半导体器件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种半导体器件的制造方法，该半导体器件能在长时间内稳定且高精度地进行工作且具有设置在半导体基板上的集成电路以及相对于所述基板可动的可动部，该半导体器件的制造方法包括：用牺牲膜覆盖所述可动部的步骤；使用由具有拉伸应力的材料构成的第１密封层覆盖所述牺牲膜的步骤；在所述第１密封层上形成贯通孔的步骤；经由所述贯通孔去除所述牺牲膜并在所述可动部的周围形成空间的步骤；以及在所述第１密封层上形成第２密封层并堵塞所述贯通孔的步骤。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种制造方法，是半导体器件的制造方法，该半导体器件具有设置在半导体基板上的集成电路和相对于所述基板可动的可动部，该制造方法的特征在于，其具有以下步骤：　用牺牲膜覆盖所述可动部的步骤；　使用由具有拉伸应力的材料构成的第１密封层覆盖所述牺牲膜的步骤；　在所述第１密封层上形成贯通孔的步骤；　经由所述贯通孔去除所述牺牲膜并在所述可动部的周围形成空间的步骤；以及　在所述第１密封层上形成第２密封层并堵塞所述贯通孔的步骤。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村麻树子，
申请(专利权)人：冲电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]