油扩散泵以及真空成膜装置制造方法及图纸

提供一种油扩散泵，其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去，并对吸入的气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具有：容器(71、72)，其在立起设置方向上延伸，且使由被加热材料构成的筒部件(71)的下端封闭，用于在内部贮油；感应线圈(75)，其隔着绝缘材料(73)缠绕于筒部件(71)(尤其是外壳内壁71b)的大气侧周围；以及供电单元，其对感应线圈(75)施加数10Hz至数100Hz的低频交流电。而且，构成为，通过使供电单元工作并对线圈(75)施加低频交流电，由此使筒部件(71)自身加热，使容器内的油气化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及作为真空泵的油扩散泵和组装有该泵的真空成膜装置，该油扩散泵与构成蒸镀装置或溅镀装置等各种真空成膜装置的真空腔室连接，特别适用于对该腔内抽真空的用途。
技术介绍
在蒸镀装置或溅镀装置等各种真空成膜装置中，作为在对构成该装置的真空腔室的内部抽真空的排气装置中使用的真空泵，使用油扩散泵。在以往的油扩散泵中，已知下述这样的油扩散泵:使用具有加热线的电热器作为收容于锅炉内的工作油的加热源(专利文献I)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2007-23778号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在使用加热线作为工作油的加热源的情况下，具有能够以低成本形成装置的优点，但会包含引起以下各种问题的因素:例如，由于加热线的断线而使加热功能消失、由于加热线的绝缘不良而产生漏电、由于高温而发生端子座的接触不良等。此外，在使用加热线的情况下，会产生接近赤热水平的高温，因而必须谨慎选择其安装场所，从而还存在设置场所选择的自由度受限的问题。进而，在能量效率方面，作为工作油加热源的加热线的热传导损失较多。其结果是，例如还存在以下的冋题。(I)浪费电力；(2)加热的上升速度慢(起动时本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种油扩散泵，在配置于壳体内的喷射器内配置有油蒸气产生器，通过使该油蒸气产生器工作，由此使工作油气化而生成油蒸气，将该油蒸气从喷射器喷射出去而对吸入气体进行排气动作，其特征在于，所述油蒸气产生器具有：容器，其在立起设置方向上延伸，使由被加热材料构成的筒部件的下端封闭，用于在其内部贮油；感应线圈，其隔着绝缘材料缠绕于筒部件的周围；以及供电单元，其对感应线圈施加数十Hz至数百Hz的低频交流电，所述油蒸气产生器构成为，通过使所述供电单元工作，由此使所述筒部件自身加热，从而使所述容器内的油气化。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：税所慎一郎，
申请(专利权)人：株式会社新柯隆，
类型：发明
国别省市：日本;JP