一种具有新型前视窗的刻蚀清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有新型前视窗的刻蚀清洗设备，所述刻蚀清洗设备包括机架，所述机架上设置有刻蚀水槽和清洗水槽，所述机架上设置有硅片输送装置，所述硅片输送装置从刻蚀水槽和清洗水槽中穿过，其特征在于，所述机架上设置有机罩，所述机罩上设置有前视窗结构，所述前视窗结构包括侧立板、第一折叠窗体和第二折叠窗体，所述第一折叠窗体与第二折叠窗体铰接，所述立板安装在所述机架上，所述立板设置有斜向后延伸的弧形槽，所述弧形槽的下端设置有竖直向下延伸的竖槽，所述弧形槽的上端设置有收容槽，所述第二折叠窗体上设置有导向柱，所述导向柱位于所述弧形槽中，所述第一折叠窗体的后端铰接在所述机罩上。本实用新型专利技术增加了操作空间，使得设备的维护和维修操作更加方便。

【技术实现步骤摘要】

：本技术涉及刻蚀清洗设备
，更具体地说涉及一种具有新型前视窗的刻蚀清洗设备。
技术介绍
：晶体硅片需要经过多道工序的生产加工之后才能将其应用到太阳能设备上，其中较为重要的工序就有对晶体硅片进行刻蚀的工序，在刻蚀工序之后需要对晶体硅片进行清洗，刻蚀的过程是通过酸性溶液对其进行腐蚀加工，现有技术中的刻蚀设备的前视窗结构一般都采用双向移门结构，这样的结构设置人为活动的空间比较有限，不方便工人对其进行检修和维修操作。
技术实现思路
：本技术的目的就在于提供一种具有新型前视窗的刻蚀清洗设备，它增加了操作空间，使得设备的维护和维修操作更加方便。为实现上述目的，本技术的一种具有新型前视窗的刻蚀清洗设备，所述刻蚀清洗设备包括机架，所述机架上设置有刻蚀水槽和清洗水槽，所述机架上设置有硅片输送装置，所述硅片输送装置从刻蚀水槽和清洗水槽中穿过，其特征在于，所述机架上设置有机罩，所述机罩上设置有前视窗结构，所述前视窗结构包括侧立板、第一折叠窗体和第二折叠窗体，所述第一折叠窗体与第二折叠窗体铰接，所述立板安装在所述机架上，所述立板设置有斜向后延伸的弧形槽，所述弧形槽的下端设置有竖直向下延伸的竖槽，所述弧形槽的上端设置有收容槽，所述第二折叠窗体上设置有导向柱，所述导向柱位于所述弧形槽中，所述第一折叠窗体的后端铰接在所述机罩上。作为上述技术方案的优选，所述立板的前端为竖直面，所述立板的后端为与所述弧形槽平行的弧形面。作为上述技术方案的优选，所述第一折叠窗体为透明材质。作为上述技术方案的优选，所述第二折叠窗体为透明材质。作为上述技术方案的优选，所述第一折叠窗体和第二折叠窗体通过铰链铰接在一起。作为上述技术方案的优选，所述第一折叠窗体的后端通过铰链铰接在所述机罩上。作为上述技术方案的优选，所述导向柱为滚动轴。本技术的有益效果在于：本技术增加了操作空间，使得设备的维护和维修操作更加方便。附图说明：下面结合附图对本技术做进一步的说明：图1为本技术实施例的结构示意图图2为本技术实施例中前视窗结构的立体结构示意图图3为本技术实施例中前视窗结构的结构示意图图4为本技术实施例中水膜保护装置的结构示意图图5为本技术实施例中具有护罩的水膜保护装置的结构示意图图6为本技术实施例中水膜保护装置的主视图图7为图6的仰视图图8为图6中A-A向示意图图中：1、机架；2、硅片输送装置；3、刻蚀水槽；4、机罩；5、清洗水槽；6、中控柜；7、热风机；8、水膜保护装置；9、前视窗结构；91、第一折叠窗体；92、第二折叠窗体；93、侧立板；94、弧形槽；95、导向柱；96、收容槽；97、竖槽；98、竖直面；99、弧形面；910、铰链；911、铰链；81、水箱；82、第一卡口；83、第二卡口；84、安装部；85、走线管；86、水管；87、微型水泵；88、端板；89、喷淋部件；810、液位计；811、进水管；812、护罩；813、细孔；814、注水加压装置；815、注水腔；816、凸出部；817、环形槽。具体实施方式：以下所述仅为体现本技术原理的较佳实施例，并不因此而限定本技术的保护范围。如图1至8所示为本技术一种具有新型前视窗的刻蚀清洗设备的实施例，所述刻蚀清洗设备包括机架1，所述机架1上设置有刻蚀水槽3和清洗水槽5，所述机架1上设置有硅片输送装置2，所述硅片输送装置2从刻蚀水槽3和清洗水槽5中穿过，所述机架1上设置有机罩4，所述机罩4上设置有前视窗结构9，所述前视窗结构9包括侧立板93、第一折叠窗体91和第二折叠窗体92，所述第一折叠窗体91与第二折叠窗体92铰接，所述立板93安装在所述机架1上，所述立板93设置有斜向后延伸的弧形槽94，所述弧形槽94的下端设置有竖直向下延伸的竖槽97，所述弧形槽94的上端设置有收容槽96，所述第二折叠窗体92上设置有导向柱95，所述导向柱95位于所述弧形槽94中，所述第一折叠窗体91的后端铰接在所述机罩4上。立板93的前端为竖直面98，所述立板93的后端为与所述弧形槽94平行的弧形面99，该结构可以减少立板93的尺寸面积，增大操作空间。第一折叠窗体91为透明材质。第二折叠窗体92为透明材质。第一折叠窗体91和第二折叠窗体92通过铰链910铰接在一起。第一折叠窗体91的后端通过铰链911铰接在所述机罩4上。导向柱95为滚动轴。本实施例中前视窗结构9在关闭的时候，导向柱95位于所述竖槽中，此时第一折叠窗体91和第二折叠窗体92呈九十度垂直状态，当需要打开的时候，推动第一折叠窗体91使得导向柱95沿着弧形槽移动直至导向柱95位于收容槽96中，此时第一折叠窗体91和第二折叠窗体92呈现折叠状态，同时收容槽96对第一折叠窗体91起到支撑作用，这样其整个可操作的空间就增大了。本实施例中，机架1上且位于所述硅片输送装置2的上方设置有水膜保护装置8，所述水膜保护装置8包括用于储水的水箱81、微型水泵87和喷淋部件89，所述喷淋部件89上设置有细孔813，所述微型水泵87与所述水箱81和喷淋部件89上的细孔813连通且所述微型水泵87将水箱81中的水注入到细孔813中，所述细孔的出水口对着所述硅片输送装置2，另外，本实施例中，机架1的侧面设置有热风机7和中控柜6。本实施例使得水膜的设置更加均匀，因此其提高了晶体硅片加工的质量。喷淋部件89为板体，所述板体上设置有半球形的注水腔815，所述注水腔815的尺寸较大一端设置在所述板体的上表面，所述注水腔815的尺寸较小一端与所述细孔813连通，所述细孔813的出水口设置在所述板体的下表面。板体的下表面且以细孔813为中心设置有横截面为三角形的环形槽817使得所述下表面具有锥形的凸出部816。更具体地说，本实施例中注水腔815的上端设置注水加压装置814，一则由于注水加压装置的出水口尺寸较大，因此需要设置一注水腔815与其配合，另外，本实施例中的注水腔815起到缓冲的作用，而且由于其为半球形，而且还可以具有一定的加压作用，环形槽817和凸出部816的设置可以防止在板体的下表面积水，进而影响水膜的均匀地，而且还可以改变水柱喷出的形状，增进喷洒效果。喷淋部件89上设置有安装部84，所述微型水泵87安装在所述安装部84上。安装部84上设置有水管86和走线管85，所述水管86的一端与水箱81连通，所述水管86的另一端与所述微型水泵87的入口连通，所述走线管85中设置有导线，所述导线一端连接电源，另一端连接微型水泵87。喷淋部件89的两端分别设置有端板88，所述走线管85和水管86的两端固定在端板88。上述的结构使得结构更加紧凑，节省了安装空间，使得安装更加方便。端板88的内侧表面上设置有第一卡口82和第二卡口83，所述水管86的端部设置在所述第一卡口82中，所述走线管85的端部位于所述第二卡口83中。具体地说，本实施例中，走线管85对导线起到保护作用，而且由于本实施例中设置有多个微型水泵87，因此其走线更加方便。还有，本实施例中第一卡口82和第二卡口83的内侧为弧形缺口，该弧形缺口与走线管85和水管86的端部刚好配合，另外，第一卡口82和第二卡口83的入口呈开口状，可以方便走线管85和水管86放入，方便安装，而且，第一卡口82和第二卡口8本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有新型前视窗的刻蚀清洗设备，所述刻蚀清洗设备包括机架(1)，所述机架(1)上设置有刻蚀水槽(3)和清洗水槽(5)，所述机架(1)上设置有硅片输送装置(2)，所述硅片输送装置(2)从刻蚀水槽(3)和清洗水槽(5)中穿过，其特征在于，所述机架(1)上设置有机罩(4)，所述机罩(4)上设置有前视窗结构(9)，所述前视窗结构(9)包括侧立板(93)、第一折叠窗体(91)和第二折叠窗体(92)，所述第一折叠窗体(91)与第二折叠窗体(92)铰接，所述立板(93)安装在所述机架(1)上，所述立板(93)设置有斜向后延伸的弧形槽(94)，所述弧形槽(94)的下端设置有竖直向下延伸的竖槽(97)，所述弧形槽(94)的上端设置有收容槽(96)，所述第二折叠窗体(92)上设置有导向柱(95)，所述导向柱(95)位于所述弧形槽(94)中，所述第一折叠窗体(91)的后端铰接在所述机罩(4)上。

【技术特征摘要】
1.一种具有新型前视窗的刻蚀清洗设备，所述刻蚀清洗设备包括机架(1)，所述机架(1)上设置有刻蚀水槽(3)和清洗水槽(5)，所述机架(1)上设置有硅片输送装置(2)，所述硅片输送装置(2)从刻蚀水槽(3)和清洗水槽(5)中穿过，其特征在于，所述机架(1)上设置有机罩(4)，所述机罩(4)上设置有前视窗结构(9)，所述前视窗结构(9)包括侧立板(93)、第一折叠窗体(91)和第二折叠窗体(92)，所述第一折叠窗体(91)与第二折叠窗体(92)铰接，所述立板(93)安装在所述机架(1)上，所述立板(93)设置有斜向后延伸的弧形槽(94)，所述弧形槽(94)的下端设置有竖直向下延伸的竖槽(97)，所述弧形槽(94)的上端设置有收容槽(96)，所述第二折叠窗体(92)上设置有导向柱(95)，所述导向柱(95)位于所述弧形槽(94)中，所述第一折叠窗体(91)的后端铰接在所述机罩(...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄日红，黄勇，
申请(专利权)人：昆山浠吉尔自动化系统有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32