防爆冲的蒸镀坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了防爆冲的蒸镀坩埚，包括坩埚底和管状的坩埚体，坩埚底与坩埚体一体成型、材质相同，坩埚底的各处厚度一致，坩埚体的厚度由底至顶逐渐减小，坩埚体的最大厚度小于等于坩埚底的厚度。本实用新型专利技术解决了蒸镀坩埚在加热初期及加热中后期的防爆冲问题，并且可以根据实际加热的蒸镀料及蒸镀坩埚的材质综合考虑后选择最适合的方案以兼顾加工的便利、防爆冲效果及成本的最低，且适用性广。

【技术实现步骤摘要】
防爆冲的蒸镀坩埚
本技术涉及防爆冲的蒸镀坩埚。
技术介绍
OLED，即有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode)，又称为有机电激光显示(OrganicElectroluminesenceDisplay，OLED)。因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；其中，在OLED的制作流程中，真空镀膜工艺是OLED制作流程中一个很重要的工艺，真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜。因为它是关系到OLED的品质高低及寿命长短的最重要因素之一，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。而在蒸镀中蒸镀坩埚是应用得较多的一个设备，但目前的蒸镀坩埚如果采用金属材质，导热性好但容易造成蒸镀料的爆冲，爆冲后的蒸镀料在坩埚开口聚集导致封口，而若采用非金属材质如石英坩埚或氧化铝坩埚，则导热性不佳，坩埚开口处温度较低，蒸镀料蒸发或升华后到达坩埚开口处时又由于温度低重新凝华或固化而堵塞开口，坩埚开口处一旦封口，便不得不破坏真空，将坩埚开口处的材料清理之后再重新建立真空，该过程往往要耗费大量时间。这不但影响蒸镀薄膜的质量，而且也降低的生产效率。
技术实现思路
本技术的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供防爆冲的蒸镀坩埚，不仅解决了蒸镀坩埚在加热中后期的防爆冲问题，还解决了加热初期的防爆冲问题且不影响传热时间，缩短加热时间，并且可以根据实际加热的蒸镀料及蒸镀坩埚的材质综合考虑后选择最适合的方案以兼顾加工的便利、防爆冲效果及成本的最低，且适用性广。为实现上述目的，本技术的技术方案是设计防爆冲的蒸镀坩埚，包括坩埚底和管状的坩埚体，坩埚底与坩埚体一体成型、材质相同，坩埚底的各处厚度一致，坩埚体的厚度由底至顶逐渐减小，坩埚体的最大厚度小于等于坩埚底的厚度。这样解决了加热初期的防爆冲问题，而且采用相同材质即可，制作加工简便、成本低廉、结构简单，由于坩埚底的厚度较大，而坩埚体的厚度较小，在加热初期的导热过程中，热量并未迅速地传递至蒸镀料(蒸镀料都是放置在坩埚底上)上，这样采用极其简单的技术方案即可以避免加热初期的爆冲现象(这里的技术方案是针对导热性好的金属材质坩埚如钛坩埚、铜坩埚、铝坩埚等)。进一步的技术方案是，坩埚底呈板状，坩埚体呈圆管状或方管状；坩埚底其顶面固定设置阻热部，阻热部的导热系数小于坩埚底的导热系数；阻热部为若干个阻热凸点或阻热块或阻热条。这样还解决了加热中后期的防爆冲问题，并且通过简单的粘接方式将阻热部固定在坩埚底，使得坩埚底整体的导热系数相对于坩埚体要小，但坩埚体的导热却仍然很好，充分避免爆冲及蒸镀料在坩埚口的积聚，避免了封口。进一步的技术方案是，坩埚体的内壁固定设置导热部，或坩埚体内设置导热部，导热部的导热系数大于坩埚体的导热系数，导热部为若干个导热块或导热条。这样使得坩埚体整体的导热系数大于坩埚底，加强坩埚体的导热性能，避免蒸发后蒸镀料由于开口处坩埚体的温度低而凝华或凝固在坩埚口而导致封口的问题。进一步的技术方案为，坩埚底中设置若干个底部阻热孔，底部阻热孔在坩埚底中均匀布置。由于阻热孔的设置，孔中储有导热能力很差的空气，所以使得坩埚底整体的导热系数下降，能够防止加热中后期的爆冲。进一步的技术方案为，坩埚底中设置若干个阻热件，阻热件为若干个阻热块或阻热条，阻热件的导热系数小于坩埚底的导热系数。这样能够将坩埚底的整体导热系数下降更多，不过加工成本略高、加工难易程度上升。进一步的技术方案为，坩埚体中设置若干个体部阻热孔，体部阻热孔的大小小于底部阻热孔的大小。这种设置是针对导热性能极佳的一些金属坩埚，一般不需要那么高的导热系数所作的一些调整以更好地适应实际蒸镀的需求，同时为兼顾防爆冲的效果，使得体部阻热孔的大小小于底部阻热孔的大小。本技术的优点和有益效果在于：不仅解决了蒸镀坩埚在加热中后期的防爆冲问题，还解决了加热初期的防爆冲问题且不影响传热时间，缩短加热时间，并且可以根据实际加热的蒸镀料及蒸镀坩埚的材质综合考虑后选择最适合的方案以兼顾加工的便利、防爆冲效果及成本的最低，且适用性广；解决了加热初期的防爆冲问题，而且采用相同材质即可，制作加工简便、成本低廉、结构简单，由于坩埚底的厚度较大，而坩埚体的厚度较小，在加热初期的导热过程中，热量并未迅速地传递至蒸镀料(蒸镀料都是放置在坩埚底上)上，这样采用极其简单的技术方案即可以避免加热初期的爆冲现象；还解决了加热中后期的防爆冲问题，并且通过简单的粘接方式将阻热部固定在坩埚底，使得坩埚底整体的导热系数相对于坩埚体要小，但坩埚体的导热却仍然很好，充分避免爆冲及蒸镀料在坩埚口的积聚，避免了封口；坩埚体内设置导热部使得坩埚体整体的导热系数大于坩埚底，加强坩埚体的导热性能，避免蒸发后蒸镀料由于开口处坩埚体的温度低而凝华或凝固在坩埚口而导致封口的问题；由于阻热孔的设置，孔中储有导热能力很差的空气，所以使得坩埚底整体的导热系数下降，能够防止加热中后期的爆冲；坩埚底中设置若干个阻热件能够将坩埚底的整体导热系数下降更多，不过加工成本略高、加工难易程度上升；坩埚体中设置若干个体部阻热孔。这种设置是针对导热性能极佳的一些金属坩埚，一般不需要那么高的导热系数所作的一些调整以更好地适应实际蒸镀的需求，同时为兼顾防爆冲的效果，使得体部阻热孔的大小小于底部阻热孔的大小。附图说明图1是本技术防爆冲的蒸镀坩埚实施例一的示意图；图2是本技术实施例二的示意图；图3是本技术实施例三的示意图；图4是本技术实施例四的示意图；图5是本技术实施例五的示意图。图中：1、坩埚底；2、坩埚体；3、阻热部；4、导热部；5、底部阻热孔；6、阻热件；7、体部阻热孔。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。实施例一：如图1所示，本技术是防爆冲的蒸镀坩埚，包括坩埚底1和管状的坩埚体2，坩埚底1与坩埚体2一体成型、材质相同，坩埚底1的各处厚度一致，坩埚体2的厚度由底至顶逐渐减小，坩埚体2的最大厚度小于等于坩埚底1的厚度；坩埚底1呈板状，坩埚体2呈圆管状；坩埚底1其顶面固定设置阻热部3，阻热部3的导热系数小于坩埚底1的导热系数；阻热部3为若干个阻热凸点。实施例二：与实施例一的不同在于，如图2所示，阻热部3为若干个阻热块或阻热条。实施例三：与实施例一的不同在于，如图3所示，坩埚体2内设置导热部4，导热部4的导热系数大于坩埚体2的导热系数，导热部4为若干个导热块或导热条。实施例四：与实施例一的不同在于，如图4所示，坩埚底1中设置若干个底部阻热孔5，底部阻热孔5在坩埚底1中均匀布置。坩埚体2中设置若干个体部阻热孔7，体部阻热孔7的大小小于底部阻热孔5的大小。实施例五：与实施例一的不同在于，如图5所示，坩埚底1中设置若干个阻本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.防爆冲的蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚底和管状的坩埚体，坩埚底与坩埚体一体成型、材质相同，坩埚底的各处厚度一致，坩埚体的厚度由底至顶逐渐减小，坩埚体的最大厚度小于等于坩埚底的厚度；所述坩埚底呈板状，坩埚体呈圆管状或方管状；坩埚底其顶面固定设置阻热部，阻热部的导热系数小于坩埚底的导热系数；阻热部为若干个阻热凸点或阻热块或阻热条；所述坩埚体的内壁固定设置导热部，或坩埚体内设置导热部，导热部的导热系数大于坩埚体的导热系数，导热部为若干个导热块或导热条；所述坩埚底中设置若干个底部阻热孔，底部阻热孔在坩埚底中均匀布置；或所述坩埚底中设置若干个阻热件，阻热件为若干个阻热块或阻热条，阻热件的导热系数小于坩埚底的导热系数；所述坩埚体中设置若干个体部阻热孔，体部阻热孔的大小小于底部阻热孔的大小。

【技术特征摘要】
1.防爆冲的蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚底和管状的坩埚体，坩埚底与坩埚体一体成型、材质相同，坩埚底的各处厚度一致，坩埚体的厚度由底至顶逐渐减小，坩埚体的最大厚度小于等于坩埚底的厚度；所述坩埚底呈板状，坩埚体呈圆管状或方管状；坩埚底其顶面固定设置阻热部，阻热部的导热系数小于坩埚底的导热系数；阻热部为若干个阻热凸点或阻热块或阻热条；所述坩埚体的...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿建强，瞿一涛，黄仕强，陆彬锋，
申请(专利权)人：江阴市光科真空机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32