低温泵与冷阱的稳压供液装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种低温泵与冷阱的稳压供液装置，包括冷阱、低温泵和储液罐，冷阱和低温泵通过管道与储液罐连接，储液罐的下端的位置高于冷阱和低温泵上端位置，储液罐的上端设有出气阀，冷阱和低温泵的一端与储液罐的下端连通，另一端与储液罐的上端连通，储液罐上还设有自动补液装置，储液罐通过位差来给冷阱和低温泵提供稳定的液氮，自动补液装置能为储液罐自动补给液氮，因此，本实用新型专利技术具有通过位差来为冷阱和低温泵设备提供稳定的供液从而保证设备正常的工作环境的有益效果，同时还具有当储液罐中液氮含量不足时能够自动为储液罐补给液氮的有益效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种航天领域低温超高真空试验设备和半导体高真空设备，尤其涉及ー种低温泵与冷阱稳的稳压供液装置。
技术介绍
航天领域的空间环境模拟试验设备、半导体行业的高真空设备中的低温泵和液氮冷阱，在设备运行时要对低温泵和液氮冷阱提供低压稳定的液氮，使低温泵和液氮冷阱的低温界面始終保持在-190°C以下，为了达到-190°C以下稳定的工作温度，需要设置ー个能够提供低压稳定的供液装置，现有技术中用阀门控制供液装置，经常出现因供液过大或不足而使使低温泵和液氮冷阱的内部温度不稳定，从而影响低温泵和液氮冷阱的工作稳定； 另ー种方式是采用在低温泵和液氮冷阱出口处加装气液分离阀，这样的装置也会造成压カ不稳定而使低温泵和液氮冷阱内的温度达不到技术要求，从而使低温泵和液氮冷阱不能正常工作。中国专利授权公告号CN201220915Y，授权公告日2009年4月15日，公开了ー种可提高稳定可靠性的供液装置，其具有一装有液体的储液罐、一设置在储液罐中的汲液管道、一汲取储液罐中液体的汲液模块和一供应汲液模块所汲取的液体的供液管道，本技术的供液装置还具有一设置在驱动模块和供液管道间的耐压缓冲容器，该汲液模块为具有第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温泵与冷阱的稳压供液装置，包括冷阱（1）、低温泵（2）和储液罐（3），所述的冷阱（1）和低温泵（2）通过管道与储液罐（3）连接，其特征是，所述的储液罐（3）的下端的位置高于冷阱（1）和低温泵（2）上端位置，所述储液罐的上端设有出气阀（11），所述冷阱（1）和低温泵（2）的一端与储液罐（3）的下端连通，另一端与储液罐（3）的上端连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毛亨国，徐国明，徒诚雄，金超杰，翁警涛，杨川，吴达晟，杨旭，
申请(专利权)人：杭州杭氧环保成套设备有限公司，
类型：实用新型
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