晶片级换能器涂覆和方法技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开总体涉及血管内超声（IVUS)成像，并且具体涉及到要在IVUS导管中用于 IVUS成像的多个超声换能器的保护层的晶片水平的涂层。
技术介绍
血管内超声（IVUS)成像被广泛使用在介入性心脏病学中作为用于评估人体内的 血管（例如动脉）的诊断工具，以确定治疗的需要、引导介入、和/或评估其有效性。IVUS 成像系统使用超声回波来形成感兴趣的血管的横截面图像。典型地，IVUS成像使用IVUS导 管上的换能器，所述换能器既发射超声信号（波）又接收反射的超声信号。所发射的超声 信号（常常被称为超声脉冲）容易地经过大多数组织和血液，但是所发射的超声信号在由 组织结构（例如血管壁的各个层）、血红细胞和其他感兴趣的特征引起的阻抗不连续处被 部分地反射。借助于患者接口模块而被连接到IVUS导管的IVUS成像系统处理接收到的超 声信号（常常被称为超声回波）以产生IVUS导管被定位在其中的血管的横截面图像。 用于IVUS成像的一个优选类型的超声换能器是压电微机械超声换能器（PMUT)， 所述压电微机械超声换能器是微机电系统（MEMS)设备，典型地在硅晶片基底上大被批量...
【技术保护点】
一种微型超声换能器，包括：基底，其具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧；井，其被设置在所述基底中，所述井被填充有背衬材料；换能器膜，其被设置在所述基底的所述第一侧上并在所述井上，所述换能器膜含有压电层；以及保护层，其被共形地设置在所述换能器膜上，但不在所述基底的所述第二侧上。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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