下载蒸镀装置及其控制方法、使用了蒸镀装置的蒸镀方法、以及器件的制造方法的技术资料

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一种共蒸镀不同的蒸镀材料的蒸镀装置,包括:腔室,蒸镀对象物设于腔室内;向蒸镀对象物吐出第1蒸镀材料的蒸气的第1蒸镀源;向蒸镀对象物吐出第2蒸镀材料的蒸气的第2蒸镀源;对第1蒸镀材料进行加热的第1加热部;对第2蒸镀材料进行加热的第2加热部;和...
该专利属于株式会社日本有机雷特显示器所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日本有机雷特显示器授权不得商用。

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