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晶片加工操作台的本地储存器制造技术
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文档序号:1275805
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一种缓冲装置(20),包括:容纳多个水平移动机构、以储存承载器(27A、27B)和向/从装载口岸(29)传递承载器的一垂直移动机构;以及靠近缓冲装置的一或多个缓冲装载口岸,以借助于导引运送器、高架运送器或人工装载和卸载缓冲装置。一种缓冲系统...
该专利属于弗蒂卡尔索鲁申斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过弗蒂卡尔索鲁申斯公司授权不得商用。
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