工业用机器人制造技术

一种工业用机器人，该工业用机器人在沿一定方向排列的多个FOUP与半导体晶圆处理装置之间搬运半导体晶圆，且构成EFEM的一部分，即使使机器人主体升降的升降机构配置在机器人主体的外部，也能够在与多个FOUP的排列方向以及上下方向正交的方向上将EFEM小型化。在工业用机器人(1)中，在臂(16)缩回、多个臂部(18至20)及手(14、15)在上下方向上重叠的工业用机器人(1)的待机状态下，臂(16)的一部分配置在比机器人主体(3)的主体部(17)靠Y2方向侧的位置。在工业用机器人(1)中，在使机器人主体(3)升降的升降机构(4)固定主体部(17)，且升降机构(4)配置在主体部(17)的Y2方向侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工业用机器人
本专利技术涉及一种工业用机器人，该工业用机器人构成EFEM(EquipmentFrontEndModule：设备前端模块)的一部分，且在FOUP(FrontOpenUnifiedPod:前开式晶圆盒)与半导体晶圆处理装置之间搬运半导体晶圆。
技术介绍
以往公知一种构成EFEM的一部分并在FOUP(或者多个FOUP)与半导体晶圆处理装置之间搬运半导体晶圆的工业用机器人(例如参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人具有：两个手，所述两个手装载半导体晶圆；臂，两个手能够转动地连接到所述臂的末端侧；以及主体部，臂的基端侧能够转动地连接到所述主体部。臂包括：第一臂，所述第一臂的基端侧能够转动地连接到主体部；第二臂，所述第二臂的基端侧能够转动地连接到第一臂的末端侧；第三臂，所述第三臂的基端侧能够转动地连接到第二臂的末端侧且手能够转动地连接到所述第三臂的末端侧。在主体部的内部容纳有使第一臂升降的臂升降机构。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-230256号公报专利技术概要专利技术所要解决的课题FOUP根据SEMI(SemiconductorEquipmentandMaterialsInstitute：半导体设备与材料协会)标准被制造而成，FOUP的高度为规定的尺寸。另一方面，关于半导体晶圆处理装置，没有特定的标准，半导体晶圆处理装置的高度可任意设定。因此存在如下情况：因半导体晶圆处理装置的规格而导致臂升降机构的升降量不足，从而无法在EFEM中直接使用专利文献1记载的工业用机器人。在这种情况下，只要更改配置在主体部的内部的臂升降机构的结构来增大臂升降机构的升降量即可。但是，在增大臂升降机构的升降量的情况下，存在有必须重新考虑主体部整体的结构的问题，从而工业用机器人的设计变得繁琐。并且，在增大臂升降机构的升降量的情况下，由于需要根据半导体晶圆处理装置的高度来制造臂升降机构的升降量不同的多种工业用机器人，因此存在有工业用机器人的制造成本增加的问题。另一方面，在配置于主体部的内部的臂升降机构的升降量不足的情况下，如果在工业用机器人的外部设置使专利文献1中记载的工业用机器人自身升降的升降机构，则能够解决上述的问题。但是，在工业用机器人的外部设置升降机构的情况有可能造成EFEM大型化。因此，本专利技术的第一课题在于提供一种工业用机器人，该工业用机器人在沿一定方向排列的多个FOUP与半导体晶圆处理装置之间搬运半导体晶圆，且构成EFEM的一部分，即使使机器人主体升降的升降机构配置在机器人主体的外部，也能够在与多个FOUP的排列方向和上下方向正交的方向上将EFEM小型化。接下来，在配置于主体部的内部的臂升降机构的升降量不足的情况下，如果在工业用机器人的外部设置使专利文献1中记载的工业用机器人自身升降的升降机构，则能够解决上述的问题。在这种情况下，如果将用于朝向上下方向驱动工业用机器人的升降机构的驱动部和用于朝向上下方向引导工业用机器人的升降机构的导向部容纳在壳体的内部，则能够抑制由该驱动部、导向部产生的尘埃流向EFEM的内部。然而，即使升降机构的驱动部、导向部被容纳在壳体的内部，也会存在如下问题：由驱动部和导向部产生的尘埃从工业用机器人与升降机构之间的连接部流向EFEM的内部，从而无法确保EFEM的内部的洁净度。因此，本专利技术的第二课题在于提供一种工业用机器人，该工业用机器人构成EFEM的一部分，即使使机器人主体升降的升降机构被配置在机器人主体的外部，也能够有效抑制由升降机构的驱动部、导向部产生的尘埃从机器人主体与降机构之间的连接部分流向EFEM的内部。用于解决问题的技术方案为了解决上述第一课题，本专利技术的工业用机器人在沿一定方向排列的多个FOUP与半导体晶圆处理装置之间搬运半导体晶圆，且构成EFEM的一部分，其特征在于，该工业用机器人具有：机器人主体；以及升降机构，所述升降机构配置在机器人主体的外部，且使机器人主体升降，机器人主体具有：手，所述手装载半导体晶圆；臂，所述臂由彼此能够相对转动地连接的多个臂部构成，且手能够转动地连接到所述臂的末端部；主体部，臂的基端侧能够转动地连接到所述主体部；以及臂升降机构，所述臂升降机构使臂升降，如果以多个FOUP的排列方向为第一方向，以与上下方向和第一方向正交的方向为第二方向，以第二方向的一方为第三方向，以第二方向的另一方为第四方向，则在从上下方向观察时，臂的基端侧相对于主体部的转动中心配置在比主体部的中心靠第三方向侧的位置，且在臂缩回、多个臂部及手在上下方向上重叠的工业用机器人的待机状态下，臂的一部分配置在比主体部靠第四方向侧的位置，在升降机构固定有主体部，升降机构配置在主体部的第一方向的两侧中的至少一侧和/或主体部的第四方向侧。在本专利技术的工业用机器人中，在臂缩回、多个臂部及手在上下方向上重叠的工业用机器人的待机状态下，臂的一部分配置在比机器人主体的主体部靠第四方向侧的位置。并且，在本专利技术中，在使机器人主体升降的升降机构固定机器人主体的主体部，且该升降机构配置在主体部的第一方向的两侧中的至少一侧和/或主体部的第四方向侧。因此，在本专利技术中，能够在使工业用机器人的第三方向侧的侧面靠近EFEM的壳体的第三方向侧的侧面的状态下将工业用机器人配置在EFEM的壳体的内部。因此，在本专利技术中，即使使机器人主体升降的升降机构配置在机器人主体的外部，也能够在与多个FOUP的排列方向(第一方向)和上下方向正交的第二方向上将EFEM小型化。在本专利技术中，优选臂具有作为臂部的第一臂部，所述第一臂部的基端侧能够转动地连接到主体部，从上下方向观察时，升降机构被容纳在第一臂部相对于主体部的转动区域内。如果这样构成，则不用考虑升降机构的大小，就能够根据第一臂部相对于主体部的旋转半径来设定第二方向上的EFEM的壳体的宽度。因此，能够在第二方向上将EFEM进一步小型化。在本专利技术中，优选主体部形成为在从上下方向观察时的形状呈具有与第一方向平行的侧面的大致长方形或大致正方形。如果这样构成，则能够在使工业用机器人的第三方向侧的侧面进一步靠近EFEM的壳体的第三方向侧的侧面的状态下，将工业用机器人配置到EFEM的壳体的内部。因此，能够在第二方向上将EFEM进一步小型化。在本专利技术中，优选在升降机构安装有主体部的第四方向侧的侧面。如果这样构成，则能够在第一方向上将工业用机器人小型化。接下来，为了解决上述第二课题，本专利技术的工业用机器人构成EFEM的一部分且在FOUP与半导体晶圆处理装置之间搬运半导体晶圆，其特征在于，所述工业用机器人包括：机器人主体；以及升降机构，所述升降机构配置在机器人主体的外部，且使机器人主体升降，机器人主体具有：手，所述手装载半导体晶圆的；臂，手能够转动地连接到所述臂的末端侧；主体部，臂的基端侧能够转动地连接到所述主体部；以及臂升降机构，所述臂升降机构使臂升降，升降机构具有：驱动部，所述驱动部用于朝向上下方向驱动机器人主体；导轨，所述导轨用于朝向上下方向引导机器人主体；导向块，所述导向块与导轨卡合并朝向上下方向滑动；壳体，所述壳体容纳驱动部、导轨以及导向块；以及连接部件，所述连接部件用于连接配置在壳体的外部的机器人主体和导向块，壳体具有配置在导向块与主体部之间的平板状的外罩，上下方向细长的狭本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工业用机器人，其在沿一定方向排列的多个FOUP与半导体晶圆处理装置之间搬运半导体晶圆，且构成EFEM的一部分，其特征在于，所述工业用机器人包括：机器人主体；以及升降机构，所述升降机构配置在所述机器人主体的外部，且使所述机器人主体升降，所述机器人主体具有：手，所述手装载所述半导体晶圆；臂，所述臂由彼此能够相对转动地连接的多个臂部构成，且所述手能够转动地连接到所述臂的末端侧；主体部，所述臂的基端侧能够转动地连接到所述主体部；以及臂升降机构，所述臂升降机构使所述臂升降，如果以多个所述FOUP的排列方向为第一方向，以与上下方向和所述第一方向正交的方向为第二方向，以所述第二方向的一方为第三方向，以所述第二方向的另一方为第四方向，则从上下方向观察时，所述臂的基端侧相对于所述主体部的转动中心配置在比所述主体部的中心靠所述第三方向侧的位置，在所述臂缩回、多个所述臂部及所述手在上下方向上重叠的所述工业用机器人的待机状态下，所述臂的一部分配置在比所述主体部靠所述第四方向侧的位置，在所述升降机构固定有所述主体部，所述升降机构配置在所述主体部的所述第一方向的两侧中的至少一侧和/或所述主体部的所述第四方向侧。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.29 JP 2013-247027;2013.11.29 JP 2013-247021.一种工业用机器人，其在沿一定方向排列的多个FOUP与半导体晶圆处理装置之间搬运半导体晶圆，且构成EFEM的一部分，其特征在于，所述工业用机器人包括：机器人主体；以及升降机构，所述升降机构配置在所述机器人主体的外部，且使所述机器人主体升降，所述机器人主体具有：手，所述手装载所述半导体晶圆；臂，所述臂由彼此能够相对转动地连接的多个臂部构成，且所述手能够转动地连接到所述臂的末端侧；主体部，所述臂的基端侧能够转动地连接到所述主体部；以及臂升降机构，所述臂升降机构使所述臂升降，如果以多个所述FOUP的排列方向为第一方向，以与上下方向和所述第一方向正交的方向为第二方向，以所述第二方向的一方为第三方向，以所述第二方向的另一方为第四方向，则从上下方向观察时，所述臂的基端侧相对于所述主体部的转动中心配置在比所述主体部的中心靠所述第三方向侧的位置，在所述臂缩回、多个所述臂部及所述手在上下方向上重叠的所述工业用机器人的待机状态下，所述臂的一部分配置在比所述主体部靠所述第四方向侧的位置，所述升降机构配置在所述主体部的所述第一方向的两侧中的至少一侧和/或所述主体部的所述第四方向侧，所述升降机构具有：驱动部，所述驱动部用于朝向上下方向驱动所述机器人主体；两个导轨，所述导轨用于朝向上下方向引导所述机器人主体；导向块，所述导向块分别与两个所述导轨卡合并朝向上下方向滑动；壳体，所述壳体容纳所述驱动部、所述导轨以及所述导向块；两个连接部件，所述连接部件被固定于所述导向块；以及固定部件，所述固定部件被固定于所述连接部件，所述壳体具有配置在所述导向块与所述主体部之间的平板状的前表面部，两个所述导轨以在所述第一方向上隔着间隔的状态配置，两个所述连接部件以在所述第一方向上隔着间隔的状态配置，在所述前表面部上，以所述连接部件能够朝向上下方向移动的方式且以在所述第一方向上隔着间隔的状态形成有上下方向细长的狭缝状的两个贯通孔，在两个所述连接部件上分别以通过所述贯通孔的方式形成有分别配置于两个所述贯通孔的贯通孔通过部，在两个所述贯通孔通过部的末端面固定有所述固定部件，所述固定部件配置于所述壳体的外部，所述固定部件与所述连接部件分体形成，且形成为以所述第二方向为厚度方向的平板状，在所述固定部件上固定有配置于所述壳体外部的所述机器人主体的所述主体部。2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，所述臂具有作为所述臂部的第一臂部，所述第一臂部的基端侧能够转动地连接到所述主体部，在从上下方向观察时，所述升降机构被容纳在所述第一臂部相对于所述主体...

【专利技术属性】
技术研发人员：北原康行，风间俊道，栗林保，斋地正义，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP