下载一种高真空系统密封装置的技术资料

文档序号:8470178

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本实用新型公开了一种高真空系统密封装置,其特征在于,包括:真空室体、高真空翻板阀、低温盘管、冷凝罩和扩散泵,所述的冷凝罩中装有低温盘管;所述的高真空翻板阀包括:驱动气缸、气缸转臂、阀板固定臂、阀板调整机构、阀板调平轴、阀板,所述的驱动气缸由...
该专利属于常州大成绿色镀膜科技有限公司;兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司;兰州大成科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州大成绿色镀膜科技有限公司;兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司;兰州大成科技股份有限公司授权不得商用。

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