The utility model discloses a vacuum high vacuum valve comprises a valve body, quick cylinder and valve cover, the valve body is a hollow structure, the valve body is provided with a vacuum container port, vacuum pump connector and high vacuum pump connector, valve body and valve cylinder, the cylinder connection sealing connection; cylinder axis cylinder the top of the cylinder into the valve body, valve shaft is provided with the valve cover, cover toward the high vacuum pump connector, can close or open the high vacuum pump connector on the cylinder shaft driven by time; vacuum pump connector is provided with at least two, and are arranged in the cylinder of the same bus on the surface of the valve body. A vacuum pump connector and / or low vacuum pump in vacuum pump. The utility model has the advantages of a plurality of secondary vacuum pump connection settings, can be in vacuum respectively several vacuum pump connector with low vacuum pump and / or vacuum pump connected, such as the bottom of high vacuum pump, low vacuum pump at the top of the high vacuum pump is equal to an assist, the pumping vacuum rapidly.
【技术实现步骤摘要】
抽真空迅速的真空高阀
本技术涉及真空设备使用的控制阀领域,具体涉及一种抽真空迅速的真空高阀。
技术介绍
真空镀膜技术,是在真空条件下采用物理或化学的方法,使物体表面获得所需要的膜体。真空镀膜技术根据其采用的方法不同可分为:蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等。为了获得更好的镀膜效果,更快地获得所要的真空度,在真空镀膜室和真空泵方面作了很多改进,但在真空阀方面一直没什么大的改进,而目前要快速达到最终高真空阀的真空度,一般通过多个泵设置成主泵和前置泵的方式来达到,能耗高,抽速也没快多少。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题在于,提供一种抽真空迅速的真空高阀,且达到同样的真空度时能耗还低。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:抽真空迅速的真空高阀,包括阀体、气缸和阀罩盖,所述阀体内为中空结构,阀体上设有真空容器连接口、次真空泵连接口和高真空泵连接口,所述真空容器连接口经所述阀体内与所述次真空泵连接口、高真空泵连接口连通;所述阀体上设置所述气缸,气缸与所述阀体连接处密封连接;所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内,气缸轴的顶端设有阀罩盖,所述阀罩盖朝向所述高真空泵连接口,能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述高真空泵连接口;所述次真空泵连接口至少设有两个,且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上,所述次真空泵连接口连接低真空泵和/或中真空泵。这样的设置可以在抽真空时由于侧面低真空泵的设置可以使得阀体内的空气具备向下向侧面移动的趋势,再配合下方的高真空泵,阀体内的空气往下运动的趋势被加大,而且由于侧面只是低真空泵,耗能较少,却由于其引导或者说帮助协助的作用,增加了原本 ...
【技术保护点】
抽真空迅速的真空高阀,其特征在于,包括阀体、气缸和阀罩盖,所述阀体内为中空结构,阀体上设有真空容器连接口、次真空泵连接口和高真空泵连接口,所述真空容器连接口经所述阀体内与所述次真空泵连接口、高真空泵连接口连通;所述阀体上设置所述气缸,气缸与所述阀体连接处密封连接;所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内,气缸轴的顶端设有阀罩盖,所述阀罩盖朝向所述高真空泵连接口,能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述高真空泵连接口;所述次真空泵连接口至少设有两个,且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上,所述次真空泵连接口连接低真空泵和/或中真空泵。
【技术特征摘要】
1.抽真空迅速的真空高阀,其特征在于,包括阀体、气缸和阀罩盖,所述阀体内为中空结构,阀体上设有真空容器连接口、次真空泵连接口和高真空泵连接口,所述真空容器连接口经所述阀体内与所述次真空泵连接口、高真空泵连接口连通;所述阀体上设置所述气缸,气缸与所述阀体连接处密封连接;所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内,气缸轴的顶端设有阀罩盖,所述阀罩盖朝向所述高真空泵连接口,能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述高真空泵连接口;所述次真空泵连接口至少设有两个,且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上,所述次真空泵连接口连...
【专利技术属性】
技术研发人员:瞿建强,瞿一涛,黄仕强,陆彬锋,
申请(专利权)人:江阴市光科真空机械有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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