冷阱制造技术

本发明专利技术提供一种冷阱，其课题在于使具有较大的排气能力的直线型冷阱适用于较窄的设置空间。本发明专利技术的冷阱(10)配设于真空容器(12)与用于该真空容器(12)的真空泵之间，冷板(24)配置于从真空容器(12)的排气口(30)至真空泵的吸气口(31)的排气流路(18)。冷板容器(26)具备用于将排气流路(18)连接于真空容器(12)的排气口的入口部、及用于将排气流路(18)连接于真空泵的吸气口(31)的出口部。出口部相对于入口部偏心设置。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种冷阱，配设于真空容器与用于该真空容器的真空泵之间，所述冷阱的特征在于，具备：冷板，配置于从所述真空容器的排气口至所述真空泵的吸气口的排气流路；及冷板容器，具备用于将所述排气流路连接于所述真空容器的排气口的入口部、及用于将所述排气流路连接于所述真空泵的吸气口的出口部，所述出口部相对于所述入口部偏心设置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：谷津贵裕，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP