纳米吸气剂制备方法技术

纳米吸气剂制备方法，涉及一种吸气剂，尤其是涉及一种纳米吸气剂制备方法。提供一种表面积与体积比率高，吸附作用强，可沉积多种合金薄膜，制备工艺成熟的纳米吸气剂制备方法。其步骤为：采用化学气相沉积法在硅基上生长碳纳米管：先将溅射有催化剂的基底硅片样品放入石英管中抽真空，通保护气Ａｒ＋Ｈ↓［２］，炉内加热，关闭Ａｒ＋Ｈ↓［２］，通ＣＨ↓［４］，反应结束关闭ＣＨ↓［４］，在Ａｒ＋Ｈ↓［２］的保护下冷却取出样品；在碳纳米管上均匀涂布Ｔｉ金属以增强吸气剂的化学吸附作用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
纳米吸气剂制备方法，其特征在于其步骤为：１）采用化学气相沉积法在硅基上生长碳纳米管：先将溅射有催化剂的基底硅片样品放入石英管中，并抽真空至１００～２５０Ｔｏｒｒ，通２５～２００ｓｃｃｍ的保护气Ａｒ＋Ｈ↓［２］至０．８～１．２ａｔｍ， 将炉内加热到８５０～１１００℃，维持这个炉温，关闭Ａｒ＋Ｈ↓［２］，接着持续通２５～２００ｓｃｃｍ的ＣＨ↓［４］５～３０ｍｉｎ，反应结束，关闭ＣＨ↓［４］，在Ａｒ＋Ｈ↓［２］的保护下冷却至５０～３００℃，取出样品；２）在碳纳米管上均 匀涂布厚度为１０～５０ｎｍＴｉ膜金属。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙道恒，陈松平，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：92[中国|厦门]