快抽速且低能耗的真空高阀制造技术

本实用新型专利技术公开了一种快抽速且低能耗的真空高阀，包括阀体、气缸和阀罩盖，阀体上设有真空容器连接口、预抽真空阀连接口和高真空泵连接口，真空容器连接口经阀体内与预抽真空阀连接口连通；阀体上设置气缸，气缸的气缸轴伸入到阀体内，气缸轴设有阀罩盖，阀罩盖朝向真空容器连接口；阀体内顶壁固定设有遥控风扇；预抽真空阀连接口至少设有两个，且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上。本实用新型专利技术通过不同真空度的多个预抽真空阀的设置，在抽真空初始由于越靠近真空泵真空度越高，因此阀体内空气除了向预抽真空阀运动外还具备向下运动的趋势，协助推动抽真空过程，使得抽真空更迅速，达到同样的真空度时能耗较以前的技术方案低。

Quick pumping and low energy consumption vacuum high valve

The utility model discloses a fast pumping speed and low energy consumption high vacuum valve, including valve, cylinder and valve cover, the valve body is provided with a vacuum container port, the vacuum valve connection and high vacuum pump connector, the vacuum container port through the valve body and the vacuum valve connection valve connected; set on the cylinder, the cylinder axis of the cylinder into the valve body, valve cover is provided with a cylinder shaft, valve cover toward the vacuum container port; the valve body is fixedly provided with a top wall remote control fan; pre vacuum valve connection is provided with at least two, and are set in the same bus on the outer surface of the cylindrical body. The utility model has the advantages of a plurality of different pre vacuum vacuum valve set in vacuum due to the more close to the initial vacuum pump vacuum degree is high, so the air inside the body in addition to the vacuum valve movement also has the downward trend, to help promote the process of vacuum, the vacuum pumping more quickly and achieve the same the vacuum energy consumption is lower than the previous low technical scheme.

【技术实现步骤摘要】
快抽速且低能耗的真空高阀
本技术涉及真空设备使用的控制阀领域，具体涉及一种快抽速且低能耗的真空高阀。
技术介绍
真空镀膜技术，是在真空条件下采用物理或化学的方法，使物体表面获得所需要的膜体。真空镀膜技术根据其采用的方法不同可分为:蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等。为了获得更好的镀膜效果，更快地获得所要的真空度，在真空镀膜室和真空泵方面作了很多改进，但在真空阀方面一直没什么大的改进，而目前要快速达到最终高真空阀的真空度，一般通过多个泵设置成主泵和前置泵的方式来达到，能耗高，抽速也没快多少。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题在于，提供一种快抽速且低能耗的真空高阀，且达到同样的真空度时能耗还低。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：快抽速且低能耗的真空高阀，包括阀体、气缸和阀罩盖，所述阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、预抽真空阀连接口和高真空泵连接口，所述真空容器连接口经所述阀体内与所述预抽真空阀连接口连通；所述阀体上设置所述气缸，气缸与所述阀体连接处密封连接；所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内，气缸轴设有阀罩盖，所述阀罩盖朝向所述高真空泵连接口，能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述高真空泵连接口；所述阀体内顶壁固定设有遥控风扇，阀体上设有允许红外线穿透的窥视窗，窥视窗的材质采用玻璃；所述预抽真空阀连接口至少设有两个，且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上。这样总共四个气缸的设置，在抽真空时一起打开，由于由上至下的预抽真空阀内的真空度逐渐变高，因此在初始抽真空时，阀体内的气体除了具备向真空度高的预抽真空阀移动的趋势外，由于三个预抽真空阀的真空度的设置，使得在原本除了由于高真空泵抽吸的力量向下（高真空泵连接口设置在阀体的下底壁）移动外，阀体内的空气还由于有梯度的预抽真空阀的设置更有向下运动的趋势，这样使得抽真空过程更易于向所要的方向进行，提高了抽速。虽然随着阀体内的空气越来越稀薄风扇吹出的风越来越小，但在刚开始由于阀体内空气很多，因此在初始阶段配合预抽真空阀，能够极大地加速刚开始的抽速，使得整体抽真空所需时间减小。遥控风扇配合窥视窗更好地实现风扇的设置，因此这样风扇能够固定设置在阀体的内顶壁无需担心由于电线要穿过阀体而导致要解决的密封问题。作为本技术快抽速且低能耗的真空高阀的进一步改进，预抽真空阀连接口设有三个，分别与三个预抽真空阀连通，三个预抽真空阀的真空度由高至低越来越高，三个预抽真空阀的尺寸规格一致，但小于阀体的尺寸，最高位置的那个预抽真空阀的真空度高于真空高阀最终所要达到的真空度；阀体上在预抽真空阀连接口的相对位置上设有三个第二气缸，第二气缸与所述阀体连接处密封连接；所述第二气缸的气缸轴伸入到所述阀体内，气缸轴设有第二阀罩盖，所述第二阀罩盖朝向预抽真空阀连接口。在正式开始抽真空前第二阀罩盖不打开（处于关闭状态）先对预抽真空阀抽真空，这样无需只需简单抽真空一会，让预抽真空阀达到一定的真空度，然后启动真空泵并打开阀罩盖和第二阀罩盖，由于预抽真空阀此时已经具备一定的真空度，阀体内的空气具备向空气稀薄的预抽真空阀内移动的趋势，且由于越往下真空度越高，所以三个不同真空度的预抽真空阀的设置加速了抽真空的过程，提高了抽速，这样也在为达到同样的真空度时的能耗降低。作为本技术快抽速且低能耗的真空高阀的进一步改进，真空高阀通过高真空泵连接口与高真空泵连通。本技术通过多个不同真空度的预抽真空阀的设置，在抽真空初始给予空气助推，使得阀体内空气更易于向高真空泵处移动，使得抽真空更迅速，达到同样的真空度时能耗较以前的技术方案低。附图说明图1为本技术快抽速且低能耗的真空高阀的纵剖图；图2为本技术的正视图；图3为图2的俯视图；图4为阀体内空气在正式抽真空时的气体流向示意图。图中：1、阀体2、气缸3、遥控风扇4、真空容器连接口5、预抽真空阀连接口6、气缸轴7、阀罩盖8、预抽真空阀9、高真空泵连接口10、窥视窗11、第二气缸12、第二阀罩盖13、高真空泵。具体实施方式为了对本技术的技术特征、目的以及效果有更加清楚地了解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。如图1至图4所示，快抽速且低能耗的真空高阀，包括阀体1、气缸2和阀罩盖7，所述阀体1内为中空结构，阀体1上设有真空容器连接口4、预抽真空阀连接口5和高真空泵连接口9，所述真空容器连接口4经所述阀体1内与所述预抽真空阀连接口5连通；所述阀体1上设置所述气缸2，气缸2与所述阀体1连接处密封连接；所述气缸2的气缸轴6伸入到所述阀体1内，气缸轴6设有阀罩盖7，所述阀罩盖7朝向所述高真空泵连接口9，能在所述气缸轴6驱动下关闭或打开所述高真空泵连接口9；所述阀体1内顶壁固定设有遥控风扇3，阀体1上设有允许红外线穿透的窥视窗10，窥视窗10的材质采用玻璃；所述预抽真空阀连接口5至少设有两个，且都设置在圆柱形阀体1外表面的同一母线上。预抽真空阀连接口5设有三个，分别与三个预抽真空阀8连通，三个预抽真空阀8的真空度由高至低越来越高，三个预抽真空阀8的尺寸规格一致，但小于阀体1的尺寸，最高位置的那个预抽真空阀8的真空度高于真空高阀最终所要达到的真空度；阀体1上在预抽真空阀连接口5的相对位置上设有三个第二气缸11，第二气缸11与所述阀体1连接处密封连接；所述第二气缸11的气缸轴6伸入到所述阀体1内，气缸轴6设有第二阀罩盖12，所述第二阀罩盖12朝向预抽真空阀连接口5。真空高阀通过高真空泵连接口9与高真空泵13连通。以上内容是结合具体的优选技术方案对本技术所作的进一步详细说明，不能认定本技术的具体实施只局限于这些说明。对于本技术所属
的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
快抽速且低能耗的真空高阀，其特征在于，包括阀体、气缸和阀罩盖，所述阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、预抽真空阀连接口和高真空泵连接口，所述真空容器连接口经所述阀体内与所述预抽真空阀连接口连通；所述阀体上设置所述气缸，气缸与所述阀体连接处密封连接；所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内，气缸轴设有阀罩盖，所述阀罩盖朝向所述高真空泵连接口，能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述高真空泵连接口；所述阀体内顶壁固定设有遥控风扇，阀体上设有允许红外线穿透的窥视窗，窥视窗的材质采用玻璃；所述预抽真空阀连接口至少设有两个，且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上。

【技术特征摘要】
1.快抽速且低能耗的真空高阀，其特征在于，包括阀体、气缸和阀罩盖，所述阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、预抽真空阀连接口和高真空泵连接口，所述真空容器连接口经所述阀体内与所述预抽真空阀连接口连通；所述阀体上设置所述气缸，气缸与所述阀体连接处密封连接；所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内，气缸轴设有阀罩盖，所述阀罩盖朝向所述高真空泵连接口，能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述高真空泵连接口；所述阀体内顶壁固定设有遥控风扇，阀体上设有允许红外线穿透的窥视窗，窥视窗的材质采用玻璃；所述预抽真空阀连接口至少设有两个，且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上。2...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿建强，瞿一涛，黄仕强，陆彬锋，
申请(专利权)人：江阴市光科真空机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32