显示面板和显示面板的制造方法技术

本申请提供能够抑制制造工序中绝缘击穿的显示面板和显示面板的制造方法。显示面板具有保护元件和含有多个像素的显示部，显示面板具有绝缘性的基板、下部金属层、配置于下部金属层上方的第一层间绝缘膜、配置于第一层间绝缘膜上方的半导体层、配置于半导体层上方的栅极绝缘膜、配置于栅极绝缘膜上方的栅极金属层、配置于栅极金属层上方的第二层间绝缘膜、配置于第二层间绝缘膜上方的源漏极金属层，多个像素各自具有包括半导体层、栅极金属层和源漏极金属层的各自的一部分的薄膜晶体管，保护元件具有包括下部金属层、半导体层和栅极金属层的各自的另一部分的薄膜晶体管式二极管。层的各自的另一部分的薄膜晶体管式二极管。层的各自的另一部分的薄膜晶体管式二极管。

【技术实现步骤摘要】
显示面板和显示面板的制造方法


[0001]本申请涉及显示面板和显示面板的制造方法。

技术介绍

[0002]多个像素以矩阵状配置的有机EL(Electro Luminescence(电致发光))显示面板，是已知的用于显示装置的显示面板。例如，具有顶部发射结构的有机EL显示面板具有电路基板和设于电路基板上的EL器件层，该电路基板具有薄膜晶体管(TFT：Thin Film Transistor(薄膜晶体管))等。薄膜晶体管通过在基板上层积多个绝缘膜和多个布线层等而形成。
[0003]近年来，随着显示装置的大型化，显示面板的带电量亦增加。因此，会导致在显示面板的制造过程中发生的由于绝缘击穿而导致的产量下降之问题。
[0004]为了抑制这种绝缘击穿，已知有显示面板具有薄膜晶体管式二极管等保护元件，该保护元件用于释放显示面板上的携带的电荷(例如，专利文献1等)。专利文献1中记载的保护元件通过连接薄膜晶体管的漏极和栅极而形成，该薄膜晶体管具有与多个像素包含的薄膜晶体管相同的结构。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：JP2010
‑
186185号公报

技术实现思路

[0008]本专利技术所要解决的技术问题
[0009]然而，随着显示装置的大型化，显示面板中包含的布线长度亦变长。据此，在显示面板的保护元件形成之前的制造工序中，各布线和绝缘膜之间积累的电荷量也随之变大。因此，例如，当用金属起重销等推起基板的背面以移动形成薄膜晶体管的基板时，电荷集中在位于起重销上方的基板区域，这可能导致绝缘击穿。
[0010]本申请是为了解决上述问题，并提供在制造过程中能够抑制绝缘击穿的显示面板等。
[0011]用于解决技术问题的技术方案
[0012]本申请为了解决上述问题，提供具有保护元件和有多个像素的显示部的显示面板，所述显示面板具有绝缘性的基板、配置于所述基板上方的下部金属层、配置于所述下部金属层上方的第一层间绝缘膜、配置于所述第一层间绝缘膜上方的半导体层、配置于所述半导体层上方的栅极绝缘膜、配置于所述栅极绝缘膜上方的栅极金属层、配置于所述栅极金属层上方的第二层间绝缘膜、配置于所述第二层间绝缘膜上方的源漏极金属层，各个所述多个像素具有包括所述半导体层、所述栅极金属层和所述源漏极金属层的部分的薄膜晶体管，所述保护元件具有包括所述下部金属层、所述半导体层和所述栅极金属层的各自的另一部分的薄膜晶体管式二极管。
[0013]本申请为了解决上述问题，提供具有保护元件和有多个像素的显示部的显示面板的制造方法，所述显示面板的制造方法包括准备绝缘性基板的准备工序、在所述基板上方形成下部金属层的工序、在所述下部金属层上方形成第一层间绝缘膜的工序、在所述第一层间绝缘膜上方形成半导体层的工序、在所述半导体层上方形成栅极绝缘膜的工序、在所述栅极绝缘膜上方形成栅极金属层的工序、在所述栅极金属层上方形成第二层间绝缘膜的工序、在所述第二层间绝缘膜上方形成源漏极金属层的工序，各个所述多个像素具有包括所述半导体层、所述栅极金属层和所述源漏极金属层的部分的薄膜晶体管，所述保护元件具有包括所述下部金属层、所述半导体层和所述栅极金属层的另一部分的薄膜晶体管式二极管。
[0014]通过本申请，可以提供能够抑制制造工序中的绝缘击穿的显示面板。
附图说明
[0015]图1为表示实施方式相关的显示面板的结构的示意俯视图。
[0016]图2为表示实施方式相关的保护元件的等效电路的电路图。
[0017]图3为表示实施方式相关的显示面板的像素所具有的薄膜晶体管的具体结构的示意剖视图。
[0018]图4为表示实施方式相关的显示面板的保护元件的具体结构的示意图。
[0019]图5为表示实施方式相关的薄膜晶体管的制造方法的第一工序的示意剖视图。
[0020]图6为表示实施方式相关的保护元件的制造方法的第一工序的示意图。
[0021]图7为表示实施方式相关的薄膜晶体管的制造方法的第二工序的示意剖视图。
[0022]图8为表示实施方式相关的保护元件的制造方法的第二工序的示意图。
[0023]图9为表示实施方式相关的薄膜晶体管的制造方法的第三工序的示意剖视图。
[0024]图10为表示实施方式相关的保护元件的制造方法的第三工序的示意图。
[0025]图11为表示实施方式相关的薄膜晶体管的制造方法的第四工序的示意剖视图。
[0026]图12为表示实施方式相关的保护元件的制造方法的第四工序的示意图。
[0027]图13为表示实施方式相关的保护元件的制造方法的第五工序的示意图。
[0028]图14为表示实施方式相关的薄膜晶体管的制造方法的第五工序的示意剖视图。
[0029]图15为表示实施方式相关的保护元件的制造方法的第六工序的示意图。
[0030]图16为表示实施方式相关的薄膜晶体管的制造方法的第六工序的示意剖视图。
[0031]图17为表示实施方式相关的保护元件的制造方法的第七工序的示意图。
[0032]图18为表示实施方式相关的薄膜晶体管的制造方法的第七工序的示意剖视图。
[0033]附图标记说明
[0034]10：显示面板
[0035]11：显示部
[0036]12：像素
[0037]13：周缘区域
[0038]14：引出布线
[0039]15：保护元件
[0040]16：公共电极
[0041]17：信号布线
[0042]18：电源布线
[0043]19：薄膜晶体管
[0044]20：基板
[0045]30：下部金属层
[0046]31：第一下部电极
[0047]32：第二下部电极
[0048]35：下部电极
[0049]40：第一层间绝缘膜
[0050]50：半导体层
[0051]51a、52a、53a、55a：高电阻区域
[0052]51b、52b、53b、55b：低电阻区域
[0053]60：栅极绝缘膜
[0054]60h：接触孔
[0055]70：栅极金属层
[0056]71：第一栅极电极
[0057]71a：第一栅极区域
[0058]72：第二栅极电极
[0059]72a：第二栅极区域
[0060]73：第三栅极电极
[0061]73a：第三栅极区域
[0062]75：栅极电极
[0063]80：第二层间绝缘膜
[0064]90：源漏极金属层
[0065]95a、95b：源漏极电极
具体实施方式
[0066]下面利用附图对本申请的实施方式进行描述。下面描述的实施方式都是本申请内容中的一个具体例子。因此，以下实施方式中所示的数值、形状、材料、结构元件、结构元本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，具有含有多个像素的显示部和保护元件，其特征在于，所述显示面板具有：绝缘性的基板；下部金属层，其配置于所述基板上方；第一层间绝缘膜，其配置于所述下部金属层上方；半导体层，其配置于所述第一层间绝缘膜上方；栅极绝缘膜，其配置于所述半导体层上方；栅极金属层，其配置于所述栅极绝缘膜上方；第二层间绝缘膜，其配置于所述栅极金属层上方；源漏极金属层，其配置于所述第二层间绝缘膜上方，所述多个像素各自具有包括所述半导体层、所述栅极金属层和所述源漏极金属层的各自的一部分的薄膜晶体管，所述保护元件具有包括所述下部金属层、所述半导体层和所述栅极金属层的各自的另一部分的薄膜晶体管式二极管。2.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述下部金属层具有：第一下部电极；第二下部电极，其经由所述第一层间绝缘膜配置于与所述第一下部电极相邻的位置，所述栅极金属层具有第一栅极电极、第二栅极电极和第三栅极电极，所述第二栅极电极经由所述第二层间绝缘膜配置于与各个所述第一栅极电极和所述第三栅极电极相邻的位置，所述第一下部电极与各个所述第一栅极电极和所述第二栅极电极连接，所述第二下部电极与所述第三栅极电极连接。3.如权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第一栅极电极具有配置于与所述第一下部电极对置的位置的第一栅极区域，所述第二栅极电极具有配置于与所述第一下部电极对置的位置的第二栅极区域，所述第三栅极电极具有配置于与所述第二下部电极对置的位置的第三栅极区域。4.如权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述第一栅极电极在所述第一栅极区域中与所述第一下部电极和所述半导体层连接，所述第二栅极电极在所述第二栅极区域中与所述第一下部电极和所述半导体层连接，所述第三栅极电极在所述第三栅极区域中与所述第二下部电极和所述半导体层连接。5.如权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述半导体层具有位于所述第一栅极电极的所述第一栅极区域和所述第一下部电极之间的高电阻区域，以及电阻低于所述高电阻区域的低电阻区域，所述低电阻区域与所述第一栅极电极连接，所述高电阻区域与所述低电阻区域连接且位于所述栅极绝缘膜下方。6.如权利要求1至5中任一项所述的显示面板，其特征在于，所述半导体层包括氧化物半导体。7.如权利要求6所述的显示面板，其特征在于，
所述栅极绝缘膜以与所述栅极金属层相同的形状图案化。8.一种显示面板的制造方法，是具有含有多个像素的显示部和保护元件的显示面板的制造方法，其特征在于，所述显示面板的制造方法包括：准备绝缘性基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：村井淳人，林宏，
申请(专利权)人：株式会社日本有机雷特显示器，
类型：发明
国别省市：