蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备制造方法及图纸

本公开提供一种蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备。所述蒸镀坩埚包括埚体和多个隔板。所述埚体具有容置腔，所述容置腔具有开放端。多个所述隔板可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。通过用隔板将容置腔分隔为多个容置空间，进而使存在于容置腔中的液体被收容于多个容置空间，而单个容置空间内的液体质量轻，惯性小，从而降低了液体重心的偏移程度，减弱了液体的震荡幅度；同时，由于隔板可拆卸地设于埚体的容置腔中，从而能够方便调节隔板的数量，提高使用灵活性。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备
本公开涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备。
技术介绍
随着显示技术的发展，具有更快反应速度和更高对比度的有机发光二极管显示器件的用途愈加广泛，且其制作工艺也越来越引起了人们的重视。其中，蒸镀是一种比较成熟的制作有机发光二极管显示器件的工艺，且已经运用于量产。在蒸镀过程中，常常需要移动坩埚，以使坩埚中的液体可以沉积在不同的基板上。但是，在移动坩埚的过程中，容纳于蒸镀坩埚中的液体会发生震荡，进而对蒸镀速率的稳定性和镀膜的均一性造成影响。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备，能够减弱液体的震荡幅度，还能够提高使用灵活性。根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀坩埚。所述蒸镀坩埚包括埚体和多个隔板。所述埚体具有容置腔，所述容置腔具有开放端。多个所述隔板可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。在本公开的一种示例性实施例中，所述埚体包括底壁和两端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：埚体，具有容置腔，所述容置腔具有开放端；多个隔板，可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：埚体，具有容置腔，所述容置腔具有开放端；多个隔板，可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述埚体包括底壁和两端开放的筒状侧壁，所述底壁与所述筒状侧壁的一端连接以形成所述容置腔，多个所述隔板均与所述筒状侧壁和所述底壁接触。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述隔板均与所述筒状侧壁的内表面滑动连接。4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述筒状侧壁的内表面设有多个滑槽，多个所述隔板一一对应地与多个所述滑槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘辉强，冯永山，钟纪奇，尹麒杰，毛埼帆，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，绵阳京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11