【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，尤其涉及一种旋转装置、真空镀膜设备及应用其的方法。
技术介绍
1、现有技术中，基板挂接在公转架的挂架后，基板位置固定，灵活性较差，难以满足生产需求。例如，将基板搬送并挂到公转架的挂架时，采用基板的一个面对着公转架穿过搬运口，挂入挂架后，基板的另一个面对着腔体内侧壁，从而使挂入的基板和成膜状态方向一致，可以直接进行镀膜，简单高效。基板面对着公转架穿过搬运口时，搬送口的开口面积大于基板的横截面积，但是，搬送口的开口面积越大，腔体内的设备越容易受到污染，另外，较大的搬送口的门阀机构占用掉很大的空间，增加了腔体内部温度对流消耗，以上最终影响了成膜质量和成膜效率。
2、因此，亟需一种旋转装置、真空镀膜设备及应用其的方法，以解决上述存在的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种旋转装置、真空镀膜设备及应用其的方法，提高基板在腔体内的灵活性，以满足生产需求。
2、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、第一方面，提供一种旋转装置，设于腔体，所述腔体内设有挂架组件，所述挂架组件用于承载基板，所述旋转装置包括旋转组件，所述旋转组件的输出端用于与所述挂架组件对接，并驱动所述挂架组件旋转，使所述挂架组件转动以处于第一状态或第二状态，所述基板挂载在挂架组件上且处于第二状态时，所述基板面可进行镀膜。
4、在一些可能的实施方式中，所述腔体内设有公转架，所述挂架组件转动连接于所述公转架，所述公转架能够驱动所述挂架组件绕第
5、在一些可能的实施方式中，所述腔体设有搬运口，
6、所述旋转组件设有两组，两组所述旋转组件位于所述搬运口沿所述公转架旋转方向的两侧；和/或
7、所述搬运口包括搬进口和搬出口。
8、在一些可能的实施方式中，所述旋转组件包括旋转驱动件和旋转头，所述旋转驱动件固定于所述腔体，所述旋转头连接于所述旋转驱动件的输出端，所述挂架组件与所述旋转头能够连接或分离。
9、在一些可能的实施方式中，所述挂架组件和所述公转架之间设有限位组件和升降组件，所述限位组件能够限制所述挂架组件转动，所述升降组件驱动所述挂架组件正向移动时，使所述限位组件处于非限位状态且使所述挂架组件与所述旋转组件对接，所述升降组件驱动所述挂架组件反向移动时，使所述挂架组件与所述旋转组件分离且使所述限位组件处于限位状态。
10、在一些可能的实施方式中，所述限位组件包括：
11、两组第一限位组件，所述第一限位组件包括插销和插孔，所述插销和所述插孔一个设于所述挂架组件上，另一个设于所述公转架上，所述挂架组件移动时，所述插销插接或分离于所述插孔，所述挂架组件处于第一状态时，第一组所述第一限位组件处于限位状态，第二组所述第一限位组件处于非限位状态；所述挂架组件处于第二状态时，第一组所述第一限位组件处于非限位状态，第二组所述第一限位组件处于限位状态；和/或
12、第二限位组件，所述第二限位组件包括十字台和十字槽，所述十字台和所述十字槽一个设于所述挂架组件上，另一个设于所述公转架上，所述挂架组件移动时，所述十字台插接或分离于所述十字槽。
13、在一些可能的实施方式中，所述升降组件与所述旋转组件相对应设置，所述升降组件包括升降驱动件和升降头，所述升降驱动件固定于所述腔体，所述升降头连接于所述升降驱动件的输出端，所述升降驱动件通过所述升降头驱动所述挂架组件移动。
14、在一些可能的实施方式中，所述挂架组件包括连接轴和连接于所述连接轴的框架，所述基板可拆卸连接于所述框架，所述公转架上设有轴承组，所述连接轴贯穿于所述轴承组，所述旋转组件驱动连接于所述连接轴。
15、在一些可能的实施方式中，所述轴承组包括直线轴承或无油衬套。
16、在一些可能的实施方式中，所述挂架组件处于第一状态和第二状态时的夹角为90°。
17、第二方面，提供一种真空镀膜设备，包括腔体、挂架组件和上述的旋转装置，所述旋转装置能够驱动所述挂架组件转动。
18、第三方面，提供一种应用上述的真空镀膜设备的方法，包括：
19、处于第二状态的所述挂架组件与旋转组件对接，所述旋转组件驱动所述挂架组件处于第一状态；
20、所述挂架组件与所述旋转组件分离，所述挂架组件保持第一状态；
21、处于第一状态的所述挂架组件与所述旋转组件对接，所述旋转组件驱动所述挂架组件处于第二状态；
22、所述挂架组件与所述旋转组件分离，所述挂架组件保持第二状态。
23、本专利技术的有益效果：
24、本专利技术提供的一种旋转装置、真空镀膜设备及应用其的方法，旋转组件能够驱动挂架组件转动以处于第一状态或第二状态，以使挂架组件相对于腔体处于不同的角度位置，基板挂接在挂架组件时，随着挂架组件处于不同状态而改变角度位置，提高了基板在腔体内的灵活性，以满足生产需求。
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1.一种旋转装置，设于腔体，所述腔体内设有挂架组件(2)，所述挂架组件(2)用于承载基板(100)，其特征在于，所述旋转装置包括旋转组件(3)，所述旋转组件(3)的输出端用于与所述挂架组件(2)对接，并驱动所述挂架组件(2)旋转，使所述挂架组件(2)转动以处于第一状态或第二状态，所述基板(100)挂载在所述挂架组件(2)上且处于第二状态时，所述基板(100)面可进行镀膜。
2.根据权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，所述腔体内设有公转架(4)，所述挂架组件(2)转动连接于所述公转架(4)，所述公转架(4)能够驱动所述挂架组件(2)绕第一中心线转动以与所述旋转组件(3)对接，所述旋转组件(3)能够驱动所述挂架组件(2)绕第二中心线转动。
3.根据权利要求2所述的旋转装置，其特征在于，所述腔体设有搬运口，
4.根据权利要求2所述的旋转装置，其特征在于，所述旋转组件(3)包括旋转驱动件(31)和旋转头(32)，所述旋转驱动件(31)固定于所述腔体，所述旋转头(32)连接于所述旋转驱动件(31)的输出端，所述挂架组件(2)与所述旋转头(32)能够连接
5.根据权利要求2所述的旋转装置，其特征在于，所述挂架组件(2)和所述公转架(4)之间设有限位组件(6)和升降组件(5)，所述限位组件(6)能够限制所述挂架组件(2)转动，所述升降组件(5)驱动所述挂架组件(2)正向移动时，使所述限位组件(6)处于非限位状态且使所述挂架组件(2)与所述旋转组件(3)对接，所述升降组件(5)驱动所述挂架组件(2)反向移动时，使所述挂架组件(2)与所述旋转组件(3)分离且使所述限位组件(6)处于限位状态。
6.根据权利要求5所述的旋转装置，其特征在于，所述限位组件(6)包括：
7.根据权利要求5所述的旋转装置，其特征在于，所述升降组件(5)与所述旋转组件(3)相对应设置，所述升降组件(5)包括升降驱动件(51)和升降头(52)，所述升降驱动件(51)固定于所述腔体，所述升降头(52)连接于所述升降驱动件(51)的输出端，所述升降驱动件(51)通过所述升降头(52)驱动所述挂架组件(2)移动。
8.根据权利要求2所述的旋转装置，其特征在于，所述挂架组件(2)包括连接轴(21)和连接于所述连接轴(21)的框架(22)，所述基板(100)可拆卸连接于所述框架(22)，所述公转架(4)上设有轴承组(43)，所述连接轴(21)贯穿于所述轴承组(43)，所述旋转组件(3)驱动连接于所述连接轴(21)。
9.根据权利要求8所述的旋转装置，其特征在于，所述轴承组(43)包括直线轴承或无油衬套。
10.根据权利要求1-9任一项所述的旋转装置，其特征在于，所述挂架组件(2)处于第一状态和第二状态时的夹角为90°。
11.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括腔体、挂架组件(2)和权利要求1-10任一项所述的旋转装置，所述旋转装置能够驱动所述挂架组件(2)转动。
12.一种应用权利要求11所述的真空镀膜设备的方法，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种旋转装置，设于腔体，所述腔体内设有挂架组件(2)，所述挂架组件(2)用于承载基板(100)，其特征在于，所述旋转装置包括旋转组件(3)，所述旋转组件(3)的输出端用于与所述挂架组件(2)对接，并驱动所述挂架组件(2)旋转，使所述挂架组件(2)转动以处于第一状态或第二状态，所述基板(100)挂载在所述挂架组件(2)上且处于第二状态时，所述基板(100)面可进行镀膜。
2.根据权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，所述腔体内设有公转架(4)，所述挂架组件(2)转动连接于所述公转架(4)，所述公转架(4)能够驱动所述挂架组件(2)绕第一中心线转动以与所述旋转组件(3)对接，所述旋转组件(3)能够驱动所述挂架组件(2)绕第二中心线转动。
3.根据权利要求2所述的旋转装置，其特征在于，所述腔体设有搬运口，
4.根据权利要求2所述的旋转装置，其特征在于，所述旋转组件(3)包括旋转驱动件(31)和旋转头(32)，所述旋转驱动件(31)固定于所述腔体，所述旋转头(32)连接于所述旋转驱动件(31)的输出端，所述挂架组件(2)与所述旋转头(32)能够连接或分离。
5.根据权利要求2所述的旋转装置，其特征在于，所述挂架组件(2)和所述公转架(4)之间设有限位组件(6)和升降组件(5)，所述限位组件(6)能够限制所述挂架组件(2)转动，所述升降组件(5)驱动所述挂架组件(2)正向移动时，使所述限位组件(6)处于非限位状态且使所述挂架组件(2)与所述旋转组件(3)对接，所述升降组...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈韶华，程元，杨启忠，余海春，唐政，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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