蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备制造方法及图纸

本公开提供一种蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备。所述蒸镀坩埚包括埚体和多个隔板。所述埚体具有容置腔，所述容置腔具有开放端。多个所述隔板可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。通过用隔板将容置腔分隔为多个容置空间，进而使存在于容置腔中的液体被收容于多个容置空间，而单个容置空间内的液体质量轻，惯性小，从而降低了液体重心的偏移程度，减弱了液体的震荡幅度；同时，由于隔板可拆卸地设于埚体的容置腔中，从而能够方便调节隔板的数量，提高使用灵活性。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备
本公开涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备。
技术介绍
随着显示技术的发展，具有更快反应速度和更高对比度的有机发光二极管显示器件的用途愈加广泛，且其制作工艺也越来越引起了人们的重视。其中，蒸镀是一种比较成熟的制作有机发光二极管显示器件的工艺，且已经运用于量产。在蒸镀过程中，常常需要移动坩埚，以使坩埚中的液体可以沉积在不同的基板上。但是，在移动坩埚的过程中，容纳于蒸镀坩埚中的液体会发生震荡，进而对蒸镀速率的稳定性和镀膜的均一性造成影响。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备，能够减弱液体的震荡幅度，还能够提高使用灵活性。根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀坩埚。所述蒸镀坩埚包括埚体和多个隔板。所述埚体具有容置腔，所述容置腔具有开放端。多个所述隔板可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。在本公开的一种示例性实施例中，所述埚体包括底壁和两端开放的筒状侧壁，所述底壁与所述筒状侧壁的一端连接以形成所述容置腔，多个所述隔板均与所述筒状侧壁和所述底壁接触。在本公开的一种示例性实施例中，多个所述隔板均与所述筒状侧壁的内表面滑动连接。在本公开的一种示例性实施例中，所述筒状侧壁的内表面设有多个滑槽，多个所述隔板能够一一对应地与多个所述滑槽滑动配合。在本公开的一种示例性实施例中，所述筒状侧壁的内表面设有多个凸棱，多个所述滑槽一一对应地形成于多个所述凸棱。在本公开的一种示例性实施例中，每个所述隔板设有通道。在本公开的一种示例性实施例中，相邻的所述隔板上的所述通道在预设方向上错开设置。在本公开的一种示例性实施例中，所述隔板靠近所述底壁的边缘具有缺口，所述通道由所述缺口和所述底壁围设而成。根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀源装置，包括上述任一项所述的蒸镀坩埚。根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀设备，包括上述的蒸镀源装置。本公开相比现有技术的有益效果在于：一方面，通过用隔板将容置腔分隔为多个容置空间，进而使存在于容置腔中的液体被收容于多个容置空间，而单个容置空间内的液体质量轻，惯性小，从而降低了液体重心的偏移程度，减弱了液体的震荡幅度；另一方面，由于隔板可拆卸地设于埚体的容置腔中，从而能够方便调节隔板的数量，提高使用灵活性。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。附图说明通过参照附图来详细描述其示例性实施例，本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为相关技术中蒸镀坩埚的示意图；图2为相关技术中蒸镀坩埚的工作示意图；图3为本公开实施方式中蒸镀坩埚的示意图；图4为图3中蒸镀坩埚的俯视图；图5为图4的A-A剖视图；图6为图4所示的B处放大图；图7为图6的分解示意图；图8为本公开实施方式中隔板和底壁的示意图。图中：1、第一位置；2、第二位置；3、第一基板；4、第二基板；5、埚体；501、筒状侧壁；502、底壁；6、隔板；7、凸棱；8、通道；9、滑槽。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本公开将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法等。在其它情况下，不详细示出或描述公知技术方案以避免模糊本公开的各方面。用语“一”、“该”和“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。如图1和图2所示，在相关的制备有机发光二极管显示器件的工艺中，需要对第一基板3和第二基板4进行镀膜。因此，需要蒸镀坩埚在第一位置1和第二位置2间移动。但是，蒸镀坩埚在加速及减速过程中，蒸镀坩埚中的液体的重心会发生偏移，从而导致液体发生震荡、飞溅，进而对蒸镀速率的稳定性和镀膜的均一性造成影响。为了解决上述问题，本公开实施方式提供一种蒸镀坩埚。如图3至图5所示，该蒸镀坩埚可以包括埚体5和多个隔板6。其中：埚体5可以具有容置腔。该容置腔可以具有开放端。多个隔板6可拆卸地设于容置腔中，并可以沿预设方向分布，以将容置腔分隔为多个容置空间。本公开实施方式的蒸镀坩埚通过用隔板6将容置腔分隔为多个容置空间，进而使存在于容置腔中的液体被收容于多个容置空间，而单个容置空间内的液体质量轻，惯性小，从而降低了液体重心的偏移程度，减弱了液体的震荡幅度，降低了液体震荡对蒸镀速率和镀膜均一性的影响。同时，由于隔板6可拆卸地设于埚体5的容置腔中，从而能够方便调节隔板6的数量，提高使用灵活性。下面对本公开实施方式的蒸镀坩埚的各部分进行详细说明：如图3至图5所示，埚体5可以包括筒状侧壁501和底壁502。该筒状侧壁501的两端可以为开放端，且一个开放端可以与底壁502连接，以形成容置腔。其中：该筒状侧壁501可以由耐高温材料制备而成，以延长筒状侧壁501在高温蒸镀环境下的工作寿命。该耐高温材料可以为石墨或氮化硼，但不以此为限，还可以为白金等其它材料。该筒状侧壁501的横截面可以为矩形，当然，该横截面还可以为圆形、梯形等，在此不再一一列举。此外，本公开实施方式对筒状侧壁501的壁厚不做特殊限定。该底壁502也可以由耐高温材料制备而成。该底壁502可以与筒状侧壁501的材料相同，也可以不同。举例而言，该底壁502的材料为氮化硼。该底壁502的形状可以与筒状侧壁501的横截面的形状一致，其尺寸可等于或大于筒状侧壁501的横截面的尺寸，以使筒状侧壁501的横截面在底壁502上的正投影不伸出底壁502的边缘。容置腔由筒状侧壁501与底壁502围设而成，可用于容纳液体。其中，容置腔的内壁可以设有不沾涂层，方便操作人员在蒸镀完成后对容置腔的内壁进行清洁，避免不同的蒸镀材料互相污染，影响蒸镀膜的质量。其中，该不沾涂层可以为聚四氟乙烯涂层，但不以此为限，还可以为陶瓷涂层等。筒状侧壁501的开放端与底壁502可以密封连接，以避免容置腔中的液体漏液。例如，该筒状侧壁501的开放端与底壁502的连接面之间涂有耐高温密封胶。当然，该筒状侧壁501的开放端与底壁502还可以通过焊接等其它方式实现密封连接。在本公开其它实施方式中，该筒状侧壁501还可以与底壁502一体成型，在此不对其一体成型方式做特殊限定。如图3至图5所示，隔板6可设于容置腔中，以将容置腔分隔为多个容置空间。隔板6可以由石墨或磷化硅制备而成，以使其具有良好的耐高温性能，当然，隔板6还可以由碳化硼或氮化硅等其它具有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：埚体，具有容置腔，所述容置腔具有开放端；多个隔板，可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：埚体，具有容置腔，所述容置腔具有开放端；多个隔板，可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述埚体包括底壁和两端开放的筒状侧壁，所述底壁与所述筒状侧壁的一端连接以形成所述容置腔，多个所述隔板均与所述筒状侧壁和所述底壁接触。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述隔板均与所述筒状侧壁的内表面滑动连接。4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述筒状侧壁的内表面设有多个滑槽，多个所述隔板一一对应地与多个所述滑槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘辉强，冯永山，钟纪奇，尹麒杰，毛埼帆，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，绵阳京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11