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一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置,其特征在于:包括两根冷却单元(1),每个冷却单元(1)包括一拉制工艺制作的铝型材主体(11),该铝型材主体(11)内设有第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112),铝型材主体(11)的上表面作为...该专利属于中建材光电装备(太仓)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中建材光电装备(太仓)有限公司授权不得商用。
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一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置,其特征在于:包括两根冷却单元(1),每个冷却单元(1)包括一拉制工艺制作的铝型材主体(11),该铝型材主体(11)内设有第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112),铝型材主体(11)的上表面作为...