本发明专利技术提供一种微小结构物制造装置，其能够进行通过内压差的控制变更分离的凹凸部的接合、追加按压及被接合的凹凸部的分离的反向操作。上述微小结构物制造装置的特征在于，具备：变压室，其形成于腔室的内部并以进出自如的方式收容第一板状部件及第二板状部件；变动部，设置在收容于变压室的第一板状部件的第一非对置面与腔室的第一室内表面之间；保持部，设置在收容于变压室的第二板状部件的第二非对置面与腔室的第二室内表面之间；第一空间部，在腔室的第一室内表面和变动部之间与变压室分离而设置成气密状；室压调整部，使变压室或第一空间部中的任一者的内压比另一者的内压上升更多；及控制部，对室压调整部进行运行控制，变动部具有变位部位，该变位部位相对于腔室的第一室内沿其厚度方向变形或移动自如地与第一板状部件的第一非对置面抵接，保持部具有保持部位，该保持部位相对于腔室的第二室内表面支撑第二板状部件的第二非对置面，控制部通过基于室压调整部的运行的变压室与第一空间部的压力差进行控制，以使第一板状部件与变动部的变位部位一同朝向第二板状部件或第一空间部移动。一空间部移动。一空间部移动。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微小结构物制造装置及微小结构物的制造方法
[0001]本专利技术涉及一种微小结构物制造装置及使用了微小结构物制造装置的微小结构物的制造方法，该微小结构物制造装置用于制造包含微型LED、微芯片等微小元件的微小结构体，通过纳米压印等微细加工技术成形加工的微小成形物，由包含玻璃小片的微小绝缘片等构成的微小结构体。
[0002]具体而言，涉及一种用于被分离的微小结构物的接合、追加按压或被接合的微小结构物的分离(剥离)或者微小结构物的转印等的微小结构物制造装置及微小结构物的制造方法。
技术介绍
[0003]以往，作为这种微小结构物制造装置，有一种脱模装置，其具备：防剥离机构，以至少一者为膜状的模具与被成形物到规定剥离位置为止不会剥离的方式加压；保持部，其保持模具或被成形物中的任一者；张力赋予机构，对模具或被成形物赋予张力；及移动机构，其使防剥离机构与模具及被成形物相对移动(例如，参考专利文献1)。
[0004]通过纳米压印技术，将模具的成形图案加压至树脂等被成形物，通过利用热、光，将成形图案转印至被成形物之后，将模具从被成形物脱模。
[0005]在专利文献1的图示例中具备一种角度调节机构，其相对于被保持部保持的被成形物，将具有挠性的形成为膜状的模具从剥离位置剥离，并将剥离后的模具与被成形物之间的角度调节成一定角度。即，通过角度调节机构，以一定的脱模角度从被成形物斜向抽出模具的成形图案。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：国际公开第2015/072572号
技术实现思路
[0009]专利技术要解决的技术课题
[0010]然而，在专利文献1中，相对于转印至被成形物的凹凸图案，以规定角度倾斜方向抽出模具的成形图案，因此在剥离过程中被成形物的凹凸图案发生形状变形而导致产生损伤。
[0011]具体而言，对图15(a)～图15(c)所示的纳米压印的情况进行说明。
[0012]在图15(a)所示的剥离前的状态下，通过与模具100的成形图案110的凹凸接合，转印至被成形物200的凹凸图案210相对于被成形物200的底面220以垂直状立起。
[0013]然而，在图15(b)所示的剥离时的状态下，随着倾斜方向抽出模具100的成形图案110，被成形物200的凹凸图案210中凸状部211发生倒塌。
[0014]因此，在图15(c)所示的剥离后的状态下，一旦倒塌的凹凸图案210的凸状部211会维持倒塌状态而不会恢复剥离前的状态。
[0015]如此，从被成形物200的凹凸图案210抽出模具100的成形图案110的方向(剥离方向)为斜向时，尤其凹凸图案210的凹凸差越长，越容易发生形状变形(倒塌)而存在无法实现高精度的压印成形的问题。
[0016]尤其，在纳米压印的情况下，由于凹凸图案极其微细，因此即使剥离时的微小形状变形(倒塌)也会成为凹凸图案的破损因素而存在无法制作高精度的凹凸图案的问题。
[0017]然而，不仅是通过纳米压印技术成形加工的微小成形物，包含微型LED、微芯片等微小元件的微小结构体、由包含玻璃小片的微小绝缘片等构成的微小结构物也不仅尺寸小且容易受损，因此不易操作。因此，除了如专利文献1的包含脱模装置的分离装置以外，也需要被分离的微小结构物的接合装置、追加按压装置，微小结构物的转印装置等。
[0018]在这种情况下，期待一种用同一结构进行微小结构物的接合、追加按压，分离，转印等的制造装置。
[0019]用于解决技术课题的手段
[0020]为了解决这种课题，本专利技术所涉及的微小结构物制造装置使相互对置的第一板状部件的第一对置面或第二板状部件的第二对置面中的任一者或两者所具有的凹凸部接合或分离，该微小结构物制造装置的特征在于，具备：变压室，形成于腔室的内部并以进出自如的方式收容所述第一板状部件及所述第二板状部件；变动部，设置在收容于所述变压室的所述第一板状部件的第一非对置面与所述腔室的第一室内表面之间；保持部，设置在收容于所述变压室的所述第二板状部件的第二非对置面与所述腔室的第二室内表面之间；第一空间部，在所述腔室的所述第一室内表面和所述变动部之间与所述变压室分离而设置成气密状；室压调整部，使所述变压室或所述第一空间部中的任一者的内压比另一者的内压上升更多；及控制部，对所述室压调整部进行运行控制，所述变动部具有变位部位，所述变位部位相对于所述腔室的所述第一室内表面，沿其厚度方向变形或移动自如地与所述第一板状部件的所述第一非对置面抵接，所述保持部具有保持部位，所述保持部位相对于所述腔室的所述第二室内表面，支撑所述第二板状部件的所述第二非对置面，所述控制部通过基于所述室压调整部的运行的所述变压室与所述第一空间部的压力差进行控制，以使所述第一板状部件与所述变动部的所述变位部位一同朝向所述第二板状部件或所述第一空间部移动。
[0021]并且，为了解决这种课题，本专利技术所涉及的微小结构物的制造方法为使相互对置的第一板状部件的第一对置面或第二板状部件的第二对置面中的任一者或两者所具有的凹凸部接合或分离的微小结构物的制造方法，其特征在于，包括：搬入工序，将所述第一板状部件及所述第二板状部件搬入形成于腔室的内部的变压室；保持工序，沿所述腔室的第一室内表面对所述第一板状部件进行定位，沿所述腔室的第二室内表面对所述第二板状部件进行定位；室压调整工序，调整所述变压室的内压；及搬出工序，从所述变压室提取所述第一板状部件及所述第二板状部件，在所述保持工序中，使所述第一板状部件的第一非对置面沿其厚度方向变形或移动自如地与设置于所述第一板状部件的所述第一非对置面和所述第一室内表面之间的变动部的变位部位抵接，并且在所述第一室内表面与所述变动部之间，第一空间部与所述变压室分离而设置成气密状，使所述第二板状部件的第二非对置面沿所述厚度方向与设置于所述第二板状部件的所述第二非对置面和所述第二室内表面之间的保持部的保持部位抵接而支撑，所述室压调整工序中，通过室压调整部，使所述变压
室或所述第一空间部中的任一者的内压比另一者的内压上升更多，所述第一板状部件与所述变动部的所述变位部位一同朝向所述第二板状部件或所述第一空间部移动。
附图说明
[0022]图1是表示本专利技术的实施方式(第一实施方式)所涉及的微小结构物制造装置及微小结构物的制造方法(接合装置及接合方法)的整体结构的说明图，图1(a)是搬入后的纵截面主视图，图1(b)是图1(a)的横截面俯视图。
[0023]图2是表示上述接合方法的搬入工序～保持工序的说明图，图2(a)是一次搬入过程的纵截面主视图，图2(b)是二次搬入过程的纵截面主视图，图2(c)是保持工序的纵截面主视图。
[0024]图3是表示上述接合方法的保持工序～搬出工序的说明图，图3(a)是关闭腔室后的纵截面主视图，图3(b)是差压过程及加压接合过程的纵截面主视图，图3(c)是大气开放过程及搬出工序的纵截面主视图。
[0025]图4是表示本专利技术的实施方式(第二实施方式)所涉本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种微小结构物制造装置，其使相互对置的第一板状部件的第一对置面和第二板状部件的第二对置面中的任一者或两者所具有的凹凸部接合或分离，所述微小结构物制造装置的特征在于，具备：变压室，形成于腔室的内部并以进出自如的方式收容所述第一板状部件及所述第二板状部件；变动部，设置在收容于所述变压室的所述第一板状部件的第一非对置面与所述腔室的第一室内表面之间；保持部，设置在收容于所述变压室的所述第二板状部件的第二非对置面与所述腔室的第二室内表面之间；第一空间部，在所述腔室的所述第一室内表面与所述变动部之间与所述变压室分离并设置成气密状；室压调整部，使所述变压室和所述第一空间部中的任一者的内压高于另一者的内压；及控制部，对所述室压调整部进行运行控制，所述变动部具有变位部位，所述变位部位相对于所述腔室的所述第一室内表面，沿其厚度方向变形或移动自如地与所述第一板状部件的所述第一非对置面抵接，所述保持部具有保持部位，所述保持部位相对于所述腔室的所述第二室内表面，支撑所述第二板状部件的所述第二非对置面，所述控制部以如下方式进行控制：通过基于所述室压调整部的运行的所述变压室与所述第一空间部的压力差，使所述第一板状部件与所述变动部的所述变位部位一同朝向所述第二板状部件或所述第一空间部移动。2.根据权利要求1所述的微小结构物制造装置，其特征在于，所述第一板状部件与所述第二板状部件具有相互以凹凸状接合的所述凹凸部，所述控制部通过所述室压调整部的运行，使所述变压室的内压高于所述第一空间部的内压，使所述第一板状部件与所述变动部的所述变位部位一同朝向所述第一空间部移动。3.根据权利要求1或2所述的微小结构物制造装置，其特征在于，具备：第一内压调整部，使所述第一空间部的内压下降。4.根据权利要求1、2或3所述的微小结构物制造装置，其特征在于，具备：气密状的第二空间部，形成于所述腔室的所述第二室内表面与所述保持部之间；及第二内压调整部，使所述第二空间部的内压下降。5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：横田道也，稻叶亮一，
申请(专利权)人：信越工程株式会社，
类型：发明
国别省市：
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