【技术实现步骤摘要】
一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置
本技术涉及一种扩散泵,特别是一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置。
技术介绍
目前,国内真空设备中扩散泵泵油的补充主要采取两种方式从抽气口通过打开高阀补充扩散泵油或扩散泵自带加油口补充,这两种方式都有一些不足和弊端。从抽气口通过打开高阀补充扩散泵油,采用这种方法具有以下缺点真空设备中抽气口一般都会有格栅或防护网,如果设备中含有深冷捕集泵时,设备的高阀一般会采用翻板阀结构,因翻板阀本身比较长,同时高阀口还有冷阱等遮挡,补充扩散泵有时一般很困难。从扩散泵自带加油口补充,加泵油口一般为金属密封或氟橡胶密封,金属密封时,打开后再次密封时容易造成密封不好而扩散泵漏气,且密封圈为氟橡胶密封时,因为离扩散泵加热器太近,长期受扩散泵加热烘烤密封圈容易老化,重新拆卸后大多不能使用,容易出现漏气。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于针对上述存在的问题,提供一种在扩散泵前级管道添加泵油方便的扩散泵泵油补充装置。本技术采用的技术方案是这样的一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置,包括KF拉伸弯头、KF密封组件、KF转接规管过渡装置、规管,KF转接规管装置通过KF 密封组件连接在KF拉伸弯头上,KF拉伸弯头的另一端焊接在扩散泵前级口上,且弯头的方向向上。规管安装在KF转接规管装置上。综上所述,由于采用了上述技术方案,本技术的有益效果是I、扩散泵补充泵油方便简单。2、扩散泵泵油补充装置与规管在同侧,方便补充泵油时观察,同时规管可以监测扩散泵压力。3、采用KF密封组件,拆卸安装方便简单。附图说明图I是一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装 ...
【技术保护点】
一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置,其特征在于:包括KF拉伸弯头(1)、KF密封组件(2)、KF转接规管过渡装置(3)、规管(4),所述的KF转接规管装置(3)通过KF密封组件(2)连接在KF拉伸弯头(1)上,所述的规管(4)安装在KF转接规管装置(3)上。
【技术特征摘要】
1.一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置,其特征在于包括KF拉伸弯头(I)、KF密封组件(2 )、KF转接规管过渡装置(3 )、规管(4 ),所述的KF转接规管装置(3 )通过KF密封组件(2)连接在KF拉伸弯头(I)上,所述的规管(4)安装在KF转接规管装置(3)上。2.根据权利要求I所述的一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置,...
【专利技术属性】
技术研发人员:范多旺,牛晓山,范多进,夏荣斌,令晓明,杨树本,
申请(专利权)人:常州大成绿色镀膜科技有限公司,兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司,兰州大成科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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