本实用新型专利技术涉及一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，包括用于放置废靶材的基座，所述基座上设置有用于垫高废靶材且对废靶材进行冷却的散热层，所述基座周侧均匀分布有多个向上延伸的固定臂，所述固定臂上设置有高度可调的固定螺孔，所述固定螺孔内穿设有用于固定废靶材的固定螺钉。该装置设计简单，制作容易，加工成本低，维护方便，适用范围广，可普遍使用；该装置稳定性强，由于所用材料与原靶材相同，不会对生产过程产生不利影响；该装置可使圆形平面靶材多次利用，大大提升圆形平面靶材利用率，减少生产浪费，降低生产成本。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置。
技术介绍
中国技术专利CN 203904449U公开了一种可调节靶材，包含靶座，所述靶座的突肩上设有磁场，所述靶座的上方设有靶材，所述靶座与消耗后的靶材之间设有调节垫圈。该可调节靶材主要解决靶材与引弧针距离的稳定性问题，但对于更复杂的工作环境、深颜色镀种、靶材表面毒化等问题都不能有效解决，且该可调节靶材制作难度较大、同时难以维护。
技术实现思路
鉴于现有技术的不足，本技术所要解决的技术问题是提供一种结构简单、制作容易、维护方便且适用范围广的提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，该装置减少生产浪费、降低生产成本、提高资源有效利用率。为了解决上述问题，本技术的技术方案是:一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，包括用于放置废靶材的基座，所述基座上设置有用于垫高废靶材且对废靶材进行冷却的散热层，所述基座周侧均匀分布有多个向上延伸的固定臂，所述固定臂上设置有高度可调的固定螺孔，所述固定螺孔内穿设有用于固定废靶材的固定螺钉。优选的，所述基座及其固定臂的材质与靶材的材质相同。—优选的，所述基座是由生产后不能继续使用的废靶材机械加工而成。另一优选的，所述基座是由生产后不能继续使用的废靶材或靶材金属原材料浇注后机械加工而成。优选的，所述基座的高度为原靶材高度的1/2~1/3，所述装置的整体高度与原靶材高度相近。优选的，所述散热层为热和电的良导体。进一步的，所述散热层的材质为石墨材料。—优选的，所述固定螺孔包含多个沿固定臂上下间隔分布的圆形螺孔。另一优选的，所述固定螺孔包含一个开设于螺孔座上的圆形螺孔，所述固定臂上开设有一个供螺孔座上下滑动以调节高度位置的长圆孔。优选的，所述固定螺孔的高度调节范围为装置总高度的1/2~7/8。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果:(1)该装置设计简单，制作容易，加工成本低，维护方便，适用范围广，可普遍使用；(2)该装置稳定性强，由于所用材料与原靶材相同，不会对生产过程产生不利影响；(3)该装置可使圆形平面靶材多次利用，大大提升圆形平面靶材利用率，减少生产浪费，降低生产成本。【附图说明】图1为原靶材的主视图。图2为本技术实施例一的主视图。图3为本技术实施例一的剖视图。图4为本技术实施例一的俯视图。图5为本技术实施例二的主视图。图6为本技术实施例二的剖视图。图7为本技术实施例二的俯视图。图中标记:100-原靶材，110-固定螺纹，200-废靶材，300-基座，310-固定螺纹，400-散热层，500-固定臂，510-固定螺孔，511-第一螺孔，512-第二螺孔，520-固定螺钉，530-螺孔座，540-长圆孔。【具体实施方式】为了让本技术的上述特征和优点更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图，作详细说明如下。如图1~7所示，一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，包括用于放置废靶材200的基座300，所述基座300上设置有用于垫高废靶材200且对废靶材200进行冷却的散热层400，所述基座300周侧均匀分布有多个向上延伸的固定臂500，所述固定臂500上设置有高度可调的固定螺孔510，所述固定螺孔510内穿设有用于固定废靶材200的固定螺钉520。实施例一:如图2~4所示，所述基座300及其固定臂500的材质与靶材的材质相同，所述基座300是由生产后不能继续使用的废靶材200机械加工而成，实际生产时可以先按照所需尺寸将废靶材200经车床切割加工制成基座300、固定臂500，再将固定臂500焊接在基座300的周侧。在实施例一中，所述固定螺孔510包含多个沿固定臂500上下间隔分布的第一螺孔511，通过选择不同高度的第一螺孔511来穿设固定螺钉520，实现不同高度的废靶材固定。实施例二:如图5~7所示，所述基座300及其固定臂500的材质与靶材的材质相同，所述基座300是由生产后不能继续使用的废靶材200或靶材金属原材料浇注后机械加工而成，实际生产时可以将基座300和固定臂500 —体浇注而成，也可以后期在基座300上焊接固定臂500。在实施例二中，所述固定螺孔510包含一个开设于螺孔座530上的第二螺孔512，所述固定臂500上开设有一个供螺孔座530上下滑动以调节高度位置的长圆孔540，所述螺孔座530的材质可与靶材的材质相同。在上述所有的实施例中，所述基座300底部设有固定螺纹310，其与原靶材100底部的固定螺纹110相同。所述基座300的高度为原靶材高度的1/2~1/3，所述装置的整体高度与原靶材高度相近。在上述所有的实施例中，所述散热层400为热和电的良导体，其材质包括但并不局限于石墨材料，其厚度可根据靶材消耗的厚度进行相应的调整。在上述所有的实施例中，所述固定螺孔510的高度调节范围为装置总高度的1/2~7/8，具体可根据实际生产需要进行设计。在上述所有的实施例中，所述固定臂500内侧设有与靶材圆周侧面相配合的弧面，即弧面不超出基座300圆周。使用时，通过基座300底部的固定螺纹310安装在电镀设备上，通过固定臂500上的固定螺孔510和固定螺钉520的配合将消耗后的废靶材固定在基座300上，待靶材工作消耗到预定厚度时，调整散热层400的厚度以保持靶材控制在有效消耗范围内，通过固定螺孔510调节固定螺钉520的高度以保持靶材固定在基座300上，使消耗后的废靶材又成为一个新的靶材，完全恢复到消耗之前的状态，保持工艺控制和涂层性能的稳定性，始终在控制范围内进行生产。本技术不局限于上述最佳实施方式，任何人在本技术的启示下都可以得出其他各种形式的提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置。凡依本技术申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本技术的涵盖范围。【主权项】1.一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，包括用于放置废靶材的基座，其特征在于:所述基座上设置有用于垫高废靶材且对废靶材进行冷却的散热层，所述基座周侧均匀分布有多个向上延伸的固定臂，所述固定臂上设置有高度可调的固定螺孔，所述固定螺孔内穿设有用于固定废靶材的固定螺钉。2.根据权利要求1所述的一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，其特征在于:所述基座及其固定臂的材质与靶材的材质相同。3.根据权利要求1或2所述的一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，其特征在于:所述基座是由生产后不能继续使用的废靶材机械加工而成。4.根据权利要求1或2所述的一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，其特征在于:所述基座是由生产后不能继续使用的废靶材或靶材金属原材料浇注后机械加工而成。5.根据权利要求1所述的一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，其特征在于:所述基座的高度为原靶材高度的1/2~1/3，所述装置的整体高度与原靶材高度相近。6.根据权利要求1所述的一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，其特征在于:所述散热层为热和电的良导体。7.根据权利要求6所述的一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，其特征在于:所述散热层的材质为石墨材料。8.根据权利要求1所述的一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，其特征在于:所述固定螺孔包含多个沿固定臂上下间隔分布的第一螺本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，包括用于放置废靶材的基座，其特征在于：所述基座上设置有用于垫高废靶材且对废靶材进行冷却的散热层，所述基座周侧均匀分布有多个向上延伸的固定臂，所述固定臂上设置有高度可调的固定螺孔，所述固定螺孔内穿设有用于固定废靶材的固定螺钉。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡征宇，李震林，侯章辉，谢国亮，
申请(专利权)人：厦门建霖工业有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35
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