晶片加工操作台的本地储存器制造技术

一种缓冲装置（２０），包括：容纳多个水平移动机构、以储存承载器（２７Ａ、２７Ｂ）和向／从装载口岸（２９）传递承载器的一垂直移动机构；以及靠近缓冲装置的一或多个缓冲装载口岸，以借助于导引运送器、高架运送器或人工装载和卸载缓冲装置。一种缓冲系统包括缓冲装置（２０）和加工系统装载口岸（２９），以从缓冲装置把承载器（２７Ａ、２７Ｂ）传递到加工系统装载口岸（２９）。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及盒的储存，具体地涉及一种用于在集成电路制造系统中在一或多部加工操作台处或附近本地缓冲半导体晶片盒(也称作“承载器”或“片盒”)的装置。
技术介绍
集成电路(通常缩写为“IC”)模片是通过在制造系统(通常缩写为“fab”)中在半导体晶片(也称作“基片”)上实施多步工序而制成的。晶片一般被保持在中心储存器1(通常称作“储料器”)中，并被运送到一部或多部加工操作台2A-2M处(其中A≤J≤M，M是加工操作台的总数)。在运送期间，多个晶片保持在盒3(也称作“承载器”、“片盒”“SMIF”、“盒”、“箱器”、“FOUP”和“运送容器”)。承载器的大小取决于其中可以保持的晶片最大数量，现有技术公开了用于保持13个晶片的承载器、以及用于保持多达25个晶片或者少至一个晶片的更为新近的承载器。如图1A中所示，承载器3可以由高架运送器4(通常缩写为“OHV”)从储料器1中拾取，并根据将在其上实施的制造工序而被运送到某一加工操作台2A-2M(也称作“加工系统”或“加工工具”)处。代替OHV 4，承载器也可以人工传送，或者另外由一种自动导向运送器(图1A中未示出；通常缩写为“AGV”)，由一种人工导向运送器(图1A中也未示出；通常缩写为“PGV”)或由一种轨道导向运送器(图1A中也未示出；缩写为“RGV”)。授予Perlor等人的美国专利第6283692号(在此全文引用作为背景参考材料)指出，“为了确保加工设备不会闲置，在加工操作台处应当几乎连续的供应未加工的基片。遗憾的是，许多加工操作台只能在装载台处保持一个单独的片盒。因此，一旦片盒中的所有基片已经加工完成，片盒就必须或是用人工或是用AGV迅速更换，代以一个容纳未加工基片的新片盒。遗憾的是，运用这样一种及时片盒存储系统需要或是操作人工有效的监视或是大量的AGV，从而加大了制造设施的成本。因此，在此需要一种方法和装置，连续地向加工系统供应基片片盒，以及系统空闲时间被减少或被消除。”见第一栏，34-45行。Perlor等人提出“一种在加工操作台处储存多个片盒的方法和装置，确保为加工形成未加工的基片的几乎不间断的供应，以及确保加工设备不会闲置。多个片盒可以在一前端机架上被储存在加工操作台处，而一个片盒可以被移动到一对接台，在那里，基片被抽取和传递到加工设备。一自动系统被安装或设置在机架上，以在对接台间或在加工操作台间传递片盒。此装置不会增加加工操作台的占地面积，即所需的清洁室地板面积。在本专利技术的另一方案中，片盒可以在不同加工操作台间运送而不使用AGV。”见第一栏，53-67行。参照图1A，在运送后，每一承载器被安放在位于加工操作台2A前面的盒开启器/装载器5(也称作“装载口岸”或“盒开启器”)上。每一盒开启器/装载器5可打开承载器的盖，使得承载器内部的晶片可以由位于加工操作台2A机壳中的机器手进行抽取。机壳形成了其中可以处理晶片的一种近乎无尘粒的环境，如比如SEMATECH国际组织，位于2706 Montopolis Drive，Austin Texas 78741，“I300I制造指南版本5.0”(此指南在此全文引用作为背景参考材料)所要求的那样，见节2.7。取决于多部加工操作台2A-2M的处理量，也取决于制造期间使用加工操作台2A-2M的次序，可以在一部加工操作台前面设置一个、两个或甚至四个盒开启器/装载器，如图1A中所示。虽然在图1A中所示，每一盒开启器/装载器只能支承一个承载器，但一个盒开启器/装载器(也称作“装载和卸载台”)也可能支承两件承载器，如比如由授予Mages等人的美国专利5772386所示(在此全文引用作为背景参考材料)。
技术实现思路
在本专利技术的一些实施例中，一种储存器，具有分立于和不同于上述任何一项的其自身占地面积，本地设置在一加工操作台处，比如，在一集成电路模片的制造系统中。此储存器(也称作“缓冲装置”)位于一盒开启器/装载器附近，后者本身又靠近加工操作台。此缓冲装置可向/从盒开启器/装载器一次传递一个盒，盒开启器/装载器再打开每个盒，而其中的晶片可以被传递给加工操作台或从加工操作台传递出去。在这些实施例中，缓冲装置直接向/从盒开启器/装载器传递盒，而在盒开启器/装载器与缓冲装置间不需任何媒介(诸如某一人、OHV、AGV、RGV或PGV)。取决于实施例，缓冲装置可以向/从这样一种媒介传递盒(另外或代替向/从盒开启器/装载器传递盒)。这种独立缓冲装置的一实施例包括两类机构，分别沿垂直方向和沿水平方向向/从装置内的一存储的位置(也称为存储位置)移动盒(也称作“承载器”)。具体地说，一部机构(下文中的“垂直移动机构”)，本身能够沿垂直方向移动，固接于一脚座，而另有多部机构(下文中的“水平移动机构”)，每个都能够沿水平方向移动，装接于垂直移动机构。虽然在刚才说明的实施例中，单独一部机构在承载器的任何垂直移动期间谐调一致地移动所有的水平移动机构，但在另外一些实施例中，每一水平移动机构可以独立于另一水平移动机构的垂直移动而在垂直方向被移动。缓冲装置的几种实施例可在上述储存位置与位于由缓冲装置占据的空间以外的预定位置(称作“传递位置”)之间移动承载器。传递位置在水平方向上离开脚座一个称作“水平范围”的距离，而在垂直方向上离开脚座另一个称作“垂直范围”的距离。在储存作业期间，缓冲装置从传递位置移动一承载器经过水平距离，而后沿垂直方向移动此承载器进入储存位置。为取回先前储存的承载器而要反转这些动作。上述缓冲装置的一些实施例在上述传递位置(称作“上传递位置”)以外具有另一传递位置(称作“下传递位置”)。在一个这种实施例中，缓冲装置设计得可把一承载器从任一储存位置传递到任一传递位置。具体地说，缓冲装置可以把一承载器从最低的储存位置传递到上传递位置，也可以把一承载器从最高的储存位置传递到下传递位置。上述这类缓冲装置具有多个储存位置(彼此上下叠置)，在这些位置处可以储存相应数量的承载器。为了达到最低储存位置，缓冲装置的几个实施例可移动承载器经过一或多个中间储存位置。在这些实施例中，用于储存这样一部缓冲装置内的物体的空间也用于垂直运送物体。同一空间的双重利用可使一缓冲装置占据小的占地面积(对比于利用彼此不同的分别用于储存和运送的两个空间，会实际上加倍占地面积)。缓冲装置占地面积的较小尺寸可显著地节约成本，比如在那些清洁室的占地面积备受重视的制造系统中。在一实施例中，缓冲装置的占地面积域做得尽可能地小，比如与一个盒开启器/装载器一样小，虽然在其他一些实施例中可采用较大占地面积的盒装置。虽然是在制造系统的情况下说明，但这样一种缓冲装置也可针对非承载器的物体而用在非制造系统的环境中。附图说明图1A是现有技术的一种制造系统的三维透视图；图1B示出并排配置的现有技术的两套制造系统的视图；图2A-2C表明符合本专利技术的一种缓冲装置的示意图；图3A-3C表明带有一搁架的图2A-2C的缓冲装置的示意图；图4A-4C在搁架下提供一传递位置的图3A-3C的缓冲装置的示意图；图5A、5E、5F以三维透视图以及图5B、5C、5D和5G-5L以侧视图表明示于图4A-4C中的缓冲装置类型的一具体实施例；图6A、6B、6C和6D分别以一透视图、一顶视图、一侧视图和一前视图表明围封在一箱体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种装置（下文中的“缓冲装置”），包括：多个第一机构（下文中的“水平移动机构”），能够水平移动经过第一距离；第二机构（下文中的“垂直移动机构”），能够垂直移动第二距离，多个水平移动机构中的每一个安装在该垂直移动机构上；以及　 　机架，包括脚座，其上该垂直移动机构被固定支承，该机架还包括由一支座固定地装接于脚座的搁架，其中该搁架在水平方向上与该脚座隔开大约第一距离、并且该搁架在垂直方向上与该脚座隔开大约第二距离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹姆斯G萨基特，戴维E韦尔登，亚历山大H安德森，
申请(专利权)人：弗蒂卡尔索鲁申斯公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]