检查装置、检查方法及检查程序、以及学习装置、学习方法及学习程序制造方法及图纸

提供一种检查装置，其具备：对象影像取得部，其取得对检查对象进行拍摄而得的对象影像；对象影像遮蔽部，其遮蔽对象影像的一部分；遮蔽区域预测部，其针对对象影像中的被遮蔽的遮蔽区域的影像加以预测；再现影像产生部，其使用针对复数个遮蔽区域的各者所预测出的复数个预测影像，来产生再现影像；及，差异检测部，其检测对象影像和再现影像的差异。其检测对象影像和再现影像的差异。其检测对象影像和再现影像的差异。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查装置、检查方法及检查程序、以及学习装置、学习方法及学习程序


[0001]本专利技术关于检查装置、检查方法及检查程序、以及学习装置、学习方法及学习程序。

技术介绍

[0002]先前为了判定检查对象的好坏而进行外观检查。例如在适用于半导体试验的探针的外观检查中，将拍摄探针而得的影像加以数值化，并遵照预先决定的规则来对已数值化的数据进行评价，由此判定探针的好坏。专利技术所要解决的问题
[0003]然而，要对检查对象进行检查时，希望能够轻易地掌握检查对象的状态。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本专利技术的第1方面提供一种检查装置。检查装置可具备对象影像取得部，其取得对检查对象进行拍摄而得的对象影像。检查装置可具备对象影像遮蔽部，其遮蔽对象影像的一部分。检查装置可具备遮蔽区域预测部，其预测对象影像中的被遮蔽的遮蔽区域的影像。检查装置可具备再现影像产生部，其使用针对复数个遮蔽区域的各者所预测出的复数个预测影像，来产生再现影像。检查装置可具备差异检测部，其检测对象影像和再现影像的差异。
[0005]差异检测部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检查装置，其具备：对象影像取得部，其取得对检查对象进行拍摄而得的对象影像；对象影像遮蔽部，其遮蔽所述对象影像的一部分；遮蔽区域预测部，其针对所述对象影像中的被遮蔽的遮蔽区域的影像加以预测；再现影像产生部，其使用针对复数个遮蔽区域的各者所预测出的复数个预测影像，来产生再现影像；及，差异检测部，其检测所述对象影像和所述再现影像的差异。2.如权利要求1所述的检查装置，其中，所述差异检测部对每个预先决定的区域比较所述对象影像和所述再现影像，并算出所述每个预先决定的区域的所述差异的程度。3.如权利要求2所述的检查装置，其中，还具备：判定部，当所述差异的程度未满足预先决定的质量时，判定所述检查对象为不良品。4.如权利要求3所述的检查装置，其中，所述判定部在当所述每个预先决定的区域的所述差异的程度之中，最大的所述差异的程度超过预先决定的阈值时，判定所述检查对象为不良品。5.如权利要求3或4所述的检查装置，其中，所述判定部在当已判定所述检查对象为不良品时，利用对被判定为不良品的所述检查对象拍摄而得的所述对象影像，预测所述检查对象的电特性，并且当所述电特性未满足预先决定的质量时，确定所述检查对象为不良品。6.如权利要求3至5中任一项所述的检查装置，其中，所述判定部在当已判定所述检查对象为不良品时，利用对被判定为不良品的所述检查对象拍摄而得的所述对象影像，预测所述检查对象的电特性，并且当所述电特性满足预先决定的质量时，确定所述检查对象为良品。7.如权利要求2至6中任一项所述的检查装置，其中，所述差异检测部输出检测地图，所述检测地图对应所述差异的程度而使所述每个预先决定的区域的显示态样有所不同。8.如权利要求2至7中任一项所述的检查装置，其中，所述差异检测部基于所述对象影像与所述再现影像的欧几里德距离来算出所述差异的程度。9.如权利要求1至8中任一项所述的检查装置，其中，所述对象影像遮蔽部依序遮蔽将所述对象影像分割而得的复数个单元格之中的1个单元格；所述再现影像产生部使用针对不同单元格的各者所预测出的复数个预测影像来产生所述再现影像。10.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：池田皓甫，伊拉，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：