分选装置、器件保持器及测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种分选装置、器件保持器及测试装置，其中的分选装置是将被测器件运送到测试用插座的分选装置，其中包括：执行器，在将保持被测器件的器件保持器嵌合于测试用插座之前嵌合于器件保持器，调整器件保持器上的被测器件的位置；以及运送部，运送被测器件的位置被调整了的器件保持器与测试用插座相嵌合；器件保持器具有：内部单元，搭载被测器件；外部单元，可移动地保持内部单元；解除按键，随着从搭载被测器件的一侧被按压时，解除内部单元的移动的锁定；执行器按压解除按键使内部单元可移动，调整内部单元的位置。使被测器件与测试用插座准确电连接。

【技术实现步骤摘要】
分选装置、器件保持器及测试装置
本专利技术涉及分选装置、器件保持器及测试装置。
技术介绍
以前，与测试被测器件的测试装置相连接的分选装置将保持被测器件的器件保持器嵌合于测试装置的插座上，从而将被测器件与该测试装置电连接(例如参照专利文献1～5)。专利文献1特开2000-147055号公报专利文献2特开2000-46902号公报专利文献3特开2009-2860号公报专利文献4特开2011-39059号公报专利文献5特开2011-40758号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题:然而，如果被测器件的电极与测试用插座的电极的相对位置错开，即使将器件保持器嵌合于测试用插座，也有可能有被测器件无法与测试用插座电连接的情况发生。解决问题的方案:本专利技术第一方式中提供一种分选装置，是将被测器件运送到测试用插座的分选装置，其中包括：执行器，在将保持被测器件的器件保持器嵌合于测试用插座之前嵌合于器件保持器，调整器件保持器上的被测器件的位置；以及运送部，运送被测器件的位置被调整了的器件保持器与测试用插座相嵌合；器件保持器具有：内部单元，搭载被测器件；外部单元，可移动地保持内部单元；解除按键，在搭载被测器件的一侧被按压时，解除内部单元的移动的锁定；执行器按压解除按键使内部单元可移动，调整内部单元的位置。在本专利技术第二方式中提供一种分选装置，在第一方式的分选装置中搭载实测器件，由运送部运送并嵌合于测试用插座上。在本专利技术第三方式中提供一种具备将被测器件运送到测试用插座的第一方式的分选装置，对被测器件进行测试的测试装置，其中进一步包括：测试头，通过测试用插座与被测器件电连接；以及测试模块，通过测试头测试被测器件。另外，上述
技术实现思路
并未列举出本专利技术的全部可能特征，所述特征组的子组合也有可能构成专利技术。附图说明图1将本实施形态所述分选装置100的结构例与测试头110、测试模块130、器件托盘10、及调整用托盘20共同显示。图2表示本实施形态所述分选装置100将被测器件12运送到测试用插座122的结构例。图3将本实施形态所述执行器单元320与器件托盘10共同显示。图4将本实施形态所述执行器单元320与调整用托盘20共同显示。图5将图4所示执行器单元320及调整用托盘20的X方向截面图与控制部340共同显示。图6表示图4所示执行器单元320及调整用托盘20的Y方向截面图。图7表示本实施形态所述分选装置100的动作流程。图8表示本实施形态所述插座嵌合单元420嵌合于测试用插座122的第一结构例。图9表示本实施形态所述测试用插座摄像部310对嵌合的测试用插座122及插座嵌合单元420进行拍摄的结构例。图10表示本实施形态所述插座嵌合单元420嵌合于测试用插座122的第二结构例。图11表示本实施形态所述插座嵌合单元420嵌合于测试用插座122的第三结构例。图12表示本实施形态所述插座嵌合单元420嵌合于调整用插座430的结构例。图13表示本实施形态所述调整用插座摄像部322对嵌合的调整用插座430及插座嵌合单元420进行拍摄的结构例。图14表示本实施形态所述调整用插座430嵌合于执行器嵌合单元410的结构例。图15表示本实施形态所述调整用插座摄像部322对嵌合的调整用插座430及执行器嵌合单元410进行拍摄的结构例。图16表示本实施形态所述执行器嵌合单元410嵌合于执行器330的结构例。图17表示本实施形态所述执行器摄像部326对嵌合的执行器嵌合单元410及执行器330进行拍摄的结构例。图18表示本实施形态所述调整用插座摄像部322对嵌合的调整用插座430及器件保持器30进行拍摄的结构例。图19表示本实施形态所述执行器330嵌合于器件保持器30的结构例。图20表示具有本实施形态所述执行器330及锁定机构的器件保持器30的第一例。图21表示图20所示执行器330及器件保持器30相嵌合的过程的结构一例。图22表示图20所示执行器330及器件保持器30相嵌合的结构例。图23表示具有本实施形态所述锁定机构的器件保持器30的第二例。图24表示去除图23所示器件保持器30的外部单元34的结构例。具体实施方式以下通过专利技术实施方式对本专利技术进行说明，但以下实施方式并非对权利要求书所涉及的专利技术进行限定。并且，实施方式中说明的特征组合也并非全部为本专利技术的必要特征。图1将本实施形态所述分选装置100的结构例与测试头110、测试模块130、器件托盘10、及调整用托盘20共同显示。此处，测试头110及测试模块130为测试被测器件12的测试装置的一部。分选装置100与测试头110连接。分选装置100将多个被测器件12运送到测试头110上设置的测试用插座122并进行电连接。测试头110具有插座板120。插座板120具有多个测试用插座122。测试头110通过该多个测试用插座122与多个被测器件12的每一个电连接。测试头110将多个测试用插座122上连接的多个被测器件12与测试模块130电连接。测试模块130通过测试头110测试被测器件12。测试模块130将基于用于测试多个被测器件12的测试图案的测试信号输入到多个被测器件12的每一个中。测试模块130对应于测试信号基于各个被测器件12输出的输出信号判断多个被测器件12的好坏。测试装置测试模拟电路、数字电路、模拟/数字混载电路、存储器、及片上系统(SOC)等多个被测器件12。多个被测器件12中的每一个可以具有BGA(BallGridArray)或LGA(LndGridArray)等电极。可选地，被测器件12可以具有SOJ(SmallOutlineJ-leaded)、PLCC(PlasticLeadedChipCarrier)、QFP(QuadFlatPackage)、或SOP(SmallOutlinePackage)等端子。插座板120具有能够与待测试的被测器件12所具有的电极或端子等电连接的测试用插座122。分选装置100将器件托盘10及调整用托盘20分别送入到内部。分选装置100一边对送入的器件托盘10上搭载的被测器件12的位置进行调整一边进行运送，从而将该被测器件12连接到相应的测试用插座122。另外，分选装置100在测试装置对运送的被测器件12进行了测试之后，将该被测器件12送出到分选装置100的外部。此处，器件托盘10承载保持被测器件12的器件保持器30。一个器件保持器30作为一例与一个被测器件12对应设置，在器件托盘10上承载多个。分选装置100通过各个器件保持器30将该被测器件12运送到测试用插座122。作为一例，器件托盘10及器件保持器30由即便置于测试装置执行高温或低温测试的温度条件下也不会因为开裂、剥落、或变形等产生对被测器件12的压力的材质形成。另外，调整用托盘20容纳有用于被测器件12的位置调整的插座嵌合单元420等。关于器件托盘10及调整用托盘20将在以后进行说明。分选装置100包括：施热部210、测试部220、除热部230、运送部240、测试用插座摄像部310、执行器单元320、控制部340。施热部210具有送入装载机。该送入装载机将承载有器件保持器30的器件托盘10装载于施热部210内。施热部210在测试部220开始进行测试之前将被测器件12的温度控制到预定测试温度。另外，分选装置100在施热部21本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分选装置，是将被测器件运送到测试用插座的分选装置，其中包括：执行器，在将保持所述被测器件的器件保持器嵌合于所述测试用插座之前嵌合于所述器件保持器，调整所述器件保持器上的所述被测器件的位置；以及运送部，运送所述被测器件的位置被调整了的所述器件保持器与所述测试用插座相嵌合；所述器件保持器具有：内部单元，搭载所述被测器件；外部单元，可移动地保持所述内部单元；解除按键，随着从搭载所述被测器件的一侧被按压时，解除所述内部单元的移动的锁定；所述执行器按压所述解除按键使所述内部单元可移动，调整所述内部单元的位置。

【技术特征摘要】
2014.03.25 KR 10-2014-00344081.一种分选装置，是将被测器件运送到测试用插座的分选装置，其中包括：执行器，在将保持所述被测器件的器件保持器嵌合于所述测试用插座之前嵌合于所述器件保持器，调整所述器件保持器上的所述被测器件的位置；以及运送部，运送所述被测器件的位置被调整了的所述器件保持器与所述测试用插座相嵌合；所述器件保持器具有：内部单元，搭载所述被测器件；外部单元，可移动地保持所述内部单元；解除按键，随着从搭载所述被测器件的一侧被按压时，解除所述内部单元的移动的锁定；所述执行器按压所述解除按键使所述内部单元可移动，调整所述内部单元的位置；所述器件保持器具有杆部；所述杆部包括：所述解除按键；插入闩，把持所述外部单元的一部分，随着对所述解除按键的按压而释放所述外部单元的一部分；以及杠杆，当按压所述解除按键时将压力传递到所述插入闩。2.根据权利要求1所述的分选装置，其中，所述执行器包括：外部捕捉部，把持所述外部单元；内部捕捉部，把持所述内部单元，在把持所述内部单元的状态下解除所述内部单元上设定的锁定，使所述内部单元相对于所述外部单...

【专利技术属性】
技术研发人员：相泽光范，山田祐也，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP