【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片超声波清洗设备
,尤其是一种360°翻滚推进往复式硅片清洗槽。
技术介绍
当前,企业在对硅片进行超声波清洗时,均采用人工送料的方式,这种方式的生产效率低,而且长时间操作之后容易导致员工疲劳,存在安全隐患,存在不足。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种360°翻滚推进往复式硅片清洗槽,为克服上述的不足,采用翻滚式推进送料的方式,代替人工操作,避免人工长时间操作出现疲劳的现象,防止意外事故发生,杜绝安全隐患。本技术的技术方案:一种360°翻滚推进往复式硅片清洗槽,包括电机、曲柄、连杆、齿轮、翻滚杆、固定块、超声波振子、槽体、齿条、支架;其中:电机与曲柄固定连接,曲柄通过连杆与齿轮连接,齿轮与翻滚杆连接,翻滚杆与固定块固定连接,超声波振子与槽体固定连接,齿条与支架固定连接。一种360°翻滚推进往复式硅片清洗槽,其中:翻滚杆的长度为400mm。本技术的优点在于:本装置采用翻滚式推进送料的方式,代替人工操作,避免人工长时间操作出现疲劳的现象,防止意外事故发生,杜绝安全隐患。附图说明图1为本技术的结构示意简图。附图标记:电机1、曲柄2、连杆3、齿轮4、翻滚杆5、固定块6、超声波振子7、槽体8、齿条9、支架10。具体实施方式实施例1、一种360°翻滚推进往复式硅片清洗槽,包括电机1、曲柄2、连杆3、齿轮4、翻滚杆5、固定块6、超声波振子7、槽体8、齿条9、支架10;其中:电机1与曲柄2固定连接,曲柄2通过连杆3与齿轮4连接,齿轮4与翻滚杆5连接,翻滚杆5与固定块6固定连接,超声波振子7与槽体8固定连接,齿条9与支架10固定连接,采用翻滚式推进送料的方 ...
【技术保护点】
一种360°翻滚推进往复式硅片清洗槽,包括电机(1)、曲柄(2)、连杆(3)、齿轮(4)、翻滚杆(5)、固定块(6)、超声波振子(7)、槽体(8)、齿条(9)、支架(10);其特征在于:电机(1)与曲柄(2)固定连接,曲柄(2)通过连杆(3)与齿轮(4)连接,齿轮(4)与翻滚杆(5)连接,翻滚杆(5)与固定块(6)固定连接,超声波振子(7)与槽体(8)固定连接,齿条(9)与支架(10)固定连接。
【技术特征摘要】
1.一种360°翻滚推进往复式硅片清洗槽,包括电机(1)、曲柄(2)、连杆(3)、齿轮(4)、翻滚杆(5)、固定块(6)、超声波振子(7)、槽体(8)、齿条(9)、支架(10);其特征在于:电机(1)与曲柄(2)固定连接,曲柄(2)通过连杆(3)与齿轮(...
【专利技术属性】
技术研发人员:支秉旭,
申请(专利权)人:江西大杰新能源技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江西;36
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