【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空设备
，尤其是。
技术介绍
油扩散泵真空技术具有抽气速率高、结构简单、无机械传动、无摩擦以及对被抽气体选择性不强等诸多优点，被广泛应用于真空冶炼、真空镀膜、原子能、空间模拟等工业领域和科学技术研究中，油扩散泵真空系统是一种重要的真空获得系统，是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，在科学研究和国民经济发展中起着重要的作用。油扩散泵主要性能指标与泵尺寸、极限压力、油温、油品等有关。各种油扩散泵其 基本的工作原理是一样的，工作时采用加热器将泵腔底部的油加热至沸腾，被抽气体与高速运动、喷射的油蒸汽流混合后，进行能量交换而达到抽气作用的。油扩散泵工作条件是必须和前级泵一起构成真空系统进行工作，前级泵的抽速必须使油扩散泵的前级压力小于其前级临界压力，并且油扩散泵工作前被抽的真空室压力必须小于IOPa左右，即首先对真空室进行粗抽真空，否则油扩散泵就不能有效地发挥抽气能力。一般油扩散泵的前级泵采用机械泵，同时给扩散泵机组还单独配备维持泵来保证扩散泵正常工作时前级压力。目前大部分采用油扩散泵构成的真空机组系统如图I所示。图中Vl为主阀，Kl为油扩散泵...
【技术保护点】
一种防爆油扩散泵真空系统，对真空室进行抽真空，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，其特征是：还包括控制系统，所述的控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，所述的控制系统设有临界压力Pq和防爆压力Pfb，所述的控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。
【技术特征摘要】
1.一种防爆油扩散泵真空系统，对真空室进行抽真空，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，其特征是还包括控制系统，所述的控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，所述的控制系统设有临界压力P,和防爆压力Pfb，所述的控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。2.如权利要求I所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是所述的油扩散泵系统还具有对油扩散泵前级抽气的前级泵组和维持油扩散泵腔内真空度的维持泵组，前级泵组通过管路与油扩散泵的前级排气口和真空室的粗级抽真空口连通，维持泵组通过管路与油扩散泵的前级排气口连通。3.如权利要求2所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是所述的前级泵组与油扩散泵的前级排气口之间的管路上设有前级阀，前级泵组与真空室的粗级抽真空口之间的管路上设有粗抽阀，所述的维持泵组与油扩散泵的前级排气口之间的管路上设有维持阀；所述的前级泵组具有串联设置的第一前级泵和第二前级泵，所述的第一、第二前级泵之间管路上设有选择阀。4.如权利要求I所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是所述的油扩散泵系统具有并联设置的第一油扩散泵和第二油扩散泵，第一、第二油扩散泵的抽气口分别与真空室的出气口连通，第一油扩散泵与真空室的管路上设有第一主阀，第一油扩散泵的前级排气口管路上设有第一压力检测装置，第二油扩散泵与真空室的管路上设有第二主阀，第二油扩散泵的前级排气口管路上设有第二压力检测装置。5.如权利要求4所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是所述的油扩散泵系统还具有前级泵组和维持泵组，前级泵组通过管路与第一、第二油扩散泵的前级排气口和真空室的粗级抽真空口连通，前级泵组与与第一、第二油扩散泵的前级排气口之间的管路上分别设有第一前级阀和第二前级阀，前级泵组与真空室的粗级抽真空口之间的管路上设有粗抽阀，所述的维持泵组通过管路与第一、第二油扩散泵的前级排气口连通，维持泵组与第一、第二油扩散泵的前级排气口的管路上分别设有第一维持阀和第二维持阀；所述的前级泵组包括一台主前级泵和两台副前级泵，所述的两台副前级泵通过管路并联设置在主前级泵出气端，两台副前级泵与主前级泵之间的管路上分别设有第一选择...
【专利技术属性】
技术研发人员：令晓明，范多旺，夏荣斌，范多进，李德文，杨树本，
申请(专利权)人：常州大成绿色镀膜科技有限公司，兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司，兰州大成科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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