本发明专利技术提供一种分离装置，不使第一板状部件与第二板状部件的凹凸接合部的形状变形而进行剥离。本发明专利技术的分离装置，其将相互凹凸状接合的第一板状部件与第二板状部件的凹凸接合部剥离，所述分离装置中，在容纳于形成在腔室的内部的加压室中的第一板状部件或第二板状部件中的任一个的凹凸接合部的背侧与腔室的第一室内表面之间设置的分离吸收部具有位移部位，所述位移部位相对于腔室的第一室内表面，与第一板状部件或第二板状部件中的任一个的背侧以在其厚度方向上变形或移动自如的方式抵接，在容纳于加压室中的第一板状部件或第二板状部件中的另一个的凹凸接合部的背侧与腔室的第二室内表面之间设置的保持部具有固定部位，所述固定部位相对于腔室的第二室内表面，与第一板状部件或第二板状部件中的另一个的背侧以无法在厚度方向上移动的方式抵接，控制部通过基于对加压室供给阳压流体的正压调整部的动作的加压室的内压上升，在与设置于腔室的第一室内表面与分离吸收部之间的气密状的第一减压空间部之间产生压力差，使第一板状部件或第二板状部件中的任一个与分离吸收部的位移部位一同朝向第一减压空间部移动。的位移部位一同朝向第一减压空间部移动。的位移部位一同朝向第一减压空间部移动。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分离装置及分离方法
[0001]本专利技术涉及一种分离装置及使用分离装置的分离方法，该分离装置用于以包括纳米压印的压印技术成形加工的成形模具与成形基板的剥离、并列配置的多个微型发光二极体(LED)等微小元件与粘着卡盘的剥离等中。
技术介绍
[0002]以往，作为这种分离装置，有一种脱模装置，其具备：剥离防止机构，加压至不使至少任一个为薄膜状的模具与被成形物剥离至规定的剥离位置；保持部，保持模具或被成形物中的任一个；张力赋予机构，对模具或被成形物赋予张力；及移动机构，使剥离防止机构与模具及被成形物相对地移动(例如，参考专利文献1)。
[0003]通过纳米压印技术，将模具的成形图案加压到树脂等被成形物上，并利用热或光将成形图案转印到被成形物之后，从被成形物将模具脱下。
[0004]在专利文献1的图示例中，具备角度调节机构，其相对于被保持部保持的被成形物，从剥离位置将形成为具有挠性的薄膜的模具剥离，并将剥离之后的模具与被成形物之间的角度调节为恒定。即，通过角度调节机构，从被成形物以恒定的脱模角度倾斜地拔下模具的成形图案。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：国际公开第2015/072572号
技术实现思路
[0008]专利技术要解决的技术课题
[0009]然而，在专利文献1中，针对转印到被成形物的凹凸图案，以规定的角度向倾斜方向拔下模具的成形图案，因此导致在剥离过程中被成形物的凹凸图案形状变形而造成损伤。
[0010]详细而言，对包括图7(a)～图7(c)所示的纳米压印的压印的情况进行说明。
[0011]在图7(a)所示的剥离之前的状态下，通过与模具100的成形图案110的凹凸接合，转印到被成形物200的凹凸图案210相对于被成形物200的底面220垂直状立起。
[0012]但是，在图7(b)所示的剥离时的状态下，随着向倾斜方向拔下模具100的成形图案110，导致被成形物200的凹凸图案210中凸状部211崩塌。
[0013]因此，在图7(c)所示的剥离之后的状态下，一旦崩塌凹凸图案210的凸状部211始终崩塌，而无法复原为剥离之前的状态。
[0014]如此，存在当从被成形物200的凹凸图案210拔下模具100的成形图案110的方向(剥离方向)倾斜时，尤其凹凸图案210的凹凸差越长越容易形状变形(崩塌)，而无法实现高精度的压印成形的问题。
[0015]尤其在纳米压印的情况下，凹凸图案极其精细，因此存在剥离时有一点形状变形
(崩塌)，也会成为凹凸图案的破损原因，而无法制作高精度的凹凸图案的问题。
[0016]用于解决技术课题的手段
[0017]为了解决这种问题，本专利技术的分离装置，其将相互凹凸状接合的第一板状部件与第二板状部件的凹凸接合部剥离，其特征在于，具备：加压室，形成于腔室的内部，并容纳成使凹凸接合的所述第一板状部件及所述第二板状部件进出自如；分离吸收部，设置于容纳在所述加压室中的所述第一板状部件或所述第二板状部件中的任一个的所述凹凸接合部的背侧与所述腔室的第一室内表面之间；保持部，设置于容纳在所述加压室中的所述第一板状部件或所述第二板状部件中的另一个的所述凹凸接合部的背侧与所述腔室的第二室内表面之间；第一减压空间部，在所述腔室的所述第一室内表面与所述分离吸收部之间，与所述加压室分离并设置成气密状；正压调整部，对所述加压室供给阳压流体使内压上升；及控制部，对所述正压调整部进行动作控制，所述分离吸收部具有位移部位，所述位移部位相对于所述腔室的所述第一室内表面，与所述第一板状部件或所述第二板状部件中的任一个的所述背侧以在其厚度方向上变形或移动自如的方式抵接，所述保持部具有固定部位，所述固定部位相对于所述腔室的所述第二室内表面，与所述第一板状部件或所述第二板状部件中的另一个的所述背侧以无法在所述厚度方向上移动的方式抵接，所述控制部以如下方式进行控制：通过基于所述正压调整部的动作的所述加压室的内压上升，在与所述第一减压空间部之间产生压力差，使所述第一板状部件或所述第二板状部件中的任一个与所述分离吸收部的所述位移部位一同朝向所述第一减压空间部移动。
[0018]并且，为了解决这种问题，本专利技术的分离方法，其将相互凹凸状接合的第一板状部件与第二板状部件的凹凸接合部剥离，其特征在于，包括：搬入工序，在形成于腔室的内部的加压室中搬入凹凸接合的所述第一板状部件及所述第二板状部件；保持工序，在所述加压室中将所述第一板状部件及所述第二板状部件进行定位；加压工序，对保持所述第一板状部件及所述第二板状部件的所述加压室供给阳压流体使内压上升；剥离工序，在内压上升的所述加压室中将所述第一板状部件与所述第二板状部件的所述凹凸接合部剥离；及搬出工序，将剥离所述凹凸接合部的所述第一板状部件和所述第二板状部件从所述加压室中取出，在所述保持工序中，相对于设置于所述第一板状部件或所述第二板状部件中的任一个的所述凹凸接合部的背侧与所述腔室的第一室内表面之间的分离吸收部的位移部位，使所述第一板状部件或所述第二板状部件中的任一个的所述背侧在其厚度方向上抵接，并且相对于设置于所述第一板状部件或所述第二板状部件中的另一个的所述凹凸接合部的背侧与所述腔室的第二室内表面之间的保持部的固定部位，使所述第一板状部件或所述第二板状部件中的另一个的所述背侧在所述厚度方向上抵接，在所述剥离工序中，在通过所述阳压流体的供给使内压上升的所述加压室与第一减压空间部之间产生压力差，使所述第一板状部件或所述第二板状部件中的任一个与所述分离吸收部的所述位移部位一同朝向所述第一减压空间部移动，所述第一减压空间部在所述腔室的所述第一室内表面与所述分离吸收部之间，与所述加压室分离并设置成气密状。
附图说明
[0019]图1是表示本专利技术的实施方式(第一实施方式)的分离装置及分离方法的整体结构的说明图，图1(a)是搬入工序的纵截面主视图，图1(b)是图1(a)的横截面平面图，图1(c)是
局部放大一部分的纵截面主视图。
[0020]图2是表示该分离方法的剥离过程的说明图，图2(a)是保持工序的纵截面主视图，图2(b)是加压工序的纵截面主视图，图2(c)是剥离工序的纵截面主视图。
[0021]图3是该分离方法的取出过程的说明图，图3(a)是减压工序的纵截面主视图，图3(b)是一次搬出工序的纵截面主视图，图3(c)是二次搬出工序的纵截面主视图。
[0022]图4是表示本专利技术的第二实施方式的分离装置及分离方法的说明图，图4(a)是搬入工序的纵截面主视图，图4(b)是加压工序的纵截面主视图，图4(c)是剥离工序的纵截面主视图。
[0023]图5是表示本专利技术的第三实施方式的分离装置及分离方法的说明图，图5(a)是搬入工序的纵截面主视图，图5(b)是加压工序的纵截面主视图，图5(c)是剥离工序的纵截面主视图。
[0024]图6是表示本专利技术的第四实施方式的分离装置及分离方法的说明图，图6(a)是搬入工序的纵截面主视图，图6本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种分离装置，其将相互凹凸状接合的第一板状部件与第二板状部件的凹凸接合部剥离，其特征在于，具备：加压室，形成于腔室的内部，凹凸接合的所述第一板状部件及所述第二板状部件进出自如地容纳于该加压室；分离吸收部，设置于容纳在所述加压室中的所述第一板状部件和所述第二板状部件中的任一个的所述凹凸接合部的背侧与所述腔室的第一室内表面之间；保持部，设置于容纳在所述加压室中的所述第一板状部件和所述第二板状部件中的另一个的所述凹凸接合部的背侧与所述腔室的第二室内表面之间；第一减压空间部，在所述腔室的所述第一室内表面与所述分离吸收部之间，与所述加压室分离并设置成气密状；正压调整部，对所述加压室供给正压流体使内压上升；及控制部，对所述正压调整部进行动作控制，所述分离吸收部具有位移部位，所述位移部位相对于所述腔室的所述第一室内表面，与所述第一板状部件和所述第二板状部件中的任一个的所述背侧以在其厚度方向上变形或移动自如的方式抵接，所述保持部具有固定部位，所述固定部位相对于所述腔室的所述第二室内表面，与所述第一板状部件和所述第二板状部件中的另一个的所述背侧以无法在所述厚度方向上移动的方式抵接，所述控制部如下进行控制：通过基于所述正压调整部的动作的所述加压室的内压上升，在与所述第一减压空间部之间产生压力差，使所述第一板状部件和所述第二板状部件中的任一个与所述分离吸收部的所述位移部位一同朝向所述第一减压空间部移动。2.根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于，具备：第一负压调整部，使所述第一减压空间部的内压下降。3.根据权利要求1或2所述的分离装置，其特征在于，具备：气密状的第二减压空间部，形成于所述腔室的所述第二室内表面与所述保持部之间；及第二负压调整部，使所述第二减压空间部的内压下降。4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：横田道也，稻叶亮一，
申请(专利权)人：信越工程株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。