工业用机器人制造技术

一种工业用机器人，即便大型化也可减少安装用以确保臂内部空间的气密性的密封部件时的作业错误。在该工业用机器人中，臂(14)形成为具有由上表面部(85a)、下表面部(85b)以及侧面部(85c)包围的内部空间(45)的中空状且配置在真空中，并且内部空间(45)为大气压。在上表面部(85a)形成有连通至内部空间(45)的多个贯通孔(85g)，贯通孔(85g)被盖部件(86)盖住，在上表面部(85a)与盖部件(86)之间配置有密封部件。在下表面部(85b)的与上表面部(85a)对置的面，形成有从上表面部(85a)与下表面部(85b)对置的方向观察时至少一部分与贯通孔(85g)重叠的多个凹部(85n)。

【技术实现步骤摘要】
工业用机器人本专利技术专利申请是国际申请号为PCT/JP2013/077920，国际申请日为2013年10月15日，进入中国国家阶段的申请号为201380022507.0，名称为“工业用机器人”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及一种在真空中使用的工业用机器人。
技术介绍
以往，众所周知在真空中搬送基板的真空机器人(例如参照专利文献1)。专利文献1中记载的真空机器人包括：手部，其装载基板；臂，其前端侧连接有手部；以及主体部，其连接有臂的基端侧。臂包括：臂底座，其可转动地连接于主体部；第一臂，其基端侧可转动地连接于臂底座；以及第二臂，其基端侧可转动地连接于第一臂的前端侧。并且，臂包括：第一连杆，其基端侧可转动地连接于臂底座；第二连杆，其基端侧可转动地连接于第一连杆的前端侧；第一连接连杆，其连接第一臂的前端侧与第一连杆的前端侧；以及第二连接连杆，其连接第二臂的前端侧与第二连杆的前端侧。在专利文献1记载的真空机器人中，臂底座和第一臂形成为中空状。并且，第二臂、第一连杆、第二连杆、第一连接连杆以及第二连接连杆也形成为中空状。在臂底座的内部配置有驱动臂的臂驱动用马达和将臂驱动用马达的旋转减速并向第一臂传递的第一减速机。在第一减速机的输出轴固定有第一臂的基端侧。在第一臂的前端侧配置有将臂驱动用马达的旋转减速并向第二臂传递的第二减速机。在第二减速机的输出轴固定有第二臂的基端侧。并且，在专利文献1记载的真空机器人中，主体部的一部分固定在真空容器的底面，臂和手部配置在真空中。在形成为中空状的臂底座和第一臂的内部空间中确保气密性，臂底座和第一臂的内部空间为大气压。即，臂驱动用马达、第一减速机以及第二减速机配置在大气中。另一方面，在第二臂、第一连杆、第二连杆、第一连接连杆以及第二连接连杆形成有连通至它们的内部空间的开口部，第二臂、第一连杆、第二连杆、第一连接连杆以及第二连接连杆的内部空间为真空。即，可转动地连接臂底座与第一连杆的轴承和可转动地连接第一连杆与第二连杆的轴承等配置在真空中。并且，在该真空机器人中，通过沿上下方向分割为两部分的大致有底圆筒状的两个分割壳体相互接合而构成臂底座。在两个分割壳体的接合部，为了确保臂底座的内部空间的气密性而配置有环状的密封部件，两个分割壳体在夹持该密封部件的状态下接合。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2011-101912号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题在专利文献1记载的真空机器人中，两个分割壳体在夹持环状的密封部件的状态下接合。因此，在该真空机器人中，若机器人大型化而使臂底座大型化，则密封部件也大型化，从而组装臂底座时密封部件的操作变得烦杂。并且，若密封部件的操作变得烦杂，则产生在两个分割壳体之间无法可靠地夹持密封部件的作业错误，从而无法确保臂底座的内部空间的气密性的可能性也变高。因此，本专利技术(第一专利技术)的课题在于提供一种工业用机器人，其是具有配置在真空中并且内部空间的至少一部分为大气压的臂的工业用机器人，即便工业用机器人大型化，也可降低安装用以确保臂的内部空间的气密性的密封部件时的作业错误。并且，在专利文献1记载的真空机器人中，即便臂配置在真空中，由于臂底座和第一臂的内部空间为大气压，因此可冷却配置在臂底座的内部的臂驱动用马达。并且，在该真空机器人中，即便装载于手部的基板的温度较高，也可从内部冷却臂底座和第一臂，从而可抑制臂底座和第一臂的温度上升。因此，可抑制臂底座和第一臂的热膨胀。进而，在该真空机器人中，即便臂配置在真空中，由于臂驱动用马达、第一减速机以及第二减速机配置在大气中，因此作为臂驱动用马达、第一减速机以及第二减速机的润滑剂，无须使用真空润滑脂等高价的润滑剂，只要使用在大气压中所使用的润滑脂等润滑剂即可。因此，可减少真空机器人的初期成本和运转成本。然而，在该真空机器人中，构成臂的第二臂、第一连杆、第二连杆、第一连接连杆以及第二连接连杆的内部空间为真空，因此若装载于手部的基板的温度较高，则存在第二臂、第一连杆以及第二连杆等的温度变高，从而第二臂、第一连杆以及第二连杆等的热膨胀量变大的可能性。若第二臂、第一连杆以及第二连杆等的热膨胀量变大，则存在装载于手部而搬送的基板从原本的目标到达位置大幅偏移的可能性。并且，在该真空机器人中，可转动地连接臂底座与第一连杆的轴承和可转动地连接第一连杆与第二连杆的轴承等配置在真空中，因此若装载于手部的基板的温度较高，则存在这些轴承的温度上升而使这些轴承的寿命下降的可能性。并且，这些轴承配置在真空中，因此作为这些轴承的润滑剂，必须使用真空润滑脂等高价的润滑剂。因此，在该真空机器人中，初期成本和运转成本变高。因此，本专利技术(第二专利技术)的课题在于提供一种工业用机器人，即便装载于手部且在真空中搬送的搬送对象物的温度较高，也可抑制搬送对象物从目标到达位置偏移而提高搬送对象物的搬送精度，且可减少初期成本和运转成本。用以解决技术问题的技术方案为了解决上述问题，本专利技术(第一专利技术)的工业用机器人的特征在于，其包括臂，所述臂具有：平板状的第一平面部；平板状的第二平面部，其与第一平面部隔着预定的间隙而大致平行地对置；以及侧面部，其连接第一平面部的外周端与第二平面部的外周端，臂的至少一部分形成为具有由第一平面部、第二平面部以及侧面部包围的内部空间的中空状，并且臂配置在真空中，臂的内部空间为大气压，在第一平面部形成有连通至内部空间的多个贯通孔，臂包括:多个盖部件，多个盖部件固定于第一平面部且盖住贯通孔；以及多个密封部件，多个密封部件配置于第一平面部与盖部件之间而防止空气从内部空间流出，在第二平面部的与第一平面部对置的面，以凹陷的方式形成有从第一平面部与第二平面部对置的方向观察时至少一部分与贯通孔重叠的多个凹部。在本专利技术(第一专利技术)的工业用机器人中，在构成配置于真空中并且内部空间为大气压的臂的第一平面部，形成有连通至内部空间的多个贯通孔。并且，在本专利技术(第一专利技术)中，臂包括：多个盖部件，多个盖部件固定于第一平面部且盖住多个贯通孔；以及多个密封部件，多个密封部件配置在第一平面部与盖部件之间而防止空气从内部空间流出。因此，在本专利技术(第一专利技术)中，即便工业用机器人大型化而使臂大型化，也可使多个密封部件各者的大小变小，其结果，在组装臂时，可容易地操作密封部件。因此，在本专利技术(第一专利技术)中，即便工业用机器人大型化，也可减少安装用以确保臂的内部空间的气密性的密封部件时的作业错误。此处，在配置于真空中的臂的内部空间为大气压时，形成为中空状的臂因内部的压力而以向外侧凸起的方式变形。在本专利技术(第一专利技术)中，在第二平面部的与第一平面部对置的面，以凹陷的方式形成有从第一平面部与第二平面部对置的方向观察时至少一部分与贯通孔重叠的多个凹部，因此可以臂朝向第一平面部与第二平面部对置的方向的两个外侧大致均等地凸起的方式使臂变形。即，在第二平面部的与第一平面部对置的面未形成凹部时，形成有多个贯通孔的第一平面部的强度低于第二平面部的强度，因此臂容易因内部的压力而以臂的第一平面部侧比臂的第二平面部侧朝向外侧大地凸起的方式变形，但在本专利技术(第一专利技术)中，在第二平面部的与第一平面部对置的面形成有多个凹部，可使第二平面部的强度接近第一平面部的强度，因此可以臂朝向第一平面部侧和第二平面部侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工业用机器人，其特征在于，所述工业用机器人包括：主体部；臂，其基端侧能转动地连接于所述主体部；以及手部，其能转动地连接于所述臂的前端侧，所述手部和所述臂配置在真空中，所述臂整体形成为中空状，所述臂的内部空间为大气压。

【技术特征摘要】
2013.01.07 JP 2013-000541;2013.01.07 JP 2013-000541.一种工业用机器人，其特征在于，所述工业用机器人包括：主体部；臂，其基端侧能转动地连接于所述主体部；以及手部，其能转动地连接于所述臂的前端侧，所述手部和所述臂配置在真空中，所述臂整体形成为中空状，所述臂的内部空间为大气压，所述臂由相互能相对转动地连接的多个臂部构成，多个所述臂部分别形成为中空状，所述臂由作为所述臂部的第一臂部以及作为所述臂部的第二臂部构成，所述第一臂部的基端侧能转动地连接于所述主体部，所述第二臂部的基端侧能转动地连接于所述第一臂部的...

【专利技术属性】
技术研发人员：矢泽隆之，增泽佳久，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP