冷阱制造技术

本发明专利技术提供一种冷阱，其课题在于抑制排气流路的传导率的下降，并且提高冷阱的排气速度。本发明专利技术的冷阱(10)配设于真空容器(12)与涡轮分子泵(14)之间。冷阱(10)具备冷板(24)及在排气流路(18)中包围冷板(24)的冷板容器(26)。冷板(24)在冷板容器(26)的外部具备扩张板(34)。扩张板(34)配置于真空容器(12)内。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种冷阱，配设于真空容器与用于该真空容器的真空泵之间，所述冷阱的特征在于，具备：冷板；及冷板容器，在排气流路中包围所述冷板，所述排气流路从所述真空容器的排气口延伸至所述真空泵的吸气口，所述冷板在所述冷板容器的外部具备扩张部分，所述扩张部分配置于所述真空容器内。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：谷津贵裕，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP