喷嘴板的制造方法技术

提供能够低成本地制造喷嘴板的喷嘴板制造方法、按照该喷嘴板制造方法制造的喷嘴板、具备该喷嘴板的液滴喷头及具备该液滴喷头的液滴喷出装置。本发明专利技术的喷嘴板制造方法，是一种将具备多个喷嘴孔（２１）和设置在液滴喷出面（２２）上并相对于液滴具有疏液性的疏液膜（７）的芯片（２６）接合在喷嘴板主体上而获得喷嘴板的方法。该方法具有疏液膜去除工序和接合工序；疏液膜去除工序，将保护疏液膜（７）的掩模材料（９）从面（２７）侧经由各喷嘴孔（２１）向液滴喷出面（２２）的喷嘴孔周边漏出地供给、且从液滴喷出面（２２）侧相对于芯片（２６）在大气压下施以等离子体处理，从而去除从掩模材料（９）露出的疏液膜（７）；接合工序，将芯片（２６）在去除了疏液膜（７）的部分与喷嘴板主体接合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及喷嘴板的制造方法、喷嘴板、液滴喷头及液滴喷出装置。
技术介绍
墨液喷头(液滴喷头)具有隔开微小间隔形成多个细微喷嘴孔的喷嘴板，从喷嘴孔的一方开口(墨液喷出口)喷出墨滴，射中印刷纸从而进行印刷(例如，参照专利文献1)。在这种墨液喷头中，有大型的，与之相适应地喷嘴板也成为大型。制造该大型的喷嘴板认为由框状的喷嘴板主体和与该喷嘴主体粘接且形成有喷嘴孔的多个小片(板片)构成。要制造该喷嘴板，首先，在各小片的墨液喷出口侧的面和喷嘴孔内周面的墨液喷出口附近形成由氟系树脂等构成的疏液膜。作为设置该疏液膜的理由，是担心若墨液附着在小片的墨液喷出侧的面上，则其后喷出的墨液的喷出轨道受附着的墨液的表面张力和粘性等的影响而拐弯，使墨液射中与规定位置不同的位置，为了防止这个而设置。接下来，要将小片与喷嘴主体粘接，而去除小片的被接合部位的疏液膜，利用粘接剂粘接该去除了的部位和喷嘴主体。不过，作为去除疏液膜的方法，可举出采用例如光刻法的方法，而这种方法，由于去除疏液膜的工序多(复杂)，因此，发生制造喷嘴时的制造成本高这样的问题。专利文献1特开2004-114415号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够容易地去除小片与喷嘴板主体接合部分的疏液膜从而能够低成本地制造喷嘴板的喷嘴板制造方法、按照该喷嘴板制造方法制造的喷嘴板、具备该喷嘴板的液滴喷头及具备该液滴喷头的液滴喷出装置。这样的目的，由下述的本专利技术实现。本专利技术的喷嘴板制造方法，是一种将具备多个喷嘴孔和设置在从该各喷嘴孔喷出液滴一侧的液滴喷出面且相对于上述液滴具有疏液性的疏液膜的小片与喷嘴板主体接合而制造喷嘴板的方法，其特征在于具有疏液膜去除工序和接合工序；上述疏液膜去除工序，从上述小片的上述液滴喷出面相反侧将保护上述疏液膜的气体状掩模材料经由上述各喷嘴孔向上述液滴喷出面的上述喷嘴孔周边漏出地供给且相对于上述小片从其上述液滴喷出面侧在大气压下施以等离子体处理，从而去除从上述掩模露出的上述疏液膜；上述接合工序，将上述小片在去除上述疏液膜的部分与上述喷嘴板主体接合。从而，能够容易地去除小片与喷嘴主体接合部分的疏液膜，从而，能够低成本地制造喷嘴板。本专利技术的喷嘴板的制造方法，优选是在上述疏液膜去除工序中，上述掩模材料的供给如下进行通过在上述小片的与上述液滴喷出面相反侧的面上安装夹具，上述夹具设有能够通过上述掩模材料的多条流路以使上述各流路和上述各喷嘴孔连通，在该状态下往上述各流路填充上述掩模材料。从而，能够使掩模材料确实地向各喷嘴孔周边漏出。本专利技术的喷嘴板的制造方法中，优选是向上述各喷嘴孔周边漏出的上述掩模材料的量根据其与用于上述等离子体处理的等离子体发生用气体的流量的关系进行设定。从而，能够调整各喷嘴孔周边以外的疏液膜的去除量。本专利技术的喷嘴板的制造方法中，优选是作为上述掩模材料采用比用于上述等离子体处理的等离子体发生用气体放电难的气体，采用平行平板型等离子体处理装置进行上述等离子体处理。从而，能够容易地控制向各喷嘴孔周边的掩模材料的供给量、即各喷嘴孔周边以外的疏液膜的去除量。本专利技术的喷嘴板的制造方法中，优选是上述掩模材料为空气。从而，能够确实地在等离子体处理时保护疏液膜。本专利技术的喷嘴板的制造方法中，优选是在上述接合工序中，上述小片与上述喷嘴板主体的接合通过采用粘接剂进行。从而，能够容易地接合小片和喷嘴板主体，从而，能够更低成本地制造喷嘴板。本专利技术的喷嘴板制造方法中，优选上述疏液膜连续形成在上述喷嘴孔内周面和上述液滴喷出面。从而，能够将喷嘴孔出来的液滴确实且均匀地向目的部位供给。本专利技术的喷嘴板制造方法中，优选是，上述疏液膜主要由氟系材料构成。从而，防止在喷嘴孔周围附着液滴，使液滴与喷嘴孔的轴线方向大致一致地稳定喷出。本专利技术的喷嘴板，其特征在于按照本专利技术的喷嘴板制造方法制造。从而，能够提供低成本地制造的喷嘴板。本专利技术的液滴喷头，其特征在于具备本专利技术的喷嘴板。从而，能够设置低成本地制造的喷嘴板，从而，能够提供低价格的液滴喷头。本专利技术的液滴喷出装置，其特征在于具备本专利技术的液滴喷头。从而，能够设置低价格的液滴喷头，从而，能够提供低价格的液滴喷出装置。附图说明图1是表示将本专利技术的液滴喷头适用于墨液喷头时的实施方式的纵截面图。图2是具备图1所示的墨液喷头的喷嘴板(第1实施方式)的仰视图。图3是具备图1所示的墨液喷头的喷嘴板的俯视图。图4是用以说明图1所示的喷嘴板的制造方法的图。图5是用以说明图1所示的喷嘴板的制造方法的图。图6是用以说明图1所示的喷嘴板的制造方法的图。图7是用以说明图1所示的喷嘴板的制造方法的图。图8是用以说明图1所示的喷嘴板的制造方法的图。图9是用以说明图1所示的喷嘴板的制造方法的图。图10是用以说明图1所示的喷嘴板的制造方法的图。图11是表示适用了本专利技术的液滴喷出装置的喷墨打印机的实施方式的概略图。图12是用以说明本专利技术的喷嘴板(第2实施方式)的制造方法的图。图13是用以说明本专利技术的喷嘴板(第2实施方式)的制造方法的图。图14是用以说明本专利技术的喷嘴板(第2实施方式)的制造方法的图。图15是用以说明本专利技术的喷嘴板(第2实施方式)的制造方法的图。图中1-墨液喷头，2-喷嘴板，21-喷嘴孔，211-墨液喷出口，212-内周面，212a-局部区域，212b-区域，22-液滴喷出面，23-上表面，24-侧面，25-喷嘴板主体，251-开口部，252-上表面，26-芯片，27-面，3-内腔板，31-振动板，4-电极板，5-空隙，51-墨液喷出室，52-节流孔，53-储池，54-墨液摄入口，6-墨滴，7、7A-疏液膜，70-被加工膜，71-材料，8-振动室，81-独立电极，9-掩模材料，10-夹具，11-流路，11a-一端，11b-另一端，12-上表面，20-粘接剂，100-等离子体处理装置，101-容器，102-放置基板用载物台，103-等离子体发生用喷头，10-等离子体发生用气体，105-处理区域，200-蓄存槽，900-喷墨打印机，920-装置主体，921-托盘，922-排纸口，930-喷头单元，931-墨盒，932-滑架，940-印刷装置，941-滑架马达，942-往复运动机构，943-同步带，944-滑架导向轴，950-供纸装置，951-供纸马达，952-供纸辊，952a-从动辊，952b-驱动辊，960-控制部，970-操作面板，P-记录用纸。具体实施例方式下表面，根据附图所示的优选实施方式，对本专利技术的喷嘴板的制造方法、喷嘴板、液滴喷头及液滴喷出装置进行详细说明。<第1实施方式> 本实施方式是将本专利技术的液滴喷头适用作墨液喷头的方式。还有，作为墨液喷头，本实施方式中以采用静电驱动方式的装置为例进行说明，不过，并不限定于此，也可以采用例如压电驱动方式等其他驱动方式。图1是表示将本专利技术的液滴喷头适用于墨液喷头时的实施方式的纵截面图，图2是具备图1所示的墨液喷头的喷嘴板(第1实施方式)的仰视图，图3是具备图1所示的墨液喷头的喷嘴板的俯视图。还有，图1与通常使用的状态上下颠倒表示。另外，以下，为了说明方便，而把图1中的上侧称为“上”，把下侧称为“下”。图1所示的墨液喷头1为静电驱动方式的墨液喷头。该墨液喷头1，具有由喷嘴板2、内腔板3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷嘴板制造方法，是将小片与喷嘴板主体接合而制造喷嘴板的方法，其中该小片具备多个喷嘴孔和设置在从该各喷嘴孔喷出液滴一侧的液滴喷出面上的疏液膜，且该疏液膜对于上述液滴具有疏液性，其特征在于：具有疏液膜去除工序和接合工序；上述疏液膜去 除工序，将保护上述疏液膜的气体状掩模材料从上述小片的上述液滴喷出面相反一侧经由上述各喷嘴孔向上述液滴喷出面的上述喷嘴孔周边以漏出的方式进行供给，并且，对上述小片从其上述液滴喷出面一侧在大气压下施以等离子体处理，从而去除从上述掩模材料露出的上述疏液膜；上述接合工序，将上述小片在去除了上述疏液膜的部分与上述喷嘴板主体接合。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：足助慎太郎，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]