本发明专利技术提供一种压电装置用的具有新颖构造的基座以及压电装置。本发明专利技术的基座(10)包括：第一基板(11)，包含玻璃或水晶；压电元件用的搭载垫(11b)，设置在第一基板的第一面(11a)；接触孔(11d)及接触孔线路(11e)，设置在第一基板上，从搭载垫通到与第一面为相反面的第二面(11c)；第一金属膜(11f)，设置在第二面的包含所述接触孔的周围区域的区域内；第二基板(13)，包含与所述第一基板相同的材料；第二金属膜(13b)，设置在第二基板的第一基板侧那一面，与第一金属膜一起构成金属间接合；导引线路(13e)；堞形部(13f)；以及外部安装端子(13g)。(13g)。(13g)。
【技术实现步骤摘要】
压电装置用的基座以及压电装置
[0001]本专利技术涉及一种压电装置(piezoelectric device)用的基座、和使用此基座的压电装置。
技术介绍
[0002]压电装置中，用于容纳压电元件的容器是必需的。因此，在作为压电装置的一种的水晶器件中，使用或研究有金属制容器、陶瓷制容器、使用玻璃或水晶的容器等各种容器。尤其是在量产型水晶器件中，表面安装型水晶器件的要求高，所以，多使用表面安装型容器。
[0003]适于表面安装型和量产的容器的代表为陶瓷制容器。具体而言，是将陶瓷制的基座、与金属制或陶瓷制的盖接合而成的一种容器。典型而言，陶瓷制的基座是将由陶瓷材料构成的俯视矩形形状的底板、与层叠在此底板上的由陶瓷材料构成的堤部，一体地加以煅烧而成(专利文献1的例如段落26、图1等)。
[0004]另外，作为使用水晶及玻璃的容器的一例，例如，有如下构造的容器，即，如专利文献2中所公开，通过阳极接合，将水晶构造体、玻璃制的上板、以及玻璃制的下板加以接合，所述水晶构造体一体形成有水晶振荡片及外框(专利文献2的摘要、图1、图3等)。
[0005]另外，作为玻璃制容器的其他例子，例如，有如下构造的容器，即，如专利文献3中所公开，将包含硼硅酸玻璃的罩体及基座直接接合(专利文献3的段落18、段落32、图1(b)等)。
[0006]另外，作为水晶制容器的一例，例如，有如下构造的容器，即，如专利文献4中所公开，通过接合材料或者通过直接接合，将包含水晶晶圆的罩体晶圆、压电晶圆以及基座晶圆加以接合，并将其分成各个独立的压电装置，以如此方式形成(专利文献4的段落72、段落75、段落76、图8、图9等)。
[0007][现有技术文献][0008][专利文献][0009][专利文献1]日本专利特开2007
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274071号公报
[0010][专利文献2]日本专利特开2000
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68780号公报
[0011][专利文献3]日本专利特开2014
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192644号公报
[0012][专利文献4]日本专利特开2015
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33035号公报
技术实现思路
[0013][专利技术所要解决的问题][0014]在所述各种容器中，目前最优异的是使用陶瓷制基座的容器。但随着压电装置的薄型化、小型化的发展，陶瓷制基座在构造、精度、成本方面可以说是有极限的。因而，业界期望一种新颖构造的基座，能替代陶瓷制基座，而且能超越所述使用玻璃和/或水晶的以往的容器。
[0015]本专利技术是鉴于所述问题而成，因而，本申请的目的在于，提供一种压电装置用的具有新颖构造的基座、以及使用此基座的压电装置。
[0016][解决问题的技术手段][0017]为谋求达成此目的，根据本专利技术的压电装置用的基座包括：第一基板，包含玻璃或水晶；压电元件用的搭载垫，设置在所述第一基板的第一面；接触孔及接触孔线路，设置在所述第一基板上，从所述搭载垫通到与所述第一面为相反面的第二面；第一金属膜，设置在所述第二面的包含所述接触孔的周围区域的区域内；第二基板，包含与所述第一基板相同的材料，通过金属间接合而接合于所述第一基板；第二金属膜，设置在所述第二基板的所述第一基板侧那一面即第三面，与所述第一金属膜一起构成所述金属间接合；导引线路，从所述接触孔线路经由所述第三面以及所述第二基板的侧面，而到达所述第二基板的与所述第三面为相反面的第四面；堞形部(castellation)，作为所述导引线路用而设置在所述侧面；以及外部安装端子，设置在所述第四面，连接于所述导引线路。
[0018]另外，根据本专利技术的压电装置，包括：基座、压电元件以及盖构件。所述基座包括：第一基板，包含玻璃或水晶；压电元件用的搭载垫，设置在所述第一基板的第一面；接触孔及接触孔线路，设置在所述第一基板上，从所述搭载垫通到与所述第一面为相反面的第二面；第一金属膜，设置在所述第二面的包含所述接触孔的周围区域的区域内；第二基板，包含与所述第一基板相同的材料，通过金属间接合而接合于所述第一基板；第二金属膜，设置在所述第二基板的所述第一基板侧那一面即第三面，与所述第一金属膜一起构成所述金属间接合；导引线路，从所述接触孔线路经由所述第三面以及所述第二基板的侧面，而到达所述第二基板的与所述第三面为相反面的第四面；堞形部，作为所述导引线路用而设置在所述侧面；以及外部安装端子，设置在所述第四面，连接于所述导引线路，
[0019]所述压电元件通过导电性构件而连接固定于所述搭载垫，
[0020]所述盖构件接合于所述基座，将所述压电元件密封。
[0021]根据本专利技术的基座，构成具有如下构造的压电装置用的基座，即，通过金属间接合将包含玻璃或水晶的第一基板及第二基板加以层叠。而且，实现如下构造的基座，即，压电元件用的搭载垫通过接触孔线路和导引线路而连接于外部安装端子，所述接触孔线路设置在第一基板上，所述导引线路设置在第二基板上，使用有堞形部。而且，成为接触孔的周围被第一金属膜及第二金属膜所形成的金属间接合围住的构造，所以，容易成为气密性降低的要害的接触孔区域被金属间接合所密封。而且，第一基板及第二基板是由相同材料构成，所以热膨胀系数等物理性质相同。
[0022]因而，即便是包含玻璃或水晶的第一基板及第二基板的层叠构造，也能实现确保了气密性的基座。
[0023]进而，玻璃及水晶各者可通过光刻技术进行加工，所以能以相对高的精度进行加工，而且材料费方面均相对低廉。因而能实现高精度且廉价的基座。
[0024]另外，根据本专利技术的压电装置，可以实现一种使用具有所述新颖构造的基座的新颖的压电装置。
附图说明
[0025]图1A、图1B为用于说明第一实施方式的基座10的图。
[0026]图2A～图2D为用于说明本专利技术的基座的制造方法的一例的图。
[0027]图3A、图3B为用于说明第一实施方式的压电装置40的图。
[0028]图4A、图4B为用于说明第二实施方式的基座10x及压电装置70的图。
[0029]图5A～图5E为尤其用于说明堞形部及外部安装端子的图。
[0030]图6A～图6E为尤其用于说明接触孔的图。
[0031]图7为尤其用于说明第一金属膜及第二金属膜的平面形状的变形例的图。
[0032]图8A、图8B为用于说明在第一基板上进行线路导引的情况下的优选构造例的图。
[0033]图9A、图9B为用于说明第二实施方式的基座的变形例的图。
[0034]图10A～图10C为用于说明第一金属膜及第二金属膜的具体结构例的图。
[0035]图11A、图11B为用于说明设置密封图案的情况下的优选构造例的图。
[0036]图12A～图12C为用于说明对于降低进行金属间接合时的接合压力而言比较理想的构造例的图。
[0037]图13A、图13B为用于说明对于降低进行金属间接合时的接合压力而言比较理想的构造例的、接续于图12A～本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基座，为压电装置用的基座，其特征在于，包括：第一基板，包含玻璃或水晶；压电元件用的搭载垫，设置在所述第一基板的第一面；接触孔及接触孔线路，设置在所述第一基板上，从所述搭载垫通到与所述第一面为相反面的第二面；第一金属膜，设置在所述第二面的包含所述接触孔的周围区域的区域内；第二基板，包含与所述第一基板相同的材料，通过金属间接合而接合于所述第一基板；第二金属膜，设置在所述第二基板的所述第一基板侧的面即第三面，与所述第一金属膜一起构成所述金属间接合；导引线路，从所述接触孔线路经由所述第三面以及所述第二基板的侧面，而到达所述第二基板的与所述第三面为相反面的第四面；堞形部，作为所述导引线路用而设置在所述侧面；以及外部安装端子，设置在所述第四面，连接于所述导引线路。2.根据权利要求1所述的基座，其特征在于，所述第一基板为平板，沿所述第一基板的缘部配备密封用的密封图案。3.根据权利要求2所述的基座，其特征在于，在所述第一基板的设置所述密封图案的区域内，配备与所述密封图案的厚度同等深度的凹部，在所述凹部内配备所述密封图案。4.根据权利要求1所述的基座，其特征在于，所述第一基板包括凹部及堤部，所述凹部收容所述压电元件，所述堤部在所述凹部的周围。5.根据权利要求4所述的基座，其特征在于，在所述凹部与所述堤部的阴角配备锥形部。6.根据权利要求1至5中任一项所述的基座，其特征在于，所述搭载的压电元件在俯视下为矩形形状，所述搭载垫设置在所述压电元件的一条边侧的而且是与沿着所述一条边的两端相对应的所述第一基板的两处，在所述第一基板的所述两处区域的所述压电元件的中心侧的旁边，配备与所述第一基板一体形成的第一凸部，而且，在所述第一基板的与所述压电元件的顶端侧相向的区域内，配备与所述第一基板一体形成的第二凸部。7.根据权利要求1至5中任一项所述的基座，其特征在于，所述第一金属膜及所述第二金属膜各自为：作为基底膜的铬膜、作为中间膜的镍膜或镍
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钨合金膜、以及作为上层膜的金膜的层叠膜。8.根据权利要求7所述的基...
【专利技术属性】
技术研发人员：水沢周一，
申请(专利权)人：日本电波工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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