压电器件及压电器件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种抑制压电振动片的谐振频率变动，制造良率高的压电器件及其制造方法。该压电器件包括：压电振动片(140)，形成着激振电极(141a)；基底(130)，保持压电振动片(140)；第一盖板(120)，在将压电振动片(140)收容于空腔(150)的状态下接合于基底(130)，且包含将空腔(150)开口的开口部(122)；及第二盖板(110)，以将开口部(122)阻塞的方式接合于第一盖板(120)的表面侧；开口部(122)是形成于俯视下包含压电振动片(140)的除激振电极(141a)以外的区域(S1)、或除压电振动片(140)以外的区域(S2)且重叠的位置。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压电器件，其特征在于包括：压电振动片，形成着电极；基底，保持所述压电振动片；第一盖板，在将所述压电振动片收容于空腔内的状态下接合于所述基底，且包含将所述空腔开口的开口部；及第二盖板，以阻塞所述开口部的方式接合于所述第一盖板的表面侧；所述开口部是形成于在俯视下包含所述压电振动片的除所述电极以外的区域、或除所述压电振动片以外的区域且重叠的位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：上条敦，
申请(专利权)人：日本电波工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP