无需移动装填蒸镀料的坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了无需移动装填蒸镀料的坩埚，包括坩埚本体以及固定设置在坩埚本体底壁上的用于蒸镀料装填的各向装填机构，各向装填机构其装填面呈与水平面倾斜设置，倾角范围为15°～45°。本实用新型专利技术在盖板上设置一个尺寸较小的装填孔，再配合各向装填机构装填时可以实现无需移动装填蒸镀料就能将蒸镀料均匀地装填在坩埚本体底壁，并且能够根据不同蒸镀料其粗细及摩擦系数的情况合理选择装填槽及出料槽的倾斜方向以既满足装填的蒸镀料能自动下料、又满足蒸镀料在自动下料时不会过快而导致蒸镀料的泄漏、飘散和损失。

【技术实现步骤摘要】
无需移动装填蒸镀料的坩埚
本技术涉及无需移动装填蒸镀料的坩埚。
技术介绍
OLED，即有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode)，又称为有机电激光显示(OrganicElectroluminesenceDisplay，OLED)。因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；其中，在OLED的制作流程中，真空镀膜工艺是OLED制作流程中一个很重要的工艺，真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜。因为它是关系到OLED的品质高低及寿命长短的最重要因素之一，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。而在蒸镀中蒸镀坩埚是应用得较多的一个设备，但目前的蒸镀坩埚在蒸镀材料装填时，操作人员为将材料均匀的装填在坩埚本体里，需要边移动边添加，此时很容易造成蒸镀料的泄漏、飘散和损失，而OLED蒸镀的材料十分昂贵，进而导致成本的提高；现有OLED蒸镀材料为粉末状，装填时无法控制材料在坩埚主体内的分布均一，容易造成蒸镀成膜的膜厚度差别。
技术实现思路
本技术的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供无需移动装填蒸镀料的坩埚，可以实现无需移动装填蒸镀料就能将蒸镀料均匀地装填在坩埚本体底壁，并且能够根据不同蒸镀料其粗细及摩擦系数的情况合理选择装填槽及出料槽的倾斜方向以既满足装填的蒸镀料能自动下料、又满足蒸镀料在自动下料时不会过快而导致蒸镀料的泄漏、飘散和损失。为实现上述目的，本技术的技术方案是设计无需移动装填蒸镀料的坩埚，包括坩埚本体以及固定设置在坩埚本体底壁上的用于蒸镀料装填的各向装填机构，各向装填机构其装填面呈与水平面倾斜设置，倾角范围为15°～45°。由于各向装填机构的设置可以使得装填料能够比较均匀地落入坩埚本体内，并且其倾角的设置使得装填时不用移动装填。进一步的技术方案是，坩埚本体呈矩形槽状，坩埚本体上方设有与坩埚本体一体成型的盖板，盖板上设有出气孔及一个装填孔；所述各向装填机构包括一个与坩埚本体底壁倾斜设置的装填槽，装填槽的槽底板与水平面倾角范围为15°～45°，槽底板上等距设置若干个挡板，挡板的高度低于装填槽槽侧板的高度，槽侧板上设置若干个出料孔，出料孔的高度低于挡板的高度，槽侧板一侧设置倾斜的出料槽，出料槽的上槽口位于出料孔处且槽口大于出料孔、下槽口与坩埚本体底壁相连，出料槽用于装填槽分支方向的出料使得装填时蒸镀料在坩埚主本体内分布均一。槽底板的倾斜设置与挡板的设置使得装填料在不停地装填过程中首先积聚在挡板处，装填料超过挡板后向更低的挡板处进料积聚在下一个挡板与此较高的挡板之间，又由于槽侧板设置出料孔，在装填料积聚在挡板处时，当装填料继续增加到装填料的上表面到达出料孔时则一部分装填料从出料槽向下滑落，实现不同方向的进料，达到进料均布的目的。进一步的技术方案是，装填槽的槽底板与水平面倾角为30°；挡板垂直于槽底板设置，出料孔的间距满足越靠近较低的挡板则间距越大，出料槽的蒸镀料其出料方向与装填槽的蒸镀料其进料方向垂直。出料孔的间距的设置是考虑到由于槽底板倾斜设置，因此装填料越靠近较低的挡板越多，所以此时需较少设置出料孔，避免装填料还未“翻”过挡板就基本都从出料孔出去了，也是为了更好地保证蒸镀料在坩埚本体内的分布均一。进一步的技术方案为，挡板上设置出料口，出料口靠近挡板上端设置；所述装填槽其倾斜方向满足装填槽的蒸镀料其进料方向与坩埚本体的长向一致，装填孔位于装填槽上端处。挡板上出料口的设置可以根据蒸镀料的粗细及摩擦系数决定是否设置以及出料口的大小及多少，也是为了更好地保证蒸镀料在坩埚本体内的分布均一，使得装填料在挡板处积聚到快到挡板顶时先从出料口流出一部分装填料到下一个挡板处。装填孔位于装填槽上端处，这样装填时直接从此装填孔装填蒸镀料，不需移动装填，而且由于装填孔在盖板上，可以避免蒸镀料的泄漏、飘散和损失。本技术的优点和有益效果在于：在盖板上设置一个尺寸较小的装填孔，再配合各向装填机构装填时可以实现无需移动装填蒸镀料就能将蒸镀料均匀地装填在坩埚本体底壁，并且能够不同蒸镀料其粗细及摩擦系数的情况合理选择装填槽及出料槽的倾斜方向以既满足装填的蒸镀料能自动下料、又满足蒸镀料在自动下料时不会过快而导致蒸镀料的泄漏、飘散和损失；由于各向装填机构的设置可以使得装填料能够比较均匀地落入坩埚本体内，并且其倾角的设置使得装填时不用移动装填；槽底板的倾斜设置与挡板的设置使得装填料在不停地装填过程中首先积聚在挡板处，装填料超过挡板后向更低的挡板处进料积聚在下一个挡板与此较高的挡板之间，又由于槽侧板设置出料孔，在装填料积聚在挡板处时，当装填料继续增加到装填料的上表面到达出料孔时则一部分装填料从出料槽向下滑落，实现不同方向的进料，达到进料均布的目的。出料孔的间距的设置是考虑到由于槽底板倾斜设置，因此装填料越靠近较低的挡板越多，所以此时需较少设置出料孔，避免装填料还未“翻”过挡板就基本都从出料孔出去了，也是为了更好地保证蒸镀料在坩埚本体内的分布均一。挡板上出料口的设置可以根据蒸镀料的粗细及摩擦系数决定是否设置以及出料口的大小及多少，也是为了更好地保证蒸镀料在坩埚本体内的分布均一，使得装填料在挡板处积聚到快到挡板顶时先从出料口流出一部分装填料到下一个挡板处。附图说明图1是本技术无需移动装填蒸镀料的坩埚的示意图；图2是图1去除盖板后的示意图；图3是图2中装填槽的示意图。图中：1、坩埚本体；2、盖板；3、出气孔；4、装填孔；5、槽底板；6、挡板；7、槽侧板；8、出料孔；9、出料槽；10、出料口。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。如图1至图3所示(为便于图示，图2仅示出了部分出料槽)，本技术是无需移动装填蒸镀料的坩埚，包括坩埚本体1以及固定设置在坩埚本体1底壁上的用于蒸镀料装填的各向装填机构，各向装填机构其装填面呈与水平面倾斜设置，倾角范围为15°～45°。坩埚本体1呈矩形槽状，坩埚本体1上方设有与坩埚本体1一体成型的盖板2，盖板2上设有出气孔3及一个装填孔4；所述各向装填机构包括一个与坩埚本体1底壁倾斜设置的装填槽，装填槽的槽底板5与水平面倾角范围为15°～45°，槽底板5上等距设置若干个挡板6，挡板6的高度低于装填槽槽侧板7的高度，槽侧板7上设置若干个出料孔8，出料孔8的高度低于挡板6的高度，槽侧板7一侧设置倾斜的出料槽9，出料槽9的上槽口位于出料孔8处且槽口大于出料孔8、下槽口与坩埚本体1底壁相连，出料槽9用于装填槽分支方向的出料使得装填时蒸镀料在坩埚主本体内分布均一。装填槽的槽底板5与水平面倾角为30°；挡板6垂直于槽底板5设置，出料孔8的间距满足越靠近较低的挡板6则间距越大，出料槽9的蒸镀料其出料方向与装填槽的蒸镀料其进料本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.无需移动装填蒸镀料的坩埚，其特征在于，包括坩埚本体以及固定设置在坩埚本体底壁上的用于蒸镀料装填的各向装填机构，各向装填机构其装填面呈与水平面倾斜设置，倾角范围为15°～45°。

【技术特征摘要】
1.无需移动装填蒸镀料的坩埚，其特征在于，包括坩埚本体以及固定设置在坩埚本体底壁上的用于蒸镀料装填的各向装填机构，各向装填机构其装填面呈与水平面倾斜设置，倾角范围为15°～45°。2.根据权利要求1所述的无需移动装填蒸镀料的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体呈矩形槽状，坩埚本体上方设有与坩埚本体一体成型的盖板，盖板上设有出气孔及一个装填孔；所述各向装填机构包括一个与坩埚本体底壁倾斜设置的装填槽，装填槽的槽底板与水平面倾角范围为15°～45°，槽底板上等距设置若干个挡板，挡板的高度低于装填槽槽侧板的高度，槽侧板上设置若干个出料孔，出料孔的高度低于挡板的高度，槽侧板一侧设置倾斜...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿建强，瞿一涛，黄仕强，陆彬锋，
申请(专利权)人：江阴市光科真空机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32