用于机器的处理站以及控制装置和控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了用于机器（1）的处理站（3、4）以及控制装置（5）和控制方法。处理站（3、4）包括用于操作负载（72）的机器人（100、110），负载（72）被载体（70、80、90）传送，载体（70、80、90）能够通过磁力在传送系统（2）的特定传送方向上运动，其中，机器人（100、110）能够由控制单元（6）控制，以在与传送系统的特定传送方向不同的运动方向上运动，以操作负载（72），并且其中，用于传送负载（72）的特定传送方向和机器人（100、110）的运动方向被叠加，以在处理站（3、4）中操作负载（72），以消除机器人（100、110）在传送系统（2）的传送方向上运动的需要。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于机器的处理站，以及用于控制机器的处理中的运动的控制装置和控制方法，其中，尤其有可能消除抓放机器人在传送系统的传送方向上运动的需要。
技术介绍
在用于生产物件的机器中，传送系统用于传送部件、工具等到机器的不同站点，所述部件、工具等可用于物件的生产。例如，这样的机器在US4,096,821中被描述，其公开了用于在基片上制造薄膜电子器件的系统。在这种机器中，通常传送系统包括传送带，以相同速度一个一个地传送基片到处理站。在处理站中，基片被从带上取下，这由在X、Y、Z和Θ方向运动的机器人处理，并且基片随后被放回到传送带上。于是，基片在处理站中静止不动，使得机器人可以在基片上拿取和放置物品。在那之后，所有基片随着传送带以相同速度被传送至下一个处理站。基片的这种操作需要许多操作步骤，因此是耗时的。结果，处理成本增加。此外，由于能够在X、Y、Z和Θ方向运动的机器人是昂贵的，导致了机器本身的高成本。这也带来了机器的处理成本的增加。
技术实现思路
因此本专利技术的目标是提供用于机器的处理站，以及用于控制机器的处理中的运动的控制装置和本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于机器（1）的处理站（3、4），包括机器人（100、110），所述机器人（100、110）用于拿取和放置或操作负载（72），所述负载（72）被载体（70、80、90）传送，所述载体（70、80、90）能够通过磁力在传送系统（2）的特定传送方向上运动并被驱动装置（50）驱动，所述驱动装置（50）由第一控制单元（6）控制，其中，所述机器人（100、110）能够由第二控制单元（7）控制，以在与所述传送系统的所述特定传送方向不同的运动方向上运动，以便拿取和放置或操作所述负载（72），并且其中，用于传送所述负载（72）的所述特定传送方向和所述机器人（100、110）的所述运动方向被叠加，以在所述处理站...

【技术特征摘要】
2013.08.22 EP 13181317.21.用于机器（1）的处理站（3、4），包括机器人（100、110），所述机器人（100、110）用于拿取和放置或操作负载（72），所述负载（72）被载体（70、80、90）传送，所述载体（70、80、90）能够通过磁力在传送系统（2）的特定传送方向上运动并被驱动装置（50）驱动，所述驱动装置（50）由第一控制单元（6）控制，其中，所述机器人（100、110）能够由第二控制单元（7）控制，以在与所述传送系统的所述特定传送方向不同的运动方向上运动，以便拿取和放置或操作所述负载（72），并且其中，用于传送所述负载（72）的所述特定传送方向和所述机器人（100、110）的所述运动方向被叠加，以在所述处理站（3、4）中操作或拿取和放置所述负载（72），以消除所述机器人（100、110）在所述传送系统（2）的所述传送方向上运动的需要，由此，通过将所述第一控制单元（6）的控制适应或耦合到由所述第二控制单元（7）控制的运动，用于在所述特定传送方向上传送所述负载（72）的控制和用于在所述运动方向上移动所述机器人（100、110）的控制是同步的，以便操作或拿取和放置所述负载（72）。
2.根据权利要求1所述的处理站（3、4），其中，所述处理站（3、4）包括多于一个机器人（100、110）。
3.根据权利要求1至2中任何一个所述的处理站（3、4），其中，所述处理站（3、4）被用在对于操作所述负载（72）而言需要高达约1 μm的定位精度的处理中。
4.根据权利要求1至3中任何一个所述的处理站（3、4），其中，所述处理站（3、4）是用于生产半导体元件的处理站。
5.机器（1），包括根据前述任何一个权利要求所述的至少一个处理站（3、4）并包括传送系统（2），所述传送系统（2）用于通过磁力在特定传送方向上传送至少一个载体（70、80、90），所述载体（70、80、90）被用作在所述机器（1）中传送将要被操作的负载（72），其中，所述传送系统（2）被布置为传送所述负载（72）到和/或离开所述至少一个处理站（3、4）。
6.根据权利要求5所述的机器（1），还包括第一控制单元（6）和第二控制单元（7），所述第一控制单元（6）用于控制所述载体（70、80、90）以通过磁力在特定传送方向上运动，所述第二控制单元（7）用于控制所述机器人（100）以在与所述传送系统（2）的所述特定传送方向不同的运动方向上运动以操作所述负载（72）。
7.根据权利要求5或6所述的机器（1），其中，所述传送系统（2）被配置为传送作为所述负载（72）的基片，并且所述一个或多个机器人（100、110）被配置为添加物品（113）到所述基片。
8.控制装置（5），用于控制机器（1）的处理中的运动，包括第一控制单元（6）和第二控制单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：M哈林，R希布斯，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE