【技术实现步骤摘要】
一种高真空系统密封装置
本技术涉及一种用于真空系统中接通和截止气流领域，尤其是一种高真空系统密封装置。
技术介绍
目前大部分油扩散泵采用挡板阀的结构，也有部分装置采用了翻板阀的结构。这些结构解决了真空密封问题，但是对低温深冷扑集系统无法起到保护作用。国内翻板阀存在以下缺点(1)翻板时无调整，密封圈易被挤坏，泄露量大；(2)密封圈加工于阀体上，更换密封圈需拆下翻板阀阀板，影响生广效率。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于针对上述存在的问题，提供一种用于真空系统中接通和截止气流装置。这种装置的优点在于真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成，通导能力达到90%以上，生产效率高，也可根据生产及设备的本身需要，可界定其不同大小的通导能力。如果操作过程中出现停电或意外，阀板会自行关闭，将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离，起到安全保护深冷系统不被暴露大气和升温影响，且保护真空扩散泵泵油不易氧化的作用。本技术采用的技术方案是这样的一种高真空系统密封装置，包括真空室体、 高真空翻板阀、低温盘管、冷凝罩和K-800A扩散泵。适用于压力低于一个大气压至10-5P...
【技术保护点】
一种高真空系统密封装置，其特征在于,包括:真空室体（1）、高真空翻板阀（2）、低温盘管（3）、冷凝罩（4）和扩散泵（5），所述的冷凝罩（4）中装有低温盘管（3）；所述的高真空翻板阀（2）包括：驱动气缸（2?1）、气缸转臂（2?2）、阀板固定臂（2?3）、阀板调整机构（2?4）、阀板调平轴（2?5）、阀板（2?6），所述的驱动气缸（2?1）由自动控制动作，驱动气缸（2?1）驱动气缸转臂（2?2）和阀板固定臂（2?3）动作。
【技术特征摘要】
1.一种高真空系统密封装置，其特征在于，包括真空室体(I)、高真空翻板阀(2)、低温盘管(3)、冷凝罩(4)和扩散泵(5)，所述的冷凝罩(4)中装有低温盘管(3);所述的高真空翻板阀(2)包括驱动气缸(2-1 )、气缸转臂(2-2)、阀板固定臂(2-3)、阀板调整机构(2-4 )、阀板调平轴(2-5 )、阀板(2-6 )，所述的驱动气缸(2-1)由自动控制动作，驱动气缸(2-1)驱动气缸...
【专利技术属性】
技术研发人员：范多旺，牛晓山，牛进虎，杨书本，范多进，令晓明，
申请(专利权)人：常州大成绿色镀膜科技有限公司，兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司，兰州大成科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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