一种电子真空泵及其叶轮制造技术

技术编号:10980800 阅读:183 留言:0更新日期:2015-01-30 17:45
本实用新型专利技术提供了一种用于电子真空泵的叶轮,包括偏心设置在电子真空泵的定子内的转子,以及多个叶片,所述转子上均匀开有多个叶片槽,所述叶片第一端插入所述叶片槽,第二端与所述定子内壁接触,所述叶片第二端包覆有烧结碳层,所述转子中与所述定子内壁接触的外圆周面包覆有烧结碳层。本实用新型专利技术还提供了一种电子真空泵,包括如上所述的叶轮。本实用新型专利技术公开的电子真空泵及其叶轮具有自润滑的作用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于电子真空泵的叶轮,包括 偏心设置在电子真空泵的定子内的转子,以及多个叶片, 所述转子上均匀开有多个叶片槽,所述叶片第一端插入所述叶片槽,第二端与所述定子内壁接触, 其特征在于, 所述叶片第二端包覆有烧结碳层,所述转子中与所述定子内壁接触的外圆周面包覆有烧结碳层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄岩刘瑞庭
申请(专利权)人:上海海拉电子有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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