【技术实现步骤摘要】
半导体芯片重测系统及其重测方法
本专利技术是有关于一种半导体芯片测试系统及方法,特别是有关于一种半导体芯片重测系统及方法。
技术介绍
近年来,随着高科技产品的需求量持续增长,半导体芯片的产量也随之大幅增加,为了因应产量的需求,除了半导体芯片在制程技术与流程上有所精进之外,半导体芯片在产出后成品测试技术也为业界所关注的一大重点,其中,如何达到增进生产效率以及降低人工处理所导致的错误是为半导体测试技术的主要重点。传统的半导体芯片测试方式,是将待测半导体芯片加载测试装置的待测区,并利用机械取放手臂依序将待测的半导体芯片置入其中一个测试区进行第一次测试,而已测试的半导体芯片会依据其测试结果分别置入测试通过区与测试异常区。当全部的待测半导体芯片已完成第一次测试时,产线人员会将测试异常区的半导体芯片进行第一次清机点量,并再将测试异常区的半导体芯片放置于非第一次测试的测试区进行第一次重测。当第一次重测的半导体芯片仍为异常时,再度将第一次重测的异常半导体芯片置入异常区,产线人员再次将异常区的半导体芯片作第二次清机点量,并再次将测试异常区的半导体芯片放置于非第一次重测的测试区进行第二次重测。如上述步骤一直反复执行,直到测试异常区的半导体芯片的重测次数到达客户对于半导体芯片所要求的产品规格所容许的测试次数,若经多次重测后的半导体芯片仍为测试异常,则判定此半导体芯片确实为异常。如上述可知,在进行半导体芯片测试时,重测的过程是不可避免的,但经由上述的重测方式必定需要数次的人工清机点量,并且再以人工方式放置于测试区进行重测,如此一来,由于人工清机点量容易造成计算错误,也需多花费人工 ...
【技术保护点】
一种半导体芯片重测方法,包括下列步骤:设定一半导体芯片的一最终重测次数,其包含设定该半导体芯片的一初始测试的一初始测试次数的一最大值以及一重新测试的一重新测试次数的一最大值;将该半导体芯片传送至一第一测试站,以进行该半导体芯片的该初始测试;判断该半导体芯片的该初始测试是否通过;计算未通过该初始测试的该半导体芯片的该初始测试次数是否已达该初始测试次数的该最大值;当未通过该初始测试的该半导体芯片的该初始测试次数,经计算已达该初始测试次数的该最大值时,将该半导体芯片置放于一第二测试站,以进行该半导体芯片的该重新测试,该第二测试站不同于该第一测试站;判断该半导体芯片的该重新测试是否通过;计算未通过该重新测试的该半导体芯片的该重新测试次数是否已达该重新测试次数的该最大值;以及将经过该初始测试及该重新测试的该半导体芯片进行分类。
【技术特征摘要】
2013.11.05 TW 1021401101.一种半导体芯片重测方法,包括下列步骤:设定一半导体芯片的一最终重测次数,其包含设定该半导体芯片的一初始测试的一初始测试次数的一最大值以及一重新测试的一重新测试次数的一最大值;将该半导体芯片传送至一第一测试站,以进行该半导体芯片的该初始测试;判断该半导体芯片的该初始测试是否通过;计算未通过该初始测试的该半导体芯片的该初始测试次数是否已达该初始测试次数的该最大值;当未通过该初始测试的该半导体芯片的该初始测试次数,经计算已达该初始测试次数的该最大值时,将该半导体芯片置放于一第二测试站,以进行该半导体芯片的该重新测试,该第二测试站不同于该第一测试站;判断该半导体芯片的该重新测试是否通过;计算未通过该重新测试的该半导体芯片的该重新测试次数是否已达该重新测试次数的该最大值;以及将经过该初始测试及该重新测试的该半导体芯片进行分类;其中,所述该初始测试次数的该最大值与该重新测试次数的该最大值相等于该半导体芯片规格所容许的该初始测试次数与该重新测试次数。2.依据权利要求1所述的半导体芯片重测方法,其中该第二测试站相邻于该第一测试站。3.依据权利要求1所述的半导体芯片重测方法,还包含下列步骤:配给一虚拟编号予该半导体芯片,该虚拟编号用以追踪该半导体芯片的测试历程。4.依据权利要求3所述的半导体芯片重测方法,还包含下列步骤:当该半导体芯片已完成测试后,产出一测试结果报表,该测试结果报表记载有已测试完成的该半导体芯片的该虚拟编号以及对应于该第一测试站及该第二测试站的测试次数以及测试结果。5.一种半导体芯片重测方法,包括下列步骤:设定一半导体芯片的一最终重测次数,其包含设定该半导体芯片的一初始测试的一初始测试次数的一最大值以及一重新测试的一重新测试次数的一最大值;将该半导体芯片传送至一第一测试站进行该半导体芯片的该初始测试;判断该半导体芯片的该初始测试是否通过;计算未通过该初始测试的该半导体芯片的该初始测试次数,已达该初始测试次数的该最大值时,将该半导体芯片搬移至一暂存区;将放置于该暂存区的该半导体芯片搬移至一第二测试站,以进行该半导体芯片的该重新测试,该第二测试站不同于该第一测试站;判断该半导体芯片的该重新测试是否通过;计算未通过该重新测试的该半导体芯片该重新测试次数是否已达该重新测试次数的该最大值;以及将经过该初始测试及该重新测试的该半导体芯片进行分类;其中,所述该初始测试次数的该最大值与该重新测试次数的该最大值相等于该半导体芯片规格所容许的该初始测试次数与该重新测试次数。6.依据权利要求5所述的半导体芯片重测方法,还包含下列步骤:配给一虚拟编号予该半导体芯片,该虚拟编号用以追踪该半导体芯片的测试历程。7.依据权利要求6所述的半导体芯片重测方法,还包含下列步骤:当该半导体芯片已完成测试后,产出一测试结果报表,该测试结果报表记载有已测试完成的该半导体芯片的该虚拟编号,以及对应于该第一测试站及该第二测试站的测试次数以及测试结果。8.一种半导体芯片重测系统,其包含一控制装置与一测试装置,该控制装置与该测试装置电性连接,该控制装置具有一输入单元、一测试控制单元以及一执行单元,该测试装置具有一测试机与一分类机,该测试机与该分类机电性连接,该分类机包括一机械取放手臂、一第一测试站及一第二测试站、至少一待测区、至少一测试通过区以及至少一测试异常区,该半导体芯片重测系统的特征在于:该控制装置的该输入...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓君仪,张光铭,
申请(专利权)人:京元电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾;71
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