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压电器件及压电器件的制造方法技术
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文档序号:10915581
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本发明提供一种抑制压电振动片的谐振频率变动,制造良率高的压电器件及其制造方法。该压电器件包括:压电振动片(140),形成着激振电极(141a);基底(130),保持压电振动片(140);第一盖板(120),在将压电振动片(140)收容于空腔...
该专利属于日本电波工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电波工业株式会社授权不得商用。
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