本发明专利技术提供一种蒸镀源加热装置，包括：底座、连接于底座的外壳、设于外壳内侧的加热元件、设于加热元件内侧且安装于底座上的数个金属筒、及设于金属筒内的坩埚。本发明专利技术的蒸镀源加热装置，在加热元件与坩埚之间设置数个金属筒，所述数个金属筒安装于底座上，加热时，通过数个金属筒逐渐传导加热元件的热量的方式，将热量传导给坩埚，由于金属筒导热性能好，其上热量分布均匀，使得坩埚受热均匀，保证了蒸镀效果。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种蒸镀源加热装置，包括：底座、连接于底座的外壳、设于外壳内侧的加热元件、设于加热元件内侧且安装于底座上的数个金属筒、及设于金属筒内的坩埚。本专利技术的蒸镀源加热装置，在加热元件与坩埚之间设置数个金属筒，所述数个金属筒安装于底座上，加热时，通过数个金属筒逐渐传导加热元件的热量的方式，将热量传导给坩埚，由于金属筒导热性能好，其上热量分布均匀，使得坩埚受热均匀，保证了蒸镀效果。【专利说明】蒸镀源加热装置
本专利技术涉及有机电致发光器件制作领域，尤其涉及一种蒸镀源加热装置。
技术介绍
有机电致发光器件是一种自发光器件，具有电压低，视角宽、响应速度快、温度适应性好等优势，被认为在平板显示中有着巨大的应用前景，甚至被认为是继等离子(PDP)、液晶(IXD)之后的新一代平板显示技术。从使用的有机电致发光材料的分子量来看，有机电致发光器件分为小分子有机电致发光器件(OLED)与高分子电致发光器件(PLED)，由于分子量的不同，两种有机电致发光器件的制程也有很大的区别，OLED主要通过热蒸镀方式制备，PLED通过旋涂或者喷墨打印方式制备。OLED通常包括:基板、置于基板上的ITO透明阳极、置于ITO透明阳极上的空穴注入层(HIL)、置于空穴注入层上的空穴传输层(HTL)、置于空穴传输层上的发光层(EML)、置于发光层上的电子传输层(ETL)、置于电子传输层上的电子注入层(EIL)以及置于电子注入层上的阴极。为了提高效率，发光层通常采用主/客体掺杂系统。 OLED制程采用的热蒸镀方式，在真空环境下(E-5Pa)加热有机材料，使升华型或者熔融型的有机材料在高温状态下气化，沉积在有TFT结构或者阳极结构的基板上。目前主流的蒸镀源主要有点型蒸镀源和线型蒸镀源。点型蒸镀源主要用在实验线和早期的量产线，由于线型蒸镀源的材料利用率和膜厚均一性要优于点型蒸镀源，近期建设的量产线大部分使用线性蒸镀源。但由于点型蒸镀源的空间小，一个镀膜腔体里可以安装很多个点型蒸镀源，可以填入很多种材料，适用于实验线。有机材料的蒸发温度与其裂解温度相差很小，点型蒸镀源的坩埚内部往往温差较大(上热下冷)，若材料填入量较多，材料无法达到一个热平衡稳定的状态，蒸镀速率无法稳定；提高温度，使材料热稳定,往往上面的材料有裂解的风险。若材料填入量较少,在高蒸镀速率下，坩埚上部的温度往往超过材料的裂解温度，气化的材料在经过此段区域时容易裂解。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种蒸镀源加热装置，在加热元件与坩埚之间设置数个金属筒，通过数个金属筒逐渐传导加热元件的热量的方式，使得坩埚受热均匀，保证了蒸镀效果O为实现上述目的，本专利技术提供一种蒸镀源加热装置，包括:底座、连接于底座的外壳、设于外壳内侧的加热元件、设于加热元件内侧且安装于底座上的数个金属筒、及设于金属筒内的坩埚。所述底座容纳于外壳内，所述底座设有数个凹槽，所述数个金属筒分别安装于该数个凹槽上。所述金属筒为圆筒，所述凹槽为圆环状凹槽。所述圆形环状凹槽同心。所述金属筒的高度等于或低于所述外壳的高度。所述底座由金属或绝热陶瓷制成。所述金属筒由金属片制成。所述金属片的厚度为0.01mm~10cm。所述金属片的材质为铝、铝合金、钛、钛合金、或者其他导热系数良好的金属。所述加热元件为加热电阻丝。本专利技术的有益效果:本专利技术的蒸镀源加热装置，在加热元件与坩埚之间设置数个金属筒，所述数个金属筒安装于底座上，加热时，通过数个金属筒逐渐传导加热元件的热量的方式，将热量传导给坩埚，由于金属筒导热性能好，其上热量分布均匀，使得坩埚受热均匀，保证了蒸镀效果；同时可以根据需要增加或减少金属筒的个数，以调节金属筒对温度的传递和均衡作用，进而调节坩埚的温度差。为了能更进一步了解本专利技术的特征以及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本专利技术加以限制。【专利附图】【附图说明】 下面结合附图，通过对本专利技术的【具体实施方式】详细描述，将使本专利技术的技术方案及其它有益效果显而易见。附图中，图1为本专利技术蒸镀源加热装置一实施例的立体示意图；图2为图1所示蒸镀源加热装置的剖视示意图；图3为图1所示蒸镀源加热装置的底座的俯视图；图4为图1所示蒸镀源加热装置的底座的立体图。【具体实施方式】为更进一步阐述本专利技术所采取的技术手段及其效果，以下结合本专利技术的优选实施例及其附图进行详细描述。请参阅图1-4，本专利技术提供一种蒸镀源加热装置10，包括底座20、连接于底座20上的外壳80、设于外壳80内侧的加热兀件60、设于加热兀件60内侧且安装于底座20上的数个金属筒40、及设于金属筒40内的?甘祸90。所述底座20容纳于外壳80内，所述底座20设有数个同心圆环状凹槽21，所述金属筒40为圆筒，所述数个金属筒40分别安装于该数个凹槽21上。所述加热元件60为加热电阻丝。在本实施例中，所述底座20具有四个同心圆环状凹槽21，由外至内分别为21a，21b，21c，21d。所述数个金属筒40为三个，分别为第一层(最外层)金属筒40a，第二层(中间层)金属筒40b,与第三层(最内层)金属筒40c,所述第一层金属筒40a,第二层金属筒40b,与第三层金属筒40c分别安装于凹槽21a，21b与21c上，所述坩埚90设置于第三层金属筒40c中心，且安装于所述底座20上最内层的凹槽21d上。同时，本专利技术可根据需要调整底座20上凹槽21的数量，以及底座20上安装的金属筒40的数量，以实现对所述蒸镀源加热装置10内的坩埚90最佳的加热效果。当加热元件60开始加热时,热量通过第一层金属圆筒40a逐步向内传导至第二层金属圆筒40b与第三层金属筒40c，然而再传导给坩埚90，实现对坩埚90进行加热。真空状态下，蒸镀源加热装置10中加热元件60发出的热量会以热辐射的方式加热金属筒40，由于加热元件60的不同位置发出的热量可能不同，因此，第一层金属筒40a上存在温差，由于金属能很好地传导热量，第一层金属筒40a在向第二层金属筒40b辐射热量的同时，其高温部位的热量会传导至其低温部位，从而使得第一层金属筒40a上不同位置的温差变小，进而第二层金属筒40b的温差会变的更小，而第三层金属筒40C的温差则基本为0，因此，热量传递到内部的坩埚90时，所述坩埚90不同位置可以获得无温差的热量，从而使坩埚90受热均匀。也就是，通过金属筒40的设置将加热元件60的不均匀发热转换成均匀发热传递给坩埚90，从而实现坩埚90内部没有温差。所述金属筒40的高度可以等于或低于所述外壳80的高度，使金属筒40不伸出外壳80。本实施例中，所述第一层金属筒40a的高度高于坩埚90的高度，所述第二层金属筒40b的高度低于所述第一层金属筒40a的高度,所述第三层金属筒40c的高度低于所述第二层金属筒40b的高度，且等于坩埚90的高度。而做为可选择的变化，所述金属筒40的高度与坩埚90的高度相同或接近都可以。所述底座20上的凹槽21以及安装于所述凹槽21的金属筒40的数量可根据加热效果的需要进行增加或减少。所述底座20可以由金属，绝热陶瓷或者其他材料制成。所述金属筒40由金属片制成,所述金属片的厚度为0.01mm~IOcm ;所述金属片的材质可以是铝，铝合金，钛，钛合本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种蒸镀源加热装置，其特征在于，包括：底座(20)、连接于底座的外壳(80)、设于外壳内侧的加热元件(60)、设于加热元件(60)内侧且安装于底座(20)上的数个金属筒(40)、及设于金属筒(40)内的坩埚(90)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邹清华，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。