贴合设备的制造装置及贴合设备的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种贴合设备的制造装置及贴合设备的制造方法。即使第一基板在真空环境中膨胀，也可压扁膨胀部而与第二基板的相对位置不偏移地贴合。第一基板(1)保持于腔室(14)内的第一保持部件(11)且第二基板(2)保持于第二保持部件(12)后，将腔室的内部空间减压至规定的真空度。即使第一基板随着该减压而沿厚度方向即Z方向突出变形，也由于其膨胀部进入到空间部，因此第一基板不会相对于第一保持部件局部浮起而整体倾斜。在该减压状态下驱动机构的按压部通过空间部且沿厚度方向与第一基板的膨胀部抵接，且以膨胀部压缩变形的方式隔着粘结剂及第二基板朝向第二保持部件沿厚度方向平行地按压，由此压扁膨胀部使第一基板与第二基板隔着粘结剂被均匀地加压并贴合。

【技术实现步骤摘要】
贴合设备的制造装置及贴合设备的制造方法
本专利技术涉及一种相对于例如液晶显示器(LCD)、有机EL显示器(OLED)、等离子显示器(PDP)、可挠性显示器等平板显示器(FPD)或例如如触控面板式FPD或3D(3维)显示器或电子书籍等液晶模块(LCM)或可挠性印刷电路板(FPC)等基板，贴合触控面板、盖玻片、覆盖膜或FPD等另一个基板的贴合设备的制造装置、及贴合设备的制造方法。
技术介绍
以往，作为这种贴合设备的制造方法，有如下电气光学装置的制造方法：在真空气氛中，将液晶面板和局部涂(涂布)有粘结剂(紫外线固化性环氧树脂)的盖玻片以对位的状态挤压，由此，带状的粘结剂部扩散到液晶面板与盖玻片之间而成为粘结剂层，并且，通过其粘着性来使液晶面板侧与盖玻片侧粘附。之后，进行液晶面板及盖玻片的第1对准处理并进行临时粘结工序后，进行第2对准处理(对位处理)，最后进行正式固化处理(正式粘结工序)来将液晶面板与盖玻片正式粘结(例如参考专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利公开2009-230039号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题然而，如图5(a)所示，包含多个构成部件的液晶面板等第一基板1为多个构成部件一体组装的结构体，在其制造阶段，大量空气进入到结构体的内部而成为被封入的状态。因此，如图5(b)所示，若将液晶面板等第一基板1与盖玻片等第二基板2为了真空贴合而搬入到真空腔室14′内，并将第一基板1保持于下保持部件11′且将第二基板2保持于上保持部件12′后，将真空腔室14′的内部减压至规定的真空度，则封入于结构体内部的空气因内外的压力差而膨胀变形，结构体中强度相对较弱的部位成为膨胀部1a并突出。若在第一基板1通过该膨胀部1a而相对于下保持部件11′整体倾斜的状态下，如图5(c)所示，下保持部件11′与上保持部件12′相对地沿厚度方向(Z方向)接近移动，并沿Z方向对第一基板1及第二基板2进行加压而使二者重叠，则通过倾斜，第一基板1沿与厚度方向交叉的横纵斜方向(XYθ方向)移动而在与第二基板2之间产生位置偏移，并导致以位置偏移的状态贴合。若第一基板1与第二基板2的位置精确度因位置偏移而下降，则会影响之后的产品组装性，存在成品率下降的问题。尤其，第二基板2为触控面板玻璃时，显示区域内的图像的显示位置和传感器的检测位置从设计位置偏移，因此无法发挥所期望的性能，存在成为次品的问题。而且，通过下保持部件11′及上保持部件12′，将已倾斜的第一基板1强制压向第二基板2时，相对于夹在下保持部件11′与上保持部件12′之间的粘结剂3的加压力变得不均，因此之后向大气开放后，存在粘结剂3中易混入气泡而成为成品率下降的原因的问题。因此，为了解决这种问题，考虑使真空腔室14′的减压速度非常缓慢，以免第一基板1因内外的压力差而膨胀变形。然而，这种情况下，真空腔室14′的内部达到规定的真空度为止需要大量时间，其结果，存在使产品的生产率下降而成本升高的问题。解决课题的技术方案本专利技术将解决这种问题作为课题，其目的在于提供一种即使第一基板在真空环境中膨胀也能够与第二基板不产生相对位置偏移地进行贴合的贴合设备的制造装置、及贴合设备的制造方法等。为了实现这种目的，基于本专利技术的贴合设备的制造装置，该贴合设备使包含多个构成部件的第一基板与覆盖该第一基板的第二基板隔着粘结剂沿厚度方向重叠，且沿与该厚度方向交叉的横纵斜方向相互对位并贴合，所述贴合设备的制造装置的特征在于，具备：第一保持部件，其设置成将所述第一基板装卸自如地保持；第二保持部件，其设置成将与所述第一保持部件之间隔着所述粘结剂而相向的所述第二基板装卸自如地保持；驱动机构，其设置成使所述第一保持部件和所述第二保持部件中的任一个朝向另一个接近移动、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相对接近移动；及开闭自如的腔室，其设置成将容纳有所述第一保持部件及所述第二保持部件的内部腔室从大气气氛减压至规定的真空度，所述第一保持部件具有空间部，在所述第一基板上随着所述腔室内的减压而沿所述厚度方向突出变形的膨胀部沿该厚度方向进入到所述空间部，所述驱动机构具有按压部，所述按压部以通过所述空间部且沿所述厚度方向与所述第一基板的所述膨胀部抵接，并且使该膨胀部压缩变形的方式隔着所述粘结剂及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按压。并且，基于本专利技术的贴合设备的制造方法，该贴合设备使包含多个构成部件的第一基板与覆盖该第一基板的第二基板隔着粘结剂沿厚度方向重叠，且沿与该厚度方向交叉的横纵斜方向使所述第一基板与所述第二基板相对移动并相互对位后贴合，所述贴合设备的制造方法的特征在于，包括如下工序：保持工序，在具有空间部的第一保持部件上保持所述第一基板，且在第二保持部件上保持与所述第一保持部件之间隔着所述粘结剂相向的所述第二基板；减压工序，将容纳所述第一保持部件及所述第二保持部件的腔室的内部空间从大气气氛减压至规定的真空度；及驱动工序，通过驱动机构使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任一个朝向另一个接近移动、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相对接近移动，在所述保持工序中，使在所述第一基板上随着所述腔室内的减压而沿所述厚度方向突出变形的膨胀部沿该厚度方向进入到所述第一保持部件的所述空间部，在所述驱动工序中，所述驱动机构的按压部通过所述空间部而朝向所述第一基板的所述膨胀部沿所述厚度方向接近移动而抵接，且隔着所述粘结剂及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按压。专利技术效果具有前述特征的基于本专利技术的贴合设备的制造装置及贴合设备的制造方法在将第一基板保持于腔室内的第一保持部件并将第二基板保持于第二保持部件后，将腔室的内部空间减压至规定的真空度。即使第一基板随着该减压而沿厚度方向突出变形，也由于其膨胀部进入到空间部，因此第一基板不会相对于第一保持部件局部浮起而整体倾斜。在该减压状态下，驱动机构的按压部通过空间部而与第一基板的膨胀部沿厚度方向抵接，且以膨胀部压缩变形的方式隔着粘结剂及第二基板朝向第二保持部件沿厚度方向平行地按压，由此，压扁膨胀部而使第一基板与第二基板隔着粘结剂被均匀地加压并贴合。因此，即使第一基板在真空环境中膨胀，也能够压扁膨胀部而与第二基板相对位置不偏移地贴合。其结果，相比真空膨胀的液晶面板以倾斜的状态与盖玻片贴合的以往的贴合设备的制造装置及制造方法，第一基板与第二基板的对位能够维持在高精确度，且防止成品率下降。尤其，即使第二基板为触控面板玻璃，也由于显示区域内的图像的显示位置和传感器的检测位置不会从设计位置偏移，因此能够发挥所希望的性能，且能够减少次品的产生。而且，通过第一保持部件及第二保持部件，相对于夹在第一基板与第二基板之间的粘结剂的加压力均匀，因此之后向大气开放后粘结剂中也没有气泡混入，并且通过按压部，第一基板与第二基板隔着粘结剂均匀地被加压，因此即使在粘结剂的内部混入空气等气体或产生气体，也会将这些气体挤出而不会在面内残留气泡。由此，能够防止成品率的下降。并且，无需为了防止真空环境中的第一基板的膨胀而减慢腔室的减压速度，因此能够缩短腔室内部达到规定的真空度为止的时间，且不会降低产品的生产率而可实现成本的降低。附图说明图1是表示本发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种贴合设备的制造装置，该贴合设备使包含多个构成部件的第一基板与覆盖该第一基板的第二基板隔着粘结剂沿厚度方向重叠，且沿与该厚度方向交叉的横纵斜方向相互对位并贴合，所述贴合设备的制造装置的特征在于，具备：第一保持部件，其设置成将所述第一基板装卸自如地保持；第二保持部件，其设置成将与所述第一保持部件之间隔着所述粘结剂而相向的所述第二基板装卸自如地保持；驱动机构，其设置成使所述第一保持部件和所述第二保持部件中的任一个朝向另一个接近移动、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相对接近移动；及开闭自如的腔室，其设置成将容纳有所述第一保持部件及所述第二保持部件的内部腔室从大气气氛减压至规定的真空度，所述第一保持部件具有空间部，在所述第一基板上随着所述腔室内的减压而沿所述厚度方向突出变形的膨胀部沿该厚度方向进入到所述空间部，所述驱动机构具有按压部，所述按压部以通过所述空间部且沿所述厚度方向与所述第一基板的所述膨胀部抵接，并且使该膨胀部压缩变形的方式隔着所述粘结剂及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按压。

【技术特征摘要】
2013.08.13 JP 2013-1680241.一种贴合设备的制造装置，该贴合设备使包含多个构成部件的第一基板与覆盖该第一基板的第二基板隔着粘结剂沿厚度方向重叠，且沿与该厚度方向交叉的横纵斜方向相互对位并贴合，所述贴合设备的制造装置的特征在于，具备：第一保持部件，其设置成将所述第一基板装卸自如地保持；第二保持部件，其设置成将与所述第一保持部件之间隔着所述粘结剂而相向的所述第二基板装卸自如地保持；驱动机构，其设置成使所述第一保持部件和所述第二保持部件中的任一个朝向另一个接近移动、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相对接近移动；及开闭自如的腔室，其设置成将容纳有所述第一保持部件及所述第二保持部件的内部腔室从大气气氛减压至规定的真空度，所述第一保持部件具有空间部，在所述第一基板上随着所述腔室内的减压而沿所述厚度方向突出变形的膨胀部沿该厚度方向进入到所述空间部，所述驱动机构具有按压部，所述按压部以通过所述空间部且沿所述厚度方向与所述第一基板的所述膨胀部抵接，并且使该膨胀部压缩变形的方式隔着所述粘结剂及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按压。2.根据权利要求1所述的贴合设备的制造装置，其特征在于，所述第一保持部件具有将所述第一基板的外边部保持装卸自如地保持的框状部，在所述框状部的中央位置形成所述空间部，所述第一基板的所述膨胀部沿所述厚度方向进入到所述空间部。3.根据权利要求1或2所述的贴合设备的制造装置，其特征在于，所述驱动机构具有第一升降部，该第一升降部与所述按压部连续设置而使该按压部朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向接...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂下光邦，大谷义和，
申请(专利权)人：信越工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP