案化处理，得到对应于所述栅极(20)上方的有
源层(40)；
步骤4、在所述有源层(40)、及栅极绝缘层(30)上形成刻蚀阻挡层(50)；
步骤5、在所述刻蚀阻挡层(50)上形成第二金属层，通过光刻制程对所
述第二金属层进行图案化处理，...

【专利技术属性】
技术研发人员：周志超，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44