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一种制造微型超声换能器的方法包括接收晶片，在所述晶片上形成多个微型超声换能器。微型超声换能器的每个包括：换能器膜，其含有压电材料；以及第一接合盘和第二接合盘，每个被电耦合到换能器膜。从晶片的前侧在多个微型超声换能器上共形地沉积保护层。执行第...
该专利属于火山公司所有，仅供学习研究参考，未经过火山公司授权不得商用。

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