本实用新型专利技术涉及制冷设备领域，尤其是用于油扩散泵的低温冷阱，其特征在于：包括底座、冷凝片和进、出水管，所述冷凝片的内部设置有冷媒流道，所述冷媒流道的一端与所述进水管连通，另一端与所述出水管连通，所述冷凝片通过所述进、出水管固定支撑在所述底座上。本实用新型专利技术的优点是：大大提升挡板的冷却效果，从而提升油蒸汽分子的阻挡冷凝效果，减小扩散泵的返油率。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及制冷设备领域，尤其是用于油扩散泵的低温冷阱。
技术介绍
油扩散泵的抽速大，造价低，性价比很高，因此很多真空设备会选用油扩散泵作为真空系统的主泵。但是，在工作过程中油扩散泵的油蒸汽分子会逆扩散至真空腔体，污染真空腔体和产品。为了解决上述扩散泵油蒸汽分子逆扩散(返油)的问题，通常的做法是在扩散泵的顶部(该部位在扩散泵抽气口和真空腔体之间)增加低温冷阱，逆扩散的油蒸汽分子碰到低温的阻挡板后发生冷凝，再回流到扩散泵。这种结构是靠铜管冷却挡板，再靠挡板阻挡冷却油蒸汽分子；这种结构设计有很大的缺陷，铜管和挡板是靠焊接固定在一起，它们的接触方式是线接触，接触面积(热交换面积)很小，造成挡板上温度不均匀，低温冷却油蒸汽分子的效果很差；铜管虽然很冷，但是表面积很小，和油蒸汽分子接触的几率很低，阻挡并冷凝油蒸汽分子的效果很差。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了用于油扩散泵的低温冷阱，通过将冷媒流道设置在冷凝片内部，使冷媒直接在冷凝片内部流动，提高冷凝片的热交换效果，从而提高对油蒸汽分子的阻挡、冷凝效果。本技术目的实现由以下技术方案完成:一种用于油扩散泵的低温冷阱，其特征在于:包括底座、冷凝片和进、出水管，所述冷凝片的内部设置有冷媒流道，所述冷媒流道的一端与所述进水管连通，另一端与所述出水管连通，所述冷凝片通过所述进、出水管固定支撑在所述底座上。所述冷凝片与所述底座表面之间呈10° -80°的夹角布置。所述底座上固定支撑有若干所述冷凝片，若干所述冷凝片内的所述冷媒流道分别连通有所述进、出水管；若干所述进水管分别与一进水汇集管连通，所述进水汇集管上开设有进水口，若干所述出水管分别与一出水汇集管连通，所述出水汇集管上开设有出水口。所述进水汇集管和所述出水汇集管分别与所述底座固定连接。所述冷凝片内部中空，其两端分别于所述进水管和所述出水管连通，所述冷凝片内的中空腔体为所述冷媒流道。本技术的优点是:大大提升挡板的冷却效果，从而提升油蒸汽分子的阻挡冷凝效果，减小扩散泵的返油率。【附图说明】图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的截面示意图。【具体实施方式】以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解:如图1-2所示，图中标记1-7分别表示为:底座1、进水口 2、出水口 3、进水汇集管4、出水汇集管5、冷凝片6、冷却水管道7。实施例:如图1和图2所示，本实施例中用于油扩散泵的低温冷阱包括底座1，底座I上设置有若干冷凝片6，冷凝片6用于阻挡并冷凝油蒸汽分子。每个冷凝片6都内部中空，两端分别连接有冷却水管道7，冷却水管道7与冷凝片6的中空内部构成连通。位于冷凝片6 —侧的冷却水管道7分别与进水汇集管4连通，而位于冷凝片6另一侧的冷却水管道7分别与出水汇集管5连通。进水汇集管4固定连接在底座I上，且其一侧开设有进水口 2 ;出水汇集管5也固定在底座I上，其一侧开设有出水口 3。冷凝片6通过其两端的冷却水管道7固定支撑在底座I上。冷凝片6与底座I表面之间呈10° -80°的夹角布置，以使冷凝片6彼此之间保持一定的间距，使得油蒸汽分子与冷凝片6碰撞的几率增大而流导不会减小很多，不影响油扩散泵的抽气速率。本实施例在具体实施时:底座I上、下两个表面分别通过法兰与油扩散泵和真空腔体相连。优先使用的材料是不锈钢304(SUS304)、不锈钢316等金属材料，耐腐蚀且易加工。进水口 2提供冷却水或冷媒的流入口，该管道穿过底座I的部位需做好真空密封和隔热处理；优先使用的材料是钛合金、无氧铜、不锈钢等金属材料。出水口 3提供冷却水或冷媒的流出口，该管道穿过底座I的部位需做好真空密封和隔热处理；优先使用的材料是钛合金、无氧铜、不锈钢等金属材料。进水汇集管4是把进水口 2流入的冷却水或冷媒分流给多个冷凝片6，从而使冷凝片6保持低温，从而阻挡并冷凝油蒸汽分子。进水汇集管4的内部是中空结构。进水汇集管4与底座I固定在一起，需做好隔热处理，防止冷却水的制冷量提前流失；优先使用的材料是钛合金、无氧铜、不锈钢等金属材料。出水汇集管5是把多个冷凝片6内的冷却水或冷媒汇集到一起，再通过出水口3流出冷阱。出水汇集管5的内部是中空结构，其与底座I固定在一起，需做好隔热处理，防止冷却水的制冷量提前流失；优先使用的材料是钛合金、无氧铜、不锈钢等金属材料。冷凝片6内部流通有冷却水或冷媒，带走油气分子冷凝在其外表面时产生的热量；这种设计可以充分利用冷却水或冷媒，并且冷凝片表面温度均匀，热交换速度快。冷凝片6优先使用的材料是钛合金、无氧铜、不锈钢等金属材料。冷却水管道7是把冷凝片6和进水汇集管4、出水汇集管5连接起来，形成冷却水或冷媒的流动通路。冷却水管道7优先使用的材料是钛合金、无氧铜、不锈钢等金属材料。虽然以上实施例已经参照附图对本技术目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本技术作出各种改进和变换，如:冷凝片6的形状、大小，进、出水汇集管的结构、冷却水管道7的设置位置等，故在此不一一赘述。【主权项】1.一种用于油扩散泵的低温冷阱，其特征在于:包括底座、冷凝片和进、出水管，所述冷凝片的内部设置有冷媒流道，所述冷媒流道的一端与所述进水管连通，另一端与所述出水管连通，所述冷凝片通过所述进、出水管固定支撑在所述底座上。2.根据权利要求1所述的一种用于油扩散泵的低温冷阱，其特征在于:所述冷凝片与所述底座表面之间呈10° -80°的夹角布置。3.根据权利要求1所述的一种用于油扩散泵的低温冷阱，其特征在于:所述底座上固定支撑有若干所述冷凝片，若干所述冷凝片内的所述冷媒流道分别连通有所述进、出水管；若干所述进水管分别与一进水汇集管连通，所述进水汇集管上开设有进水口，若干所述出水管分别与一出水汇集管连通，所述出水汇集管上开设有出水口。4.根据权利要求3所述的一种用于油扩散泵的低温冷阱，其特征在于:所述进水汇集管和所述出水汇集管分别与所述底座固定连接。5.根据权利要求1所述的一种用于油扩散泵的低温冷阱，其特征在于:所述冷凝片内部中空，其两端分别于所述进水管和所述出水管连通，所述冷凝片内的中空腔体为所述冷媒流道。【专利摘要】本技术涉及制冷设备领域，尤其是用于油扩散泵的低温冷阱，其特征在于：包括底座、冷凝片和进、出水管，所述冷凝片的内部设置有冷媒流道，所述冷媒流道的一端与所述进水管连通，另一端与所述出水管连通，所述冷凝片通过所述进、出水管固定支撑在所述底座上。本技术的优点是：大大提升挡板的冷却效果，从而提升油蒸汽分子的阻挡冷凝效果，减小扩散泵的返油率。【IPC分类】B01D8/00【公开号】CN204709851【申请号】CN201520358768【专利技术人】张辉 【申请人】光驰科技(上海)有限公司【公开日】2015年10月21日【申请日】2015年5月29日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于油扩散泵的低温冷阱，其特征在于：包括底座、冷凝片和进、出水管，所述冷凝片的内部设置有冷媒流道，所述冷媒流道的一端与所述进水管连通，另一端与所述出水管连通，所述冷凝片通过所述进、出水管固定支撑在所述底座上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张辉，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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