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纳米吸气剂制备方法技术
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文档序号:1323886
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纳米吸气剂制备方法,涉及一种吸气剂,尤其是涉及一种纳米吸气剂制备方法。提供一种表面积与体积比率高,吸附作用强,可沉积多种合金薄膜,制备工艺成熟的纳米吸气剂制备方法。其步骤为:采用化学气相沉积法在硅基上生长碳纳米管:先将溅射有催化剂的基底硅片...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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