一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置制造方法及图纸

一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于：包括两根冷却单元（1），每个冷却单元（1）包括一拉制工艺制作的铝型材主体（11），该铝型材主体（11）内设有第一冷却水通道（111）和第二冷却水通道（112），铝型材主体（11）的上表面作为受热面（3）；在铝型材主体（11）的一端封设有一第一端板（12），该第一端板（12）内设通道将所述第一冷却水通道（111）和第二冷却水通道（112）连通。本实用新型专利技术制作成本低、质轻，为检修、安装、搬运等提供了方便，进而提高了生产效率；并且，因铝型材主体是一次成型，可以有效保证表面的平整性，从而保证该装置受热面与其他零部件完全贴合，最大程度地起到冷却效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线，具体涉及一种连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线的真空腔室内底壁上安装的冷却装置。
技术介绍
连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线，工作时真空腔室内阴极等离子放电会产生大量的热幅射，为了保证温度不过高，真空腔室内都要安装冷却装置。现有技术中，真空腔室的内底壁上安装的冷却装置是一种由铜管连接构成冷却装置。该现有冷却装置存在以下不足:1、铜管冷却装置加工成本高；2、铜管冷却装置质量较大；3、铜管冷却装置的表面平整度不易保证。
技术实现思路
本技术目的是提供一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，以解决现有技术存在的加工成本、质量以及表面平整度的问题。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是:一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，包括两根平行布置的冷却单元，每个冷却单元包括一拉制工艺制作的铝型材主体，该铝型材主体内设有相互平行的沿铝型材主体的长度方向的第一冷却水通道和第二冷却水通道，铝型材主体的上表面作为受热面；在所述铝型材主体的一端封设有一第一端板，该第一端板内设通道将所述第一冷却水通道和第二冷却水通道连通。上述方案中，所述铝型材主体的受热面向宽本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于：包括两根平行布置的冷却单元（1），每个冷却单元（1）包括一拉制工艺制作的铝型材主体（11），该铝型材主体（11）内设有相互平行的沿铝型材主体（11）的长度方向的第一冷却水通道（111）和第二冷却水通道（112），铝型材主体（11）的上表面作为受热面（3）；在所述铝型材主体（11）的一端封设有一第一端板（12），该第一端板（12）内设通道将所述第一冷却水通道（111）和第二冷却水通道（112）连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭庆，李险峰，臧晓良，黄琨，凌晨，
申请(专利权)人：中建材光电装备太仓有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32