【技术实现步骤摘要】
本技术是关于直拉式单晶炉领域,特别涉及一种直拉式单晶炉硅料复投装置。
技术介绍
在直拉式单晶炉拉晶生产中,由于石英坩埚使用寿命有限,因此在石英坩埚寿命范围内投料量越多,拉制的晶体越重,单位能源消耗越小,生产效率也就越高。因此直拉式单晶炉一炉硅料拉晶完成之后,在不停炉冷却的情况下完成硅料的添加,能够节省停炉冷却和抽真空的时间,大大缩短生产周期,提高生产效率。由于硅料在融化之前是有间隙的,而且复投时不可能做到硅料规则排布在坩埚内,因此不可能通过一次投料就能得到能够达到坩埚容积的硅溶液,需要分批次抽真空、投料、融化,再抽真空投料、再融化,直到得到达到坩埚容积的硅溶液。目前市场上已经出现的硅料复投装置都不能在不破坏单晶炉炉室真空的条件下完成分批次投料工作。目前市场上出现的复投装置结构复杂,不方便移动,并且只能复投直径不超过40mm的硅料,对硅料的要求较高。
技术实现思路
本技术的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种进行一次抽真空,就完成多次硅料复投工作的复投装置。为解决上述技术问题,本技术的解决方案是:提供一种直拉式单晶炉硅料复投装置,包括装料室和下料管,所述装料室分为至 ...
【技术保护点】
一种直拉式单晶炉硅料复投装置,包括装料室和下料管,其特征在于,所述装料室分为至少两个料斗,每个料斗下方装有对应的合页门,每个合页门上安装有吊环;所述下料管的上方与装料室的下口套合安装,下料管能在上下方向上自由运动;下料管的上方设有下料管上法兰,且下料管上法兰的直径大于装料室下口的直径,用于限制下料管上下移动行程;下料管的上部开设4个焊接剖口,并焊有十字提升条;下料管的内部还设有螺旋状挡板;装料室的上方设有装料室上盖板和装料室上法兰,装料室上法兰均布有螺纹孔,用于安装装料室上盖板;装料室上盖板上布置有提升电机,提升电机通过钢丝绳连接十字提升条,用于控制下料管的升降;装料室上盖 ...
【技术特征摘要】
1.一种直拉式单晶炉硅料复投装置,包括装料室和下料管,其特征在于,所述装料室分为至少两个料斗,每个料斗下方装有对应的合页门,每个合页门上安装有吊环;所述下料管的上方与装料室的下口套合安装,下料管能在上下方向上自由运动;下料管的上方设有下料管上法兰,且下料管上法兰的直径大于装料室下口的直径,用于限制下料管上下移动行程;下料管的上部开设4个焊接剖口,并焊有十字提升条;下料管的内部还设有螺旋状挡板;装料室的上方设有装料室上盖板和装料室上法兰,装料室上法兰均布有螺纹孔,用于安装装料室上盖板;装料室上盖板上布置有提升电机,提升电机通过钢丝绳连接十字提升条,用于控制下料管的升降;装料室上盖板上还设有数量与料斗数量相同的气缸,每个气缸分别通过钢丝绳与对应合页门上的吊...
【专利技术属性】
技术研发人员:傅林坚,曹建伟,倪军夫,沈兴潮,陈丽婷,
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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