下载蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备的技术资料

文档序号:19876301

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本公开提供一种蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备。所述蒸镀坩埚包括埚体和多个隔板。所述埚体具有容置腔,所述容置腔具有开放端。多个所述隔板可拆卸地设于所述容置腔中,并沿预设方向分布,以将所述容置腔分隔为多个容置空间。通过用隔板将容置腔分隔为多个容...
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