一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具，包括上掩膜板、下掩膜板和被上下掩膜板夹于中间的弹性板；所述上掩膜板和下掩膜板上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔、第一紧固孔、第一定位孔；所述弹性板上设置有弹性机构、与上掩膜板和下掩膜板配合使用的第二紧固孔和第二定位孔；所述弹性机构包括第一半岛形结构和第二半岛形结构，第一半岛形结构和第二半岛形结构的形状为任意互补配合的几何形状，并分别向弹性机构平面的上下面翘起。本发明专利技术可以低成本地实现样品的一个需镀膜表面与掩膜板掩膜开孔边缘紧贴，以防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分，从而提高镀膜产品的品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种掩膜夹具，特别是一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具。
技术介绍
气相沉积技术包括物理气相沉积技术和化学气相沉积技术，对于要求产生特性形状的镀膜膜层时一般采用掩膜工艺。常规的掩膜夹具常用上下两层组成，但由于镀膜样品膜厚往往不一样，从而导致样品无法夹紧的情况。在对样品表面要求镀膜和非镀膜边缘清晰的情况下，上下两层组成的掩膜夹具存在局限。为此，中国专利技术专利CN 204125521U提出了一种用于磁控溅射工艺的掩膜夹具，该夹具同样为了解决样品厚度差异导致密封不严的问题，但是此掩膜夹具结构较为复杂，制作成本高昂。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提出一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具，可以低成本地实现样品的一个需镀膜表面与掩膜板掩膜开孔边缘紧贴，以防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分，从而提高镀膜产品的品质。实现上述技术目的，达到上述技术效果，本专利技术通过以下技术方案实现：一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具，包括上掩膜板、下掩膜板和被上下掩膜板夹于中间的弹性板；所述上掩膜板和下掩膜板上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔、第一紧固孔、第一定位孔；所述弹性板上设置有多个弹性机构、与上掩膜板和下掩膜板配合使用的第二紧固孔和第二定位孔；所述弹性机构的水平截面面积与掩膜开孔的水平截面面积相同，包括第一半岛形结构和第二半岛形结构，第一半岛形结构和第二半岛形结构的形状为任意互补配合的几何形状，并分别向弹性机构平面的上下面翘起。进一步地，所述弹性机构的个数与掩膜开孔的个数相同，二者的位置相配合。进一步地，所述第一半岛形结构和第二半岛形结构由腐蚀、光刻、机械雕中的其中任一种工艺制备而成。进一步地，所述上掩膜板和下掩膜板的掩膜开孔的形状可根据样品镀膜要求设置为圆形、矩形或多边形。进一步地，所述弹性板的材料为具有形状记忆功能的材料，其厚度为0.1mm至5mm。进一步地，所述弹性板的材料为铍青铜、不锈钢、金镉合金、铟铊合金、镍钛合金、铜锌合金、铜铝镍合金、铜钼镍合金、铜金锌合金中的一种。进一步地，所述第一紧固孔、第二紧固孔均为紧固螺钉通孔；所述第一定位孔和第二
定位孔均为定位销孔。本专利技术的有益效果：本专利技术提出一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具，该夹具通过在上掩膜板和下掩膜板之间添加弹性板，实现样品的一个需镀膜表面与掩膜板掩膜开孔边缘紧贴，安装在上掩膜板的样品被弹性板的上翘部分施加一个弹力，从而使上掩膜板内的样品与上掩膜板开孔边缘紧贴；同样地，安装在下掩膜板的样品被弹性板的下翘部分施加一个弹力，从而使下掩膜板内的样品与下掩膜板开孔边缘紧贴。通过以上简单的结构，可以防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分，从而提高镀膜产品的品质。附图说明图1是本专利技术的一种实施例的主体结构示意图；图2是本专利技术的一种实施例的一个掩膜开孔部位的截面示意图；图3是本专利技术的一种实施例的弹性板的第一种结构示意图。图4是本专利技术的一种实施例的弹性板的第二种结构示意图。图5是本专利技术的一种实施例的弹性板的第三种结构示意图。图6是本专利技术的一种实施例的弹性板的第四种结构示意图。图中附图标记的含义：100-上掩膜板，101-掩膜开孔，102-第一紧固孔，103-第一定位孔，200-弹性板，201弹性机构，202-第二紧固孔，203-第二定位孔，2011-第一半岛形结构，2012-第二半岛形结构，300-下掩膜板。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。下面结合附图对本专利技术的应用原理作详细的描述。如图1所示，一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具，包括上掩膜板100、下掩膜板300和被上下掩膜板夹于中间的弹性板200；所述上掩膜板100和下掩膜板300上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔101、第一紧固孔102、第一定位孔103；所述弹性板200上设置有多个弹性机构201、与上掩膜板100和下掩膜板300配合使用的第二紧固孔202和第二定位孔203，第二定位孔203内安装有两面突出的定位销；所述弹性机构201的水平截面面积与掩膜开孔的水平截面面积相同，包括第一半岛形结构2011和第二半岛形结构2012，第一半岛形结构2011和第二半岛形结构2012的形状根据样品镀膜要求设置为任意互补配
合的几何形状，并分别向弹性机构201平面的上下面翘起，具体参见图2-6。在本专利技术的优选实施例中，所述掩膜开孔101为掩膜开孔101、第一紧固孔102、第一定位孔103、第二紧固孔202和第二定位孔203均为圆形。在本专利技术的一种实施例中，所述弹性机构201的个数与掩膜开孔101的个数相同，二者的位置相配合。在本专利技术的一种实施例中，所述第一半岛形结构2011和第二半岛形结构2012由腐蚀工艺制备而成，在本专利技术的其他实施例中，还可以由光刻、机械雕中的其中任一种工艺制备而成。在本专利技术的一种实施例中，所述上掩膜板100和下掩膜板300的掩膜开孔103的形状可根据样品镀膜要求设置为圆形、矩形或多边形。在本专利技术的一种实施例中，所述弹性板200的材料为具有形状记忆功能的材料，其厚度为0.1mm至5mm。在本专利技术的一种实施例中，所述弹性板200的材料为铍青铜、不锈钢、金镉合金、铟铊合金、镍钛合金、铜锌合金、铜铝镍合金、铜钼镍合金、铜金锌合金中的一种。在本专利技术的一种实施例中，所述第一紧固孔102、第二紧固孔202均为紧固螺钉通孔；所述第一定位孔103和第二定位孔203均为定位销孔。安装样品时，先将上掩膜板和下掩膜板的样品安装面朝上平放，然后在上掩膜板和下掩膜板上安放好样品；将弹性板根据定位销孔位置安装在排好样品的上掩膜板上，然后连同弹性板一起翻一个面，朝下安装在下掩膜板上。然后用螺钉将上掩膜板和弹性板紧固到下掩膜板上。如此，即使样品厚度一致性较差，也可以使所有样品表面紧贴上下掩膜板，从而防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分，从而提高镀膜产品的品质。以上显示和描述了本专利技术的基本原理和主要特征和本专利技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本专利技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本专利技术的原理，在不脱离本专利技术精神和范围的前提下，本专利技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本专利技术范围内。本专利技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：包括上掩膜板、下掩膜板和被上下掩膜板夹于中间的弹性板；所述上掩膜板和下掩膜板上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔、第一紧固孔、第一定位孔；所述弹性板上设置有多个弹性机构、与上掩膜板和下掩膜板配合使用的第二紧固孔和第二定位孔；所述弹性机构的水平截面面积与掩膜开孔的水平截面面积相同，包括第一半岛形结构和第二半岛形结构，第一半岛形结构和第二半岛形结构的形状为任意互补配合的几何形状，并分别向弹性机构平面的上下面翘起。

【技术特征摘要】
1.一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：包括上掩膜板、下掩膜板和被上下掩膜板夹于中间的弹性板；所述上掩膜板和下掩膜板上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔、第一紧固孔、第一定位孔；所述弹性板上设置有多个弹性机构、与上掩膜板和下掩膜板配合使用的第二紧固孔和第二定位孔；所述弹性机构的水平截面面积与掩膜开孔的水平截面面积相同，包括第一半岛形结构和第二半岛形结构，第一半岛形结构和第二半岛形结构的形状为任意互补配合的几何形状，并分别向弹性机构平面的上下面翘起。2.根据权利要求1所述的一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：所述弹性机构的个数与掩膜开孔的个数相同，二者的位置相配合。3.根据权利要求1所述的一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：所述第一半岛形结构和第二半岛形结...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯斌，李东滨，王德苗，金浩，
申请(专利权)人：浙江大学昆山创新中心，
类型：发明
国别省市：江苏;32