柔性衬底基板和显示基板及其制作方法、显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示技术领域，公开了一种柔性衬底基板和显示基板及其制作方法、显示装置。所述柔性衬底基板的表面设置有凹槽，并在所述柔性衬底基板具有凹槽的表面设置水氧阻挡薄膜，且所述水氧阻挡薄膜的厚度小于所述凹槽的槽深。从而在所述水氧阻挡薄膜上形成显示元件时，位于凹槽中的水氧阻挡薄膜能够阻挡水汽、氧气从衬底基板的背面和侧面穿透进入显示膜层，影响显示元件的性能，提高了产品的稳定性，保证了显示装置的品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种柔性衬底基板和显示基板及其制作方法、显示装置。
技术介绍
传统的显示都是平板显示，不可以随意弯曲。未来显示的趋势是希望在柔性体上实现大量信息的展示，即柔性显示。柔性显示屏和柔性显示模组在基板包装、生产、存储、使用、操作、工序衔接、搬运、运输等任何一个步骤都可以实现机械弯曲。实现柔性显示的关键技术可以分为几个方面:显示技术、基板技术、阵列技术和封装技术。目前可以实现柔性显示的基板主要有超薄玻璃基板、金属箔片基板、塑料基板这三种方式。其中，塑料(一般选择PEN、PET、P1、PC等)基板柔韧性更好、质量更轻、更耐冲击，适于制作轻薄化器件，成为柔性显示技术的发展趋势。但是，塑料为有机材料，水汽、氧气很容易穿透塑料进而影响柔性显示面板的品质，尤其是OLED、TFT的性能。就算从背面外贴阻隔层，水汽/氧气也是会从侧边进入影响广品的品质。
技术实现思路
本专利技术提供一种柔性衬底基板和显示基板及其制作方法，用以解决有机材料的柔性衬底基板不能阻隔水汽、氧气，影响产品的品质的问题。本专利技术还通过一种显示装置，包括上述的显示基板，能够保证产品的品质。为解决上述技术问题，本专利技术实施例中提供一种柔性衬底基板，所述柔性衬底基板的表面具有凹槽，所述柔性衬底基板具有凹槽的表面设置有水氧阻挡薄膜，所述水氧阻挡薄膜的厚度小于所述凹槽的槽深。如上所述的柔性衬底基板，优选的是，所述凹槽内填充有第一有机材料薄膜，使得柔性衬底基板的表面平坦，且所述第一有机材料薄膜设置在所述水氧阻挡薄膜上。如上所述的柔性衬底基板，优选的是，所述柔性衬底基板和第一有机材料薄膜的材料为塑料或树脂。本专利技术实施例中还提供一种如上所述的柔性衬底基板的制作方法，其特征在于，包括:在所述柔性衬底基板的表面形成凹槽；在所述柔性衬底基板具有凹槽的表面形成水氧阻挡膜，所述水氧阻挡薄膜的厚度小于所述凹槽的槽深。如上所述的制作方法，优选的是，所述制作方法还包括:在所述水氧阻挡薄膜上形成第一有机材料薄膜，所述第一有机材料薄膜填充在所述凹槽内，使得柔性衬底基板的表面平坦。如上所述的制作方法，优选的是，所述柔性衬底基板通过以下步骤形成:提供一无机基板；在所述无机基板的表面形成第二有机材料薄膜；在所述第二有机材料薄膜的表面形成所述凹槽。本专利技术实施例中还提供一种显示基板，包括柔性衬底基板和设置在所述柔性衬底基板上的显示膜层，所述柔性衬底基板的表面具有凹槽，所述柔性衬底基板具有凹槽的表面设置有水氧阻挡薄膜，所述水氧阻挡薄膜的厚度小于所述凹槽的槽深；所述显示膜层设置在所述水氧阻挡薄膜上，且所述显示膜层的至少一部分位于所述凹槽所在的区域。如上所述的显示基板，优选的是，所述凹槽内填充有第一有机材料薄膜，使得柔性衬底基板的表面平坦，且所述第一有机材料薄膜设置在所述水氧阻挡薄膜上；所述显示膜层具体设置在所述第一有机材料薄膜上。如上所述的显示基板，优选的是，整个所述显示膜层位于所述凹槽所在的区域。如上所述的显示基板，优选的是，所述显示膜层包括有机发光二极管的有机发光层，或薄膜晶体管的有源层，所述有源层为硅半导体材料。本专利技术实施例中还提供一种如上所述的显示基板的制作方法，包括:形成柔性衬底基板；在所述柔性衬底基板上形成显示膜层，所述制作方法还包括:在所述柔性衬底基板的表面形成凹槽；在所述柔性衬底基板具有凹槽的表面形成水氧阻挡薄膜，所述水氧阻挡薄膜的厚度小于所述凹槽的槽深；在所述水氧阻挡薄膜上形成所述显示膜层，且所述显示膜层的至少一部分位于所述凹槽所在的区域。如上所述的制作方法，优选的是，所述制作方法还包括:在所述水氧阻挡薄膜上形成第一有机材料薄膜，所述第一有机材料薄膜填充在所述凹槽内，使得柔性衬底基板的表面平坦；具体在所述第一有机材料薄膜上形成所述显示膜层。如上所述的制作方法，优选的是，形成柔性衬底基板的步骤包括:提供一无机基板；在所述无机基板表面形成第二有机材料薄膜；在所述第二有机材料薄膜的表面形成凹槽；在形成所述显示膜层之后，所述制作方法还包括:剥离所述无机基板。本专利技术实施例中还提供一种显示装置，优选的是，包括如上所述的显示基板。本专利技术的上述技术方案的有益效果如下:上述技术方案中，通过在柔性衬底基板的表面设置凹槽，并在所述柔性衬底基板具有凹槽的表面设置水氧阻挡薄膜，且所述水氧阻挡薄膜的厚度小于所述凹槽的槽深。从而在所述水氧阻挡薄膜上形成显示元件时，位于凹槽中的水氧阻挡薄膜能够阻挡水汽、氧气从衬底基板的背面和侧面穿透进入显示膜层，影响显示元件的性能，提高了产品的稳定性，保证了显示装置的品质。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1-图2表示本专利技术实施例一中柔性衬底基板的制作过程示意图；图3-图5表示本专利技术实施例一中显示基板的制作过程示意图；图6表示本专利技术实施例二中柔性衬底基板的结构示意图；图7-图9表示本专利技术实施例二中显示基板的制作过程示意图。【具体实施方式】本专利技术提供一种柔性衬底基板及其制作方法，尤其是有机材料(如塑料、树脂)的柔性衬底基板，用以解决水汽、氧气能够穿透有机材料的柔性衬底基板，影响设置在其上的显示元件的性能的问题，特别是有机发光二极管、薄膜晶体管等有机显示元件。所述柔性衬底基板的表面具有凹槽，所述柔性衬底基板具有凹槽的表面设置有水氧阻挡薄膜，所述水氧阻挡薄膜的厚度小于所述凹槽的槽深。从而在所述水氧阻挡薄膜上形成显示元件时，位于凹槽中的水氧阻挡薄膜能够阻挡水汽、氧气从衬底基板的背面和侧面穿透进入显示元件，影响显示元件的性能，保证了显示装置的品质。相应地，所述柔性衬底基板的制作方法包括:在所述柔性衬底基板的表面形成凹槽；在所述柔性衬底基板具有凹槽的表面形成水氧阻挡膜，所述水氧阻挡薄膜的厚度小于所述凹槽的槽深。其中，所述水氧阻挡薄膜可以为无机材料，因为无机材料具有阻隔水汽和氧气的特性。下面将结合附图和实施例，对本专利技术的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。结合图2所示，本专利技术实施例中提供一种柔性衬底基板I，柔性衬底基板I的表面具有凹槽2，柔性衬底基板I具有凹槽2的表面设置有水氧阻挡薄膜3，水氧阻挡薄膜3的厚度小于凹槽2的槽深，从而水氧阻挡薄膜3能够阻挡水汽和氧气从凹槽2的槽底和槽避穿透至凹槽2内，当在水氧阻挡薄膜3上形成有机元件时，能够保护位于凹槽2中的有机元件不会受到水汽和氧气的影响，保证元件的品质。由于无机材料具有阻挡水汽和氧气的特性，水氧阻挡薄膜3的材料具体可以为无机材料。相应地，结合图1和图2所示，本专利技术实施例中还提供一种柔性衬底基板的制作方法，包括:在柔性衬底基板I的表面形成凹槽2 ；在柔性衬底基板I具有凹槽2的表面形成水氧阻挡膜3，水氧阻挡薄膜3的厚度小于凹槽2的槽深。本专利技术的技术方案能够阻挡水汽和氧气从衬底基板的背面和侧面穿透进入设置在其上的有机兀件，保证兀件的品质，提尚广品的稳定性。优选地，凹槽2内还填充有第一有机材料薄膜5，且第一有机材料薄膜5设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性衬底基板，其特征在于，所述柔性衬底基板的表面具有凹槽，所述柔性衬底基板具有凹槽的表面设置有水氧阻挡薄膜，所述水氧阻挡薄膜的厚度小于所述凹槽的槽深。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谢明哲，谢春燕，刘陆，王和金，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11