蒸镀装置及其控制方法、使用了蒸镀装置的蒸镀方法、以及器件的制造方法制造方法及图纸

一种共蒸镀不同的蒸镀材料的蒸镀装置，包括：腔室，蒸镀对象物设于腔室内；向蒸镀对象物吐出第1蒸镀材料的蒸气的第1蒸镀源；向蒸镀对象物吐出第2蒸镀材料的蒸气的第2蒸镀源；对第1蒸镀材料进行加热的第1加热部；对第2蒸镀材料进行加热的第2加热部；和控制第1加热部及第2加热部的加热控制部；加热控制部构成为能够将第1及第2加热部控制成第2蒸镀材料的升温比第1蒸镀材料的升温滞后预定时间而开始。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在器件的制造中使用的蒸镀装置及其控制方法、使用了该蒸镀装置的蒸镀方法、器件的制造方法。特别是，涉及包括使由不同材质构成的蒸镀材料分别从吐出口吐出到腔室内的多个蒸镀原的蒸镀装置、蒸镀装置的控制方法、蒸镀方法。
技术介绍
在有机发光元件和/或薄膜晶体管(Thin Film Transistor，以后简称为“TFT”)等器件中，使用有机发光元件中的有机发光层和/或TFT中的有机半导体层等用于发挥特定的功能的有机功能层。例如，有机发光元件具有在基板上按顺序层叠有金属电极、多层有机功能层、透明电极层的构成，各层主要通过真空蒸镀法在腔室之中形成。在真空蒸镀法中，通常使用在腔室内的例如上部设置基板、在下部设置蒸镀源的高真空的腔室(例如，专利文献1)。在蒸镀源，例如在内部具有坩埚，收纳有有机物质。在坩埚的周围设有加热装置，通过加热而蒸发的有机物质的气体向腔室内扩散，与基板接触、凝固而形成薄膜状的有机功能层。在有机发光元件的领域，提出一种蒸镀装置，在腔室内设置有：配置了用于形成有机薄膜的主要的蒸镀材料的蒸发源；和配置了微量的特定的添加蒸镀材料的蒸发源(例如，专利文献2)。在该文献中，记载了在将它们同时共蒸镀(co-evaporation)而堆积于基板上来形成有机发光元件的功能层时，发光效率和/或亮度等特性提高。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2005－310471号公报专利文献2:日本特开平10－195639号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在使用真空蒸镀法向基板蒸镀蒸镀材料而形成功能层时，存在如下情况：向腔室内运入蒸镀材料时微量的大气中的水分等杂质或向腔室内飞散的共蒸镀中的另一方的蒸镀材料的氧化物或者氢氧化物等化合物(以后，称为“杂质等”)混入蒸镀材料。特别是，在共蒸镀中，一方的蒸镀源所使用的蒸镀材料具有容易与杂质等反应的特性的情况下，具有该蒸镀材料与杂质等反应引起变质进而材料特性劣化的问题。本专利技术的目的在于，提供在共蒸镀中减轻蒸镀材料的变质和/或材料特性的劣化的蒸镀装置及其控制方法、使用该蒸镀装置的蒸镀方法及器件的制造方法。用于解决课题的技术方案为了达成上述目的，本专利技术的一技术方案所涉及的蒸镀装置，是向蒸镀对象物共蒸镀不同的蒸镀材料的蒸镀装置，其特征在于，包括：腔室，所述蒸镀对象物设于该腔室内；向所述蒸镀对象物吐出第1蒸镀材料的蒸气的第1蒸镀源；向所述蒸镀对象物吐出第2蒸镀材料的蒸气的第2蒸镀源；对所述第1蒸镀材料进行加热的第1加热部；对所述第2蒸镀材料进行加热的第2加热部；和控制所述第1加热部及所述第2加热部的加热控制部；所述加热控制部构成为，能够将所述第1及第2加热部控制成所述第2蒸镀材料的升温比所述第1蒸镀材料的升温滞后预定时间而开始。专利技术的效果本专利技术的一技术方案所涉及的蒸镀装置，在器件制造工序中，能够防止从另一方的蒸镀源排出的杂质等进入到收纳了容易与杂质等反应的蒸镀材料的蒸镀源内。因此，能够防止容易与杂质等反应的蒸镀材料与杂质等反应。结果，在共蒸镀中，能够减轻蒸镀材料的变质和/或材料特性的劣化。附图说明图1是表示实施方式1所涉及的蒸镀装置1的构造的示意剖视图。图2是表示在蒸镀装置1内对基板蒸镀蒸镀物质的样态的示意图。图3是表示实施方式1所涉及的蒸镀源的构成的立体图。图4是实施方式1所涉及的蒸镀源的示意剖视图。图5是表示使用了实施方式1所涉及的蒸镀装置1的蒸镀方法中的蒸镀源的温度曲线图及腔室2内的压力曲线图的一例的概略图。图6是表示使用了实施方式1的变形例1所涉及的蒸镀装置1的蒸镀方法中的蒸镀源的温度曲线图及腔室2内的压力曲线图的一例的概略图。图7是表示使用了实施方式1的变形例2所涉及的蒸镀装置1的蒸镀方法中的蒸镀源的温度曲线图及腔室2内的压力曲线图的一例的概略图。图8是表示使用了实施方式1的变形例3所涉及的蒸镀装置1的蒸镀方法中的蒸镀源的温度曲线图及腔室2内的压力曲线图的一例的概略图。图9是表示使用了实施方式1的变形例4所涉及的蒸镀装置1的蒸镀方法中的蒸镀源的温度曲线图及腔室2内的压力曲线图的一例的概略图。图10是对作为实施方式2所涉及的器件的制造方法的一形态的有机EL装置的制造方法进行说明的工序图。图11是表示专利技术者在实验研究中使用的蒸镀装置中的蒸镀源的剖面构造的示意图。图12是表示专利技术者实验研究的蒸镀方法中的蒸镀源的温度曲线图及腔室2内的压力曲线图的一例的概略图。图13是表示专利技术者实验研究的蒸镀方法中的蒸镀源的温度曲线图的一例的概略图。图14是表示专利技术者实验研究的蒸镀方法中的蒸镀源的温度曲线图的一例的概略图。具体实施方式《得到具体实施方式的经过》在有机发光元件的领域，提出了下述的技术，在腔室内设有：用于形成有机薄膜的主要的蒸镀材料(以下称为“主材料”)的蒸发源；和微量的特定的添加蒸镀材料(以下称为“添加材料”)的蒸发源；将主材料与添加材料同时共蒸镀于基板上。然而，在真空蒸镀法中，具有下述的课题：向腔室内的蒸镀源内补充蒸镀材料时杂质等与蒸镀材料一起向蒸镀源内混入，通过加热从蒸镀源放出的杂质等与蒸镀材料反应而引起材料特性的劣化。特别是，在共蒸镀中使用的不同的蒸镀材料中一方的蒸镀材料具有比另一方的蒸镀材料容易与杂质等反应的性质的情况下，具有该性质的蒸镀材料与杂质等反应引起的变质和/或材料特性的劣化成为问题。以下，对专利技术者通过研究而发现的共蒸镀中的课题进行说明。图11是表示专利技术者在实验研究中使用的蒸镀装置中的蒸镀源的剖面构造的示意图。在腔室102内，内设有蒸镀源106A、106B(以后，在不区别两者时取代A或B而标注X，对于在图11中存在于各蒸镀源内及各个蒸镀源的各要素也同样)。在构成各蒸镀源106A的壳体120A中，例如在内部具有坩埚110A，收纳有蒸镀材料101A。在坩埚110A的周围设有加热装置130A，通过加热而蒸发的蒸镀材料的蒸气101A1从吐出口123A向腔室102内扩散。同样，在构成蒸镀源106B的壳体120B中具有在内部收纳有蒸镀材料101B的坩埚110B，通过加热装置130B的加热而蒸发的蒸镀材料的蒸气101B1从吐出口123B向腔室102内扩散。扩散的蒸气101A1、101B1在腔室102内混合，与基板接触、凝固，在基板上形成由蒸镀材料101A、101B构成的薄膜状的有机功能层。在这样的蒸镀装置中，蒸镀材料向腔室102内的各蒸镀源的补充通过以下的工艺进行。1)成膜结束后，将腔室102内的多个蒸镀源106X返回到室温，然后，将腔室102内的压力设为大气压。2)从各蒸镀源106X将用于放入蒸镀材料101X的坩埚110X取出到腔室102外。3)向各坩埚110X分别填充蒸镀材料101X。蒸镀材料101X在室温下由液体或固体构成。4)将填充有蒸镀材料101X的各坩埚110X放回到腔室102内的各蒸镀源106X。5)对腔室102内抽真空，然后，对蒸镀材料101X加热。图12是表示专利技术者实验研究的蒸镀方法中的蒸镀源的温度曲线图及腔室2内的压力曲线图的一例的概略图。在时刻t0，开始加热装置130A、130B进行的加热，蒸镀材料101A、101B升温到各自的蒸镀时加热温度TA、TB。6)然后，进行利用蒸镀的成膜工艺。此时，各蒸镀源106A、106B内的压力成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀装置，是向蒸镀对象物共蒸镀不同的蒸镀材料的蒸镀装置，包括：腔室，所述蒸镀对象物设于该腔室内；向所述蒸镀对象物吐出第1蒸镀材料的蒸气的第1蒸镀源；向所述蒸镀对象物吐出第2蒸镀材料的蒸气的第2蒸镀源；对所述第1蒸镀材料进行加热的第1加热部；对所述第2蒸镀材料进行加热的第2加热部；和控制所述第1加热部及所述第2加热部的加热控制部；所述加热控制部构成为，能够将所述第1及第2加热部控制成所述第2蒸镀材料的升温比所述第1蒸镀材料的升温滞后预定时间而开始。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.03.11 JP 2014-0480241.一种蒸镀装置，是向蒸镀对象物共蒸镀不同的蒸镀材料的蒸镀装置，包括：腔室，所述蒸镀对象物设于该腔室内；向所述蒸镀对象物吐出第1蒸镀材料的蒸气的第1蒸镀源；向所述蒸镀对象物吐出第2蒸镀材料的蒸气的第2蒸镀源；对所述第1蒸镀材料进行加热的第1加热部；对所述第2蒸镀材料进行加热的第2加热部；和控制所述第1加热部及所述第2加热部的加热控制部；所述加热控制部构成为，能够将所述第1及第2加热部控制成所述第2蒸镀材料的升温比所述第1蒸镀材料的升温滞后预定时间而开始。2.如权利要求1所述的蒸镀装置，所述第1蒸镀源具有收纳所述第1蒸镀材料并且开设有吐出所述第1蒸镀材料的蒸气的吐出口的第1壳体；所述第2蒸镀源具有收纳所述第2蒸镀材料并且开设有吐出所述第2蒸镀材料的蒸气的吐出口的第2壳体。3.如权利要求1所述的蒸镀装置，所述加热控制部构成为，能够将所述第1及第2加热部控制成所述第2蒸镀材料的蒸镀时加热温度比所述第1蒸镀材料的蒸镀时加热温度高。4.一种蒸镀装置的控制方法，是使用如权利要求1或2所述的蒸镀装置向所述蒸镀对象物共蒸镀不同的第1蒸镀材料及第2蒸镀材料的蒸镀装置的控制方法，在所述第1蒸镀材料由比所述第2蒸镀材料容易与水或氧结合的材料构成时，将所述第1蒸镀材料设为所述第1蒸镀材料，将所述第2蒸镀材料设为所述第2蒸镀材料，将所述第1及第2加热部控制成所述第2蒸镀材料的升温比所述第1蒸镀材料的升温滞后所述预定时间而开始。5.如权利要求4所述的蒸镀装置的控制方法，将所述第1及第2加热部控制成，成为使得所述第1蒸镀材料的蒸镀速率比所述第2蒸镀材料的蒸镀速率高的所述第2蒸镀材料的蒸镀时加热温度及所述第1蒸镀材料的蒸镀时加热温度。6.如权利要求4所述的蒸镀装置的控制方法，在所述第1加热部的加热中，使所述第1蒸镀材料的温度从常温附近的温度阶段性地升温到所述第1蒸镀材料的蒸镀时加热温度；在所述第2加热部的加热中，使所述第2蒸镀材料的温度从常温附近的温度阶段性地升温到所述第2蒸镀材料的蒸镀时加热温度。7.如权利要求4所述的蒸镀装置的控制方法，在所述第1加热部的加热中，将所述第1蒸镀材料的温度从常温附近的温度一度提...

【专利技术属性】
技术研发人员：泷口明，
申请(专利权)人：株式会社日本有机雷特显示器，
类型：发明
国别省市：日本;JP